技術編號：10428724
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著國民經濟高科技發展，人們對氣體純度的要求越來越高。半導體工業提供了一個對超高純生產氣體的需求不斷增加的具體例子，在半導體的制造時，反應性氣體的純度對半導體器件的品質具有很重要的影響。為了滿足這些需求，人們對氣體超高純化的方法進行了廣泛的科技研究。超高純氣體通常是通過以下方法制得的使用具有純化器的純化系統，對生產氣體進行處理，從中除去雜質。目前，大部分的研究和開發努力都集中在純化器中的介質上，并且己經能夠使氣體純度達99.999 %，但是在一些情況下，純...
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