技術編號：10603325
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明提供一種化學機械拋光墊，其具有拋光層；端點檢測窗；子襯墊；以及堆疊粘著劑；其中子襯墊包括與端點檢測窗光通信的多個孔口；并且其中拋光層的拋光表面適用于襯底的拋光。專利說明具有窗口的化學機械拋光墊 本發明設及具有窗口的化學機械拋光墊。更具體地說，本發明設及一種化學機械 拋光墊，其包含拋光層;端點檢測窗;子襯墊；W及堆疊粘著劑;其中子襯墊包括與端點檢測 窗光通信的多個孔口；并且其中拋光層的拋光表面適用于襯底的拋光。 半導體的生產典型地設及若干化學機械拋光(...
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