技術編號：10383644
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。在真空噴涂旋轉靶材過程中，真空噴涂罐體要求壓力在負壓以下，并且由于真空噴涂時間較長，要求真空罐體內壓力長時間保持在某一個值，噴槍在噴涂過程中，大量氮氣和粉末通過噴槍進入真空罐體內，粉末通過反應附著在靶材上，而剩余的氮氣則殘留在真空，影響真空罐體的真空度，所以要求氮氣要定期排出，保證真空罐體內的真空度。實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種真空罐體穩壓裝置，能夠解決現有技術的不足。為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案如下一種真空罐體穩壓裝...
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