技術編號:10417067
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。金屬有機化學氣相沉積技術(MOCVD)是具有高沉積速率以及可大面積沉積薄膜的優點,其是制備高質量REBC0(RE即Rare Earth,代表Y、Sm、Gd及其他稀有金屬元素)高溫超導材料的首選工藝之一。MOCVD技術需要用重金屬有機源,以M(TMHD)x(M = RE、Ba、Cu等)為代表,通常采用單一溶液源的方法,即將全部的M (TMHD) X有機源按比例溶于THF (四氫呋喃)一類的有機溶劑中,再將溶液同時注入蒸發器內蒸成為重金屬有機反應物,通過輸送管...
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