技術編號：10551275
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前，可用于測量敏感的鈾濃縮和其他需要精密測控壓力的場所，大多采用干式電容傳感器。盡管國內、外有上百種干式電容傳感器，但是在行業使用有代表性的是美國MKS公司生產的產品(結構原理如圖4、5所示)，它是干式電容絕對微壓力傳感器。其結構包括由外殼蓋19、定電極外殼14和外殼座16構成的殼體，組裝在殼體內的拋物面定電極和膜片式動電極15等件。其中外殼蓋19上通過玻璃絕緣子20封裝有電極引線21，拋物面定電極的帶內電極22的陶瓷絕緣子13組裝在定電極外殼14內，陶...
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