技術編號：10295845
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。分子栗作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設備，已被廣泛應用于半導體等行業中。目前，分子栗主要有兩種，一種是渦輪分子栗，另一種是復合分子栗。其中渦輪分子栗可以獲得較大的抽速，但難以獲得較大的壓縮比，而在一些半導體行業中，要求在較寬的壓力范圍內具有較大的抽速，而渦輪分子栗并不合適。對于復合分子栗，在獲得較大抽速的同時，還可獲得較大的壓縮比，因此在半導體等行業中被廣泛應用。現有的復合分子栗主要分為兩類，一類是由渦輪分子栗與盤式牽引分子栗組合設計而成，即帶盤式牽...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。