技術編號:10396922
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。在實際生產中,由于干式蝕刻機L0ADL0CK端整個暴露在車間灰區,使得整個傳送過程中,硅片也裸漏在灰區,容易造成硅片污染,降低后期加工的良品率,一定程度上增加了生產成本。實用新型內容為了克服現有技術的不足,本實用新型的目的在于提供一種干式蝕刻機用防護罩,其裝置在干式蝕刻機LOADLOCia^,可以隔離灰區,將污染源隔離,減少顆粒沾污,提高產品良率,且PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)為透明材質,不影響關照亮度,不影響生產的正常進行。為解決上述問題,本實用新型所采...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發人員的辛勤研發付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。