技術編號：10237362
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。以藍寶石、碳化硅和鎂鋁尖晶為代表的超硬晶體是第三代半導體材料GaN和ZnO外延薄膜最常用的襯底材料，在固體照明、微電子器件、航空航天等領域應用十分廣泛，目前在對于超硬超脆的人工晶體材料進行加工時的外圓加工絕大多數采用傳統外圓磨床進行加工，由于傳統外圓磨床設計基礎是加工金屬材料，其功能特性難以滿足特殊玻璃、人造藍寶石、氟化鎂、尖晶石、硫化鋅、單晶硅、鍺單晶等超硬超脆材料的外圓加工的特殊要求，如這些材料切削液均是堿性或酸性切削液，長期使用對設備將產生嚴重腐蝕，...
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