技術編號：10621370
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著技術的不斷發展，對芯片的集成化程度要求越來越高。MEMS傳感器已經在汽車電子、工業控制、環境監測、生物醫學等領域得到廣泛的應用。傳感器的物理量變化需要通過控制電路轉化成電信號的變化。傳統的做法是把獨立的傳感器和控制電路通過封裝的形式集成在一起。這種封裝體的體積相對很大，而且整體的可靠性也相對較差。目前一些新的做法是在IC控制電路完成后繼續在晶片上制作傳感器，這種垂直整合的傳感器相對于封裝形式的傳感器來說擁有更小的體積和更高的可靠性。但通常的多功能組合C...
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