一體化晶圓片盒模塊的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體元件存放裝置，特別是涉及一種用于盛裝和掃描半導體元件狀態的一體化晶圓片盒模塊。
【背景技術】
[0002]現今半導體設備市場上晶圓片盒種類繁多，其中使用最為廣泛且用量最大的標準片盒只有2英寸、4英寸、6英寸、8英和12英寸幾個種類。這幾種片盒雖然已經被標準化，但是只有12英寸的片盒里的一部分，才有對應的標準化工位設備。而在實際應用中12英寸的標準化片盒只能外置于用戶設備，體積龐大，無法兼容2英寸、4英寸或6英寸的小尺寸片盒，且價格相對昂貴，普通用戶無法承受大量使用。現有技術中如中國實用新型專利CN203134763 U中公開了一種片盒晶圓實時檢測裝置，包括安裝在片盒前方的左安裝柱和右安裝柱，左右安裝柱上各安裝有一組光源發射器和光源接收器，左右安裝柱上還設置有位置調整機構，可以調整左右安裝柱豎直方向的位置。這種晶圓檢測裝置在使用時只能針對同一種尺寸的晶圓進行檢測，而且作為檢測裝置的左右安裝柱位于片盒外側，結構復雜，體積較大，無法集成到其他設備內部。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種適用范圍廣、體積小、結構簡單的一體化晶圓片盒模塊。
[0004]本實用新型一體化晶圓片盒模塊，包括控制箱，控制箱上方安裝有定位安裝板，定位安裝板上加工有兩個升降孔，定位安裝板上方安裝有標準晶圓片盒，所述控制箱內側設置有升降機構，升降機構帶動兩個晶圓掃描器進行上下往復運動，晶圓掃描器能夠從升降孔中穿出，兩個晶圓掃描器分別位于標準晶圓片盒的前后兩側。
[0005]本實用新型一體化晶圓片盒模塊，其中所述定位安裝板前部安裝有傳感器支架，傳感器支架上安裝有上晶圓凸出檢測傳感器，下晶圓凸出檢測傳感器安裝在定位安裝板下偵U，下晶圓凸出檢測傳感器能夠透過升降孔與上晶圓凸出檢測傳感器相對。
[0006]本實用新型一體化晶圓片盒模塊，其中所述控制箱上安裝有轉接法蘭，轉接法蘭與定位安裝板之間安裝有若干個轉接柱。
[0007]本實用新型一體化晶圓片盒模塊，其中所述升降機構包括電動機，電動機通過聯軸器帶動齒輪旋轉，齒輪與豎直方向固定放置的齒條相嚙合，齒輪兩端安裝有軸承，軸承座安裝在連接板上，連接板帶動兩個晶圓掃描器同步運動。
[0008]本實用新型一體化晶圓片盒模塊與現有技術不同之處在于本實用新型一體化晶圓片盒模塊將晶圓片體安裝在標準晶圓片盒里，標準晶圓片盒可以拆裝替換為不同尺寸的標準晶圓片盒，以適應不同尺寸和型號的晶圓片體，而且為了與不同尺寸的標準晶圓片盒相適應，在標準晶圓片盒前后各設置有一個可升降的晶圓掃描器。在晶圓掃描器升降時，對晶圓片體進行掃描，就可以確定晶圓片體的數量和位置，并且發現裝片錯誤。本實用新型一體化晶圓片盒模塊在盛裝晶圓片體的同時還可以對晶圓片體進行掃描，無需用戶設備再單獨配備晶元掃描裝置，節省設備運行時間，也提高生產效率。而且本實用新型一體化晶圓片盒模塊的體積小巧，整體高度僅相當于2.5個標準晶圓片盒的高度，便于集成到設備內部，也可以按需求安裝到設備任意允許安裝的位置，使用非常方便，結構簡單。
[0009]下面結合附圖對本實用新型的一體化晶圓片盒模塊作進一步說明。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型一體化晶圓片盒模塊的結構示意圖；
[0011]圖2為本實用新型一體化晶圓片盒模塊的后視圖；
[0012]圖3為本實用新型一體化晶圓片盒模塊中升降機構的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0013]如圖1所示，本實用新型一體化晶圓片盒模塊包括控制箱1，控制箱I內側設置有升降機構。如圖3所示，升降機構包括電動機12，電動機12通過聯軸器13帶動齒輪14旋轉，齒輪14與豎直方向放置的齒條11相嚙合，齒條11固定在控制箱I內部，齒輪14兩端安裝有軸承，軸承安裝在軸承座16中，軸承座16安裝在連接板15上。如圖1和圖2所示，控制箱I上安裝有轉接法蘭2，轉接法蘭2四周安裝有四個向上設置的轉接柱9，轉接柱9頂部安裝有定位安裝板8。定位安裝板8上方安裝有標準晶圓片盒6，標準晶圓片盒6可以更換成不同尺寸，標準晶圓片盒6內部放置有晶圓片體。定位安裝板8上加工有兩個升降孔，升降孔的位置與晶圓掃描器3(3')相對應，兩個晶圓掃描器3(3')分別位于標準晶圓片盒6的前后兩側。晶圓掃描器3(3')下端安裝在升降機構的連接板15上，晶圓掃描器3(3')能夠隨升降機構進行上下往復運動。晶圓掃描器3(3')向下運動時，可以完全進入到定位安裝板8下方；向上運動時，可以穿過升降孔對標準晶圓片盒6進行掃描。定位安裝板8前部安裝有傳感器支架4，傳感器支架4上安裝有上晶圓凸出檢測傳感器5，下晶圓凸出檢測傳感器7安裝在定位安裝板8下側，下晶圓凸出檢測傳感器7可以透過升降孔與上晶圓凸出檢測傳感器5相對。上晶圓凸出檢測傳感器5和下晶圓凸出檢測傳感器7作為一種安全傳感器，用來確定晶圓片體是否凸出到標準晶圓片盒6外部。
[0014]本實用新型一體化晶圓片盒模塊在使用時可以將其集成到其他設備內部。將尺寸型號與標準晶圓片盒6相對應的晶圓片體放入標準晶圓片盒6之后，啟動升降機構對晶圓片體進行掃描。掃描時前后兩個晶圓掃描器3(3')同步運動，共同對晶圓片體進行掃描，得到晶圓片體的數量、位置信號，并可以檢查是否出現裝片錯誤的情況。同時上晶圓凸出檢測傳感器5和下晶圓凸出檢測傳感器7將在豎直方向上對晶圓片體進行檢測，防止有晶圓片體凸出到標準晶圓片盒6外部。
[0015]以上所述的實施例僅僅是對本實用新型的優選實施方式進行描述，并非對本實用新型的范圍進行限定，在不脫離本實用新型設計精神的前提下，本領域普通技術人員對本實用新型的技術方案作出的各種變形和改進，均應落入本實用新型權利要求書確定的保護范圍內。
【主權項】
1.一種一體化晶圓片盒模塊，其特征在于:包括控制箱，控制箱上方安裝有定位安裝板，定位安裝板上加工有兩個升降孔，定位安裝板上方安裝有標準晶圓片盒，所述控制箱內側設置有升降機構，升降機構帶動兩個晶圓掃描器進行上下往復運動，晶圓掃描器能夠從升降孔中穿出，兩個晶圓掃描器分別位于標準晶圓片盒的前后兩側。2.根據權利要求1所述的一體化晶圓片盒模塊，其特征在于:所述定位安裝板前部安裝有傳感器支架，傳感器支架上安裝有上晶圓凸出檢測傳感器，下晶圓凸出檢測傳感器安裝在定位安裝板下側，下晶圓凸出檢測傳感器能夠透過升降孔與上晶圓凸出檢測傳感器相對。3.根據權利要求1所述的一體化晶圓片盒模塊，其特征在于:所述控制箱上安裝有轉接法蘭，轉接法蘭與定位安裝板之間安裝有若干個轉接柱。4.根據權利要求1所述的一體化晶圓片盒模塊，其特征在于:所述升降機構包括電動機，電動機通過聯軸器帶動齒輪旋轉，齒輪與豎直方向固定放置的齒條相嚙合，齒輪兩端安裝有軸承，軸承座安裝在連接板上，連接板帶動兩個晶圓掃描器同步運動。
【專利摘要】本實用新型一體化晶圓片盒模塊涉及一種半導體元件存放裝置。其目的是為了提供一種適用范圍廣、體積小、結構簡單的一體化晶圓片盒模塊。本實用新型一體化晶圓片盒模塊包括控制箱，控制箱上方安裝有定位安裝板，定位安裝板上加工有兩個升降孔，定位安裝板上方安裝有標準晶圓片盒，所述控制箱內側設置有升降機構，升降機構帶動兩個晶圓掃描器進行上下往復運動，晶圓掃描器能夠從升降孔中穿出，兩個晶圓掃描器分別位于標準晶圓片盒的前后兩側。
【IPC分類】H01L21/673, H01L21/66
【公開號】CN205355022
【申請號】CN201620112105
【發明人】孫金召, 周衛國, 劉冬梅
【申請人】北京銳潔機器人科技有限公司
【公開日】2016年6月29日
【申請日】2016年2月3日