技術編號：10222419
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。MEMS傳感器芯片是一種采用MEMS工藝設計制作的傳感器芯片，具有體積小，精度高，成本低，可大批量生產等優點，因此具有十分廣闊的應用前景。具有薄膜特征結構的MEMS傳感器，如MEMS麥克風和MEMS壓力傳感器等，由于其自身薄膜結構相對脆弱，封裝過程中的機械及熱應力容易對其性能產生影響，因此該類MEMS傳感器件對芯片封裝工藝有較高的要求。在對MEMS傳感器芯片進行封裝的過程中，首先對MEMS傳感器芯片的底部進行涂膠，再將MEMS傳感器芯片放置在PCB板或陶瓷...
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