一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀的制作方法
【專利摘要】一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀，包括殼體，所述殼體的內部設置有襯管，殼體的上端側壁上安裝有頂空樣品氣流入口，殼體的頂端安裝有隔膜吹掃通道，殼體的底部安裝有與襯管相連通的毛細管色譜柱，殼體的下端側壁上安裝有分流出口，其特征在于：所述分流出口的管路上設置有氮氣管道，所述氮氣管道與分流出口相連通。本實用新型結構簡單、分流管道不易堵塞，延長了設備的使用壽命，降低了分析測試成本。
【專利說明】
一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀
技術領域
[0001]本實用新型涉及儀器分析技術領域，具體涉及一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀。
【背景技術】
[0002]目前，二氯二氫硅在半導體工業中作為外延淀積硅源，具有沉積速率快、外延片厚度均勻等特點，被廣泛應用。但由于二氯二氫硅中的微量雜質會給半導體器件帶來不良影響，危害非常大，因而二氯二氫硅中的微量雜質檢測尤為重要。
[0003]中國專利授權公告號CN201289475，授權公告日為2009年8月12日的實用新型公開了一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀，氣相色譜儀包括分流/不分流進樣口、頂空樣品分流通道、分流出口、毛細管色譜柱；由頂空進樣器通過所述頂空樣品流通通道傳輸而來的載氣及樣品的一部分通過分流/不分流進樣口進入氣相色譜儀的毛細管色譜柱，另一部分通過頂空樣品分流通道傳輸至所述分流出口；在分流出口處設置限流針型閥，通過該限流針型閥控制分流流量。
[0004]在分流模式下，由于分流比為10:1，分流流量較柱流量大很多，在AFC(電子流量控制器)分流閥與分流流路中會有較多的二氯二氫硅殘留，無法隨尾吹氣排出。在停機后，不可避免的會接觸到空氣，由于二氯二氫硅遇空氣中的水與氧氣等極易生成二氧化硅等微小顆粒狀物質，從而導致分流流路堵塞。
【發明內容】
[0005]本實用新型的目的是克服現技術的缺陷和不足，提供一種結構簡單、分流管路不易堵塞的帶有頂空進樣器的氣相色譜儀。
[0006]為實現以上目的，本實用新型的技術解決方案是:一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀，包括殼體，所述殼體的內部設置有襯管，殼體的上端側壁上安裝有頂空樣品氣流入口，殼體的頂端安裝有隔膜吹掃通道，殼體的底部安裝有與襯管相連通的毛細管色譜柱，殼體的下端側壁上安裝有分流出口，其特征在于:所述分流出口的管路上設置有氮氣管道，所述氮氣管道與分流出口相連通。
[0007]所述分流出口的管路上安裝有限流針型閥。
[0008]本實用新型相比現有技術，具有以下優勢:
[0009]1、本實用新型在AFC(電子流量控制器)分流流路中加裝氮氣管道，在停機后通入氮氣，對分流流路進行不間斷吹掃，保證無空氣進入流路中，在加裝氮氣管前，AFC平均使用兩個月就會因分流流路堵塞從而需要更換，加裝氮氣管后，已使用六個月，AFC依然無異常。
[0010]2、本實用新型在分流出口管路上加裝限流針型閥，可以在氮氣管沖刷一段時間后用針型閥將分流出口封閉，節省氮氣的使用，降低成本。
【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0012]圖中:殼體I，襯管2，頂空樣品氣流入口3，隔膜吹掃通道4，毛細管色譜柱5，分流出口 6，氮氣管道7，限流針型閥8。
【具體實施方式】
[0013]以下結合【附圖說明】和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0014]參見圖1，一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀，包括殼體I，所述殼體I的內部設置有襯管2，殼體I的上端側壁上安裝有頂空樣品氣流入口 3，殼體I的頂端安裝有隔膜吹掃通道4，殼體I的底部安裝有與襯管2相連通的毛細管色譜柱5，殼體I的下端側壁上安裝有分流出口6，所述分流出口6的管路上設置有氮氣管道7和，所述氮氣管道7與分流出口6相連通。
[0015]本實用新型在工作時載氣及樣品通過頂空樣品氣流入口3進入殼體I內，其中一部分載氣及樣品在經過頂空樣品流通通道后流入襯管2中最后進入毛細管色譜柱5，另一部分通過頂空瓶分流通道傳輸至分流出口。在停機后，打開氮氣管道7，對分流管路進行不間斷沖洗，避免空氣進入分流管路，當沖洗一段時間后，可以用限流針型閥8將分流管路封死，待下次分析測試時再打開。
【主權項】
1.一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀，包括殼體(I)，所述殼體(I)的內部設置有襯管(2)，殼體(I)的上端側壁上安裝有頂空樣品氣流入口(3)，殼體(I)的頂端安裝有隔膜吹掃通道(4)，殼體(I)的底部安裝有與襯管(2)相連通的毛細管色譜柱(5)，殼體(I)的下端側壁上安裝有分流出口(6)，其特征在于:所述分流出口(6)的管路上設置有氮氣管道(7)，所述氮氣管道(7)與分流出口(6)相連通。2.根據權利要求1所述的一種帶有頂空進樣器的氣相色譜儀，其特征在于:所述分流出口(6)的管路上安裝有限流針型閥(8)。
【文檔編號】G01N30/16GK205449907SQ201521097072
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2015年12月25日
【發明人】汪應軍, 葉家愛, 張國光, 林科, 劉波, 李品濤
【申請人】湖北晶星科技股份有限公司