技術編號：10265546
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。眾所周知，集成電路IC和MEMS器件的生產是一項高投資、高技術、高風險、高收益的產業。在IC芯片和MEMS器件的生產中涉及到的工藝流程和生產設備很多，這些生產設備放置在幾千到上萬平米空間的“無塵室”中，需要幾十到幾百個的高素質專業人員對其進行操作維護。昂貴的生產設備、大規模無塵車間的建設和維護決定了一條整體生產線的建設需要幾億到十幾億的投資，從而導致IC芯片和MEMS器件的生產成本居高不下。發明內容本實用新型的目的在于提供一種用于IC芯片或MEMS器件的全...
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