技術編號：10372358
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 微型機電系統（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)麥克風是基于MEMS技 術制造的麥克風，由于其具有封裝體積小、可靠性高、成本低等優點，已廣泛應用于各種語 音設備中，例如手機、平板電腦、PDA、監聽設備等電子產品。 MEMS麥克風忍片是MEMS麥克風的關鍵部件，MEMS麥克風忍片通常由基底層、振膜 層、絕緣層和背極層根據特定設計需要疊加而成，現有的一種MEMS麥克風忍片結構是由下 至上依次為基底層、振膜層和背極層，基...
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