一種真空罐體穩壓裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及一種真空罐體穩壓裝置。
【背景技術】
[0002]在真空噴涂旋轉靶材過程中，真空噴涂罐體要求壓力在負壓以下，并且由于真空噴涂時間較長，要求真空罐體內壓力長時間保持在某一個值，噴槍在噴涂過程中，大量氮氣和粉末通過噴槍進入真空罐體內，粉末通過反應附著在靶材上，而剩余的氮氣則殘留在真空，影響真空罐體的真空度，所以要求氮氣要定期排出，保證真空罐體內的真空度。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種真空罐體穩壓裝置，能夠解決現有技術的不足。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案如下:一種真空罐體穩壓裝置，包括真空罐體、控制裝置、水環栗和壓力檢測裝置，所述真空罐體通過管道與水環栗相連，所述真空罐體上設置有壓力檢測裝置，所述壓力檢測裝置包括壓力傳感器和壓力表，所述壓力傳感器設置在真空罐體內部，所述壓力表設置在真空罐體頂部，所述控制裝置包括變頻器和控制器，所述水環栗、壓力傳感器通過閉合回路分別與控制器相連，所述變頻器通過導線與水環栗相連。
[0005]作為優選，所述控制裝置上設置有顯示屏、報警器和控制按鈕。
[0006]作為優選，所述管道上設置有控制閥。
[0007]本實用新型結構簡單，操作方便，以水環栗為抽真空設備，在罐體上設置壓力傳感器器，設定罐體內壓力為負0.02MPa，當設備工作時變頻器啟動，帶動水環栗工作，變頻器通過壓力變送器形成閉環回路，通過壓力變送器傳送給變頻器的信號實現PID控制，從而達到罐體穩壓的目的。
[0008]本實用新型的有益效果如下:
[0009]1.噴槍雖然不斷有氮氣進入真空罐體，真空罐體扔可以保持動態平衡，使壓力保持一定。2.以設定任意壓力值，通關傳感器和水環栗都可以實現真空罐體的穩壓。
【附圖說明】
[0010]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖；
[0011]圖1是本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖對本實用新型的優選實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。
[0013]參照圖1，本實用新型的包括真空罐體2、控制裝置3、水環栗4和壓力檢測裝置5，所述真空罐體2通過管道與水環栗4相連，所述真空罐體2上設置有壓力檢測裝置5，所述壓力檢測裝置5包括壓力傳感器和壓力表，所述壓力傳感器設置在真空罐體2內部，所述壓力表設置在真空罐體2頂部，所述控制裝置3包括變頻器和控制器，所述水環栗4、壓力傳感器通過閉合回路分別與控制器相連，所述變頻器通過導線與水環栗4相連，所述真空罐體2上設置有觀察窗，所述控制裝置3上設置有照明燈。
[0014]值得注意的是，所述控制裝置3上設置有顯示屏、報警器和控制按鈕。
[0015]值得注意的是，所述管道上設置有控制閥。
[0016]本實用新型工作時，水環栗先抽真空將罐體內壓力抽至負0.02MPa以下，而后水環栗停止工作，保壓。真空罐體內噴槍開始工作，罐體內壓力逐漸上升，壓力傳感器檢測到壓力高于-0.02MPa，變頻器帶動水環栗工作，將罐體內壓力抽至負0.02MPa。從而實現了真空罐體內壓力的動態平衡，使壓力始終保持在負0.02MPa。
[0017]以上所述是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種真空罐體穩壓裝置，其特征在于:包括真空罐體(2)、控制裝置(3)、水環栗(4)和壓力檢測裝置(5)，所述真空罐體(2)通過管道與水環栗(4)相連，所述真空罐體(2)上設置有壓力檢測裝置(5)，所述壓力檢測裝置(5)包括壓力傳感器和壓力表，所述壓力傳感器設置在真空罐體(2)內部，所述壓力表設置在真空罐體(2)頂部，所述控制裝置(3)包括變頻器和控制器，所述水環栗(4)、壓力傳感器通過閉合回路分別與控制器相連，所述變頻器通過導線與水環栗(4)相連。2.根據權利要求1所述的真空罐體穩壓裝置，其特征在于:所述控制裝置(3)上設置有顯示屏、報警器和控制按鈕。3.根據權利要求1所述的真空罐體穩壓裝置，其特征在于:所述管道上設置有控制閥。
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空罐體穩壓裝置，包括真空罐體、控制裝置、水環泵和壓力檢測裝置，所述真空罐體通過管道與水環泵相連，所述真空罐體上設置有壓力檢測裝置，所述壓力檢測裝置包括壓力傳感器和壓力表，所述壓力傳感器設置在真空罐體內部，所述壓力表設置在真空罐體頂部。本實用新型噴槍雖然不斷有氮氣進入真空罐體，真空罐體扔可以保持動態平衡，使壓力保持一定，以設定任意壓力值,通關傳感器和水環泵都可以實現真空罐體的穩壓。
【IPC分類】C23C4/12
【公開號】CN205295443
【申請號】
【發明人】戴偉彬
【申請人】戴偉彬
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2015年12月17日