技術編號：10043588
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。硅烷是生產多晶硅的基本原料，廣泛應用電子及半導體工業中。傳統硅烷生產塔內部從上往下依此設置為填料壓圈、填料、支撐柵欄、液體再分布器、填料壓圈、填料、支撐柵欄。傳統硅烷塔的填料及進料結構存在反應速度慢、反應效率低和原材料利用率低的缺點。發明內容本實用新型的目的是提供一種結構簡單，安全可靠，反應效率高的新型的硅烷生產塔。本實用新型的目的是這樣實現的—種硅烷生產塔，包括塔身，所述塔身內部從上往下依次設有冷凝器、填料壓圈、上填料層、叔胺類催化劑層、下填料層、支撐柵...
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