技術編號：10423049
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。近些年，以有源矩陣液晶顯示器(AM-LCD)和有源矩陣有機發光二極管顯示器(AMOLED)為代表的平板顯示技術得到了高速的發展。薄膜晶體管(TFT)作為有源平板顯示驅動的關鍵器件，對平板顯示器的顯示效果起重要作用。薄膜晶體管主要包括硅基TFT、有機TFT和氧化物TFT，其中非晶硅薄膜晶體管(a-Si TFT)和多晶硅薄膜晶體管(p_Si TFT)因工藝相對成熟、穩定性好，廣泛應用于平板顯示器中，目前仍然是主流的TFT技術。近年，基于金屬氧化物半導體的TFT...
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