技術編號：10482725
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。氮化硅薄膜是一種多功能材料，它具有介電常數低、絕緣性高、漏點低、抗氧化等優良性能。氮化硅薄膜作為一種高效的器件表面鈍化層，廣泛的應用于半導體器件工藝中；氮化硅薄膜還作為層間絕緣、介質電容及耐磨抗蝕涂層，運用于集成電路行業；在硅基太陽能電池中，氮化硅薄膜用做鈍化膜和減反射膜。同時氮化硅薄膜具有優良的機械性能及良好的穩定性，在新生的微加工工藝中越來越被廣泛的應用。氮化硅薄膜除了具有優良的機械與物理性能外，還具有特殊的光學性能，并極可能運用于光電器件和光子器件(...
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