掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，包括底板、固定在底板兩端的定位側板，位于所述定位側板之間的底板上相距設有：一對可作相近或相遠移動而吸附住待檢測掩膜板的吸盤體，所述吸盤體之間的底板上設有背光源，吸盤體內設有氣體通道，吸盤體側面連接有若干個與氣體通道相通的氣接頭，擱置掩膜板處的吸盤體上表面具有與氣體通道相通的長凹槽，所述的定位側板上設有從吸盤體兩端將吸盤體夾緊固定的緊固旋鈕。本實用新型通過吸盤體作相遠或相近的移動及內設的背光源,滿足了不同尺寸規格掩模板光刻檢測的定位和背景光要求，實現了真空吸附不同規格掩膜板及背景采光目的，節省了作業時間，提高了檢測效率和檢測質量。
【專利說明】
掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及一種用于掩膜板光刻檢測的帶背光多功能吸盤裝置。
【背景技術】
[0002]吸盤裝置是半導體光刻檢測設備中用于吸附固定掩模板或硅片，以便對其進行初步定位，保證在光刻檢測過程中，掩模板能隨工件臺以正確的路線和速度移動，并準確到達設定的位置。常用的吸盤裝置一般都是只能吸附一種尺寸規格的掩模板，不同尺寸規格的掩模板則需要更換不同規格的吸盤裝置才能使用。另外，常用的吸盤裝置都不帶背光結構，對部分掩模板或硅片無法實現實時檢測，或者使得檢測質量大幅下降。而目前半導體光刻檢測行業發展的實際狀況是小批量、多樣化生產及多種檢測要求等逐漸增多，需要能夠在同一套吸盤裝置上對多種不同尺寸規格和特殊背光要求的掩模板進行光刻檢測。而相關光刻檢測設備價值不菲，在實際光刻檢測生產過程中，設備的調試過程和調整工藝復雜而繁瑣，如果一套吸盤裝置只能對應一種尺寸規格或要求的掩模板或硅片，將給實際光刻檢測生產加工帶來很大困擾，并且將嚴重降低生產加工效率。并且頻繁的部件更換還會給光刻檢測設備帶來不同程度的損害。因此迫切需要一種能夠適應多種尺寸規格掩模板檢測需要且具有背光的吸盤裝置。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是:克服現有技術中之不足，提供一種掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，既能有效可靠吸附掩模板，提供必要的背景光需求，滿足掩模板加工或檢測工藝條件，又能非常便捷開閉背光源和可靠地更換不同規格的掩模板。
[0004]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，具有底板，所述的底板兩端分別設有定位側板，位于所述定位側板之間的底板上相距設有:一對可作相近或相遠移動而吸附住待檢測掩膜板的吸盤體，所述吸盤體之間的底板上設有背光源，吸盤體內設有氣體通道，吸盤體側面連接有若干個與氣體通道相通的氣接頭，擱置掩膜板處的吸盤體上表面具有與氣體通道相通的長凹槽，所述的定位側板上設有從吸盤體兩端將已定位好位置的吸盤體夾緊固定的緊固旋鈕。
[0005]具體說，所述的底板上位于吸盤體兩端分設有直線導軌，吸盤體底面與直線導軌滑動連接。
[0006]為方便不同規格掩膜板的定位，所述的定位側板上開設有對應不同規格掩膜板的限位孔，吸盤體兩端具有與所述限位孔對應的凹坑，限位孔內設有卡入凹坑而定位吸盤體的限位銷。
[0007]進一步地，所述的定位側板上對應限位孔位置具有長槽孔，緊固旋鈕通過長槽孔與吸盤體兩端螺紋連接而將吸盤體固定。
[0008]為更好地定位掩膜板，所述的吸盤體上位于長凹槽兩端設有通過位置移動而定位不同規格掩膜板的定位擋銷。
[0009]所述的吸盤體上位于長凹槽外側設有確保吸盤體上表面氣體通道密封性的吸盤至
ΠΠ O
[0010]本實用新型的有益效果是:本實用新型通過兩個相距設置的吸盤體在底板上作相遠或相近的移動，滿足了不同尺寸規格掩模板或硅片光刻檢測的定位要求，而設置在兩個吸盤體之間的背光源，可以為掩模板檢測過程提供背景光照明，便于掩模板實時清晰的檢測要求，從而實現了真空吸附不同規格掩膜板或硅片的目的，減少了諸如更換機臺或零部件以及安裝調整的麻煩，也解決了因為缺少背光導致的檢測失敗難題，節省了作業時間，提高了檢測效率和檢測質量。
【附圖說明】
[0011]下面結合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。
[0012]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0013]圖中1.底板2.定位側板3.吸盤體4.背光源5.氣接頭6.長凹槽7.緊固旋鈕8.直線導軌9.限位孔10.限位銷11.長槽孔12.定位擋銷13.吸盤蓋
【具體實施方式】
[0014]現在結合附圖對本實用新型作進一步的說明。這些附圖均為簡化的示意圖僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
[0015]如圖1所示的一種掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，具有底板I，所述的底板I兩端分別固定有定位側板2，位于所述定位側板2之間的底板I上相距設有一對吸盤體3，所述吸盤體3垂直定位側板2且對稱于底板I中心設置，底板I上位于吸盤體3兩端分固定有直線導軌8，吸盤體3底面與直線導軌8滑動連接，從而使得吸盤體3在直線導軌8可作相近或相遠的移動，以吸附住不同規格的待檢測掩膜板，位于吸盤體3之間的底板I上通過螺釘固定有檢測時發光的背光源4，保證相關光刻檢測采圖的可靠穩定與可行性。
[0016]所述吸盤體3內設有氣體通道，吸盤體3側面連接有若干個與氣體通道相通的氣接頭5，放置掩膜板處的吸盤體3上表面具有與氣體通道相通的長凹槽6，所述的定位側板2上設有從吸盤體3兩端將已定位好位置的吸盤體3夾緊固定的緊固旋鈕7，同時，在吸盤體3上位于長凹槽6外側設有確保吸盤體3上表面氣體通道密封性的吸盤蓋13。
[0017]本實施方式中，選用了四英寸、五英寸以及六英寸三種規格的掩膜板，因此，在所述定位側板2上開設有對應這三種規格掩膜板的三個限位孔9，吸盤體3兩端分別具有與所述限位孔9對應的凹坑，限位孔9內設有卡入凹坑而定位吸盤體3的限位銷10。
[0018]所述的定位側板2上對應三個限位孔9位置開有長槽孔11，緊固旋鈕7通過長槽孔11與吸盤體3兩端螺紋連接而將吸盤體3固定。
[0019]為了更好地定位上述三種規格的掩膜板，所述的吸盤體3上位于長凹槽6兩端分別設有三個通過位置移動而定位三種規格掩膜板的定位擋銷12，檢測哪種規格掩膜板，就把定位擋銷12放置在對應位置的銷孔內，從側面對掩膜板進行定位。
[0020]如果需要光刻檢測四英寸規格的掩模板，則先將定位擋銷12放置于吸盤體3上對應四英寸規格掩膜板的最里面的銷孔中，以便掩模板在吸盤體3上準確定位;然后將兩個吸盤體3沿直線導軌8向內移動，靠近離底板I中心最近的第一個限位孔9位置，將限位銷10通過該限位孔9插入吸盤體3兩端的凹坑內初步定位，然后將緊固旋鈕7通過長槽孔11與吸盤體3兩端螺紋連接而將吸盤體3固定牢靠，最后打開真空栗抽取長凹槽6內真空，吸附住掩膜板，開啟背光源4即可進行四英寸掩模板的光刻檢測工作。
[0021]如果需要光刻檢測五英寸規格的掩模板，則先將定位擋銷12放置于吸盤體3上對應五英寸規格掩膜板的中間的銷孔中，以便掩模板在吸盤體3上準確定位;然后將兩個吸盤體3沿直線導軌8向外移動，靠近中間的第二個限位孔9位置，將限位銷10通過該限位孔9插入吸盤體3兩端的凹坑內初步定位，然后將緊固旋鈕7通過長槽孔11與吸盤體3兩端螺紋連接而將吸盤體3固定牢靠，最后打開真空栗抽取長凹槽6內真空，吸附住掩膜板，開啟背光源4即可進行五英寸掩模板的光刻檢測工作。
[0022]如果需要光刻檢測六英寸規格的掩模板，則先將定位擋銷12放置于吸盤體3上對應六英寸規格掩膜板的最外的銷孔中，以便掩模板在吸盤體3上準確定位;然后將兩個吸盤體3沿直線導軌8繼續向外移動，靠近最外邊的第三個限位孔9位置，將限位銷10通過該限位孔9插入吸盤體3兩端的凹坑內初步定位，然后將緊固旋鈕7通過長槽孔11與吸盤體3兩端螺紋連接而將吸盤體3固定牢靠，最后打開真空栗抽取長凹槽6內真空，吸附住掩膜板，開啟背光源4即可進行六英寸掩模板的光刻檢測工作。
[0023]當然本實用新型的結構還可以依據實際需要，設計出更多符合不同尺寸規格掩模板的結構，以便用于吸附不同尺寸規格的掩模板，滿足市場需求的多樣性。
[0024]本實用新型通過兩個相距設置的吸盤體3在底板I上作相遠或相近的移動，滿足了不同尺寸規格掩模板或硅片光刻檢測的定位要求，而設置在兩個吸盤體3之間的背光源4，可以為掩模板檢測過程提供背景光照明，便于掩模板實時清晰的檢測要求，背光源4通過電控來實現即時開啟，使用便捷方便，從而實現了真空吸附不同規格掩膜板或硅片的目的，減少了諸如更換機臺或零部件以及安裝調整的麻煩，也解決了因為缺少背光導致的檢測失敗難題，節省了作業時間，提高了檢測效率和檢測質量。
[0025]上述實施方式只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并加以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍，凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍內。
【主權項】
1.一種掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，具有底板(I)，其特征是:所述的底板(I)兩端分別設有定位側板(2)，位于所述定位側板(2)之間的底板(I)上相距設有:一對可作相近或相遠移動而吸附住待檢測掩膜板的吸盤體(3)，所述吸盤體(3)之間的底板(I)上設有背光源(4)，吸盤體(3)內設有氣體通道，吸盤體(3)側面連接有若干個與氣體通道相通的氣接頭(5)，擱置掩膜板處的吸盤體(3)上表面具有與氣體通道相通的長凹槽(6)，所述的定位側板(2)上設有從吸盤體(3)兩端將已定位好位置的吸盤體(3)夾緊固定的緊固旋鈕(7)。2.根據權利要求1所述的掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，其特征是:所述的底板(I)上位于吸盤體(3)兩端分設有直線導軌(8)，吸盤體(3)底面與直線導軌(8)滑動連接。3.根據權利要求1所述的掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，其特征是:所述的定位側板(2)上開設有對應不同規格掩膜板的限位孔(9)，吸盤體(3)兩端具有與所述限位孔(9)對應的凹坑，限位孔(9)內設有卡入凹坑而定位吸盤體(3)的限位銷(10)。4.根據權利要求3所述的掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，其特征是:所述的定位側板(2)上對應限位孔(9)位置具有長槽孔(11)，緊固旋鈕(7)通過長槽孔(11)與吸盤體(3)兩端螺紋連接而將吸盤體(3)固定。5.根據權利要求1所述的掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，其特征是:所述的吸盤體(3)上位于長凹槽(6)兩端設有通過位置移動而定位不同規格掩膜板的定位擋銷(12)。6.根據權利要求1所述的掩膜板檢測用帶背光多功能吸盤裝置，其特征是:所述的吸盤體(3)上位于長凹槽(6)外側設有確保吸盤體(3)上表面氣體通道密封性的吸盤蓋(13)。
【文檔編號】G03F1/84GK205485272SQ201620229308
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年3月23日
【發明人】陳新宏
【申請人】常州鴻開電子科技有限公司