泡生法用鳥籠式加熱器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及加熱器領域,尤其涉及一種泡生法用鳥籠式加熱器。
【背景技術】
[0002]在LED領域的晶體生長方法中,泡生法是世界公認的最適合大規模工業化生產的一種方法。目前泡生法一般采用控制功率或者電壓來控制熱場溫度,長晶過程很少甚至不提拉晶體,整個晶體生長過程都處于熱區中,整個工藝過程持續時間較長。加熱器作為控制溫度場均勻和穩定的關鍵部件,其可靠性直接關乎長晶的效率。
[0003]目前傳統的鎢環固定方式是用鎢錸絲將鎢環直接捆扎在鎢桿上,隨著工作時間的延長,鎢錸絲在高溫真空下的固著能力逐漸減弱,5?6個周期后需要拆出加熱器進行重新固定,鎢錸絲價格昂貴,而且在拆裝過程中易使得加熱器發生損壞,影響加熱器的使用壽命O
[0004]鑒于此,如何設計開發一種新型加熱器,以提高加熱器的使用壽命,已成為本領域技術人員亟待解決的問題。
【實用新型內容】
[0005]為克服上述問題,本實用新型提供一種加熱器,在降低成本的同時,大大延長了加熱器的使用壽命,直接提高長晶效率。
[0006]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:泡生法用鳥籠式加熱器,包括兩個呈半圓形的電極,豎直且均勻布置在兩電極上的多組鎢桿,以及橫向固定在鎢桿上的多個鎢環。其中,鎢桿包括分別與兩電極相連的第一直線段和第二直線段,以及連接所述第一直線段和第二直線段的連接段。上述鎢環與鎢桿采用氬弧焊方式相焊接。優選的,為進一步提高加熱器的可靠性,在焊接處還可纏繞捆扎鎢絲或鎢錸絲。
[0007]為提供長晶所需的溫度場,作為本實用新型的進一步改進,鎢桿的數量不少于24根,鎢環的數量不少于4個。
[0008]作為本實用新型的更進一步改進,在電極下部還設有一固定座,固定座下側還設置有用于調節平穩度的調節螺栓,上述結構可進一步保持加熱器工作的平穩性,為長晶提供均勻、穩定的溫度環境。
[0009]作為本實用新型的一種實施方式,鎢桿的形狀為開口朝下的U形,且相鄰各鎢桿的連接段彼此高低錯位布置。當然,鎢桿的形狀并不限于U形,其連接段還可采用S形,折線形或其他形狀,只要實現導通即可。
[0010]本實用新型與現有技術相比,其優點在于:
[0011]本實用新型采用氬弧焊的方式將鎢環焊接在鎢桿的相應位置,固定更加牢固,其使用壽命與加熱器的壽命趨于一致,在大幅降低成本的同時,使得加熱器的使用壽命可延長20%以上。此外,在上述焊接處纏繞捆扎鎢絲或鎢錸絲,可進一步提高加熱器的可靠性。將鎢桿設置成開口朝下的U形,其結構更加簡單,相鄰各鎢桿的連接段彼此高低錯位布置,可利于形成更加均勻、溫度的溫度場,利用長晶成形。
[0012]以下將結合附圖和實施例,對本實用新型進行較為詳細的說明。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的剖視圖。
[0014]圖2為本實用新型的局部結構示意圖,圖中示意出各鎢桿的連接段彼此高低錯位布置,此外圖中示意出一根鎢環的固定位置。
[0015]圖中,1、電極;2、鎢桿;3、鎢環;4、固定座;21、第一直線段;22、第二直線段;23、
連接段。
【具體實施方式】
[0016]實施例,請一并參閱圖1至2,泡生法用鳥籠式加熱器,包括兩個呈半圓形的電極1,豎直且均勻布置在兩電極上的多根鎢桿2,以及橫向固定在鎢桿2上的多個鎢環3。其中,上述兩電極I不相封閉,鎢桿2包括分別與兩電極相連的第一直線段21和第二直線段22,以及連接所述第一直線段21和第二直線段22的連接段23。鎢環3與鎢桿2采用氬弧焊方式相焊接,并且焊接處纏繞捆扎鎢錸絲。鎢桿2的數量為24根(圖2僅示出局部),鎢環3的數量為5個(圖2僅示出I個)。在電極I下部還設有一固定座4,固定座下側還設置有用于調節平穩度的調節螺栓(圖中未示出)。上述鎢桿2的形狀為開口朝下的U形,且相鄰各鎢桿的連接段彼此高低錯位布置。
[0017]本實用新型采用氬弧焊的方式將鎢環焊接在鎢桿的相應位置,固定更加牢固,其使用壽命與加熱器的壽命趨于一致,在大幅降低成本的同時,使得加熱器的使用壽命可延長20%以上。此外,在上述焊接處纏繞捆扎鎢絲或鎢錸絲,可進一步提高加熱器的可靠性。
[0018]以上所述僅是對本實用新型的較佳實施例,并非對本實用新型的范圍進行限定,故在不脫離本實用新型設計精神的前提下,本領域普通技術人員對本實用新型所述的構造、特征及原理所做的等效變化或裝飾,均應落入本實用新型的保護范圍內。
【主權項】
1.泡生法用鳥籠式加熱器,包括兩個呈半圓形的電極(I),豎直且均勻布置在兩電極上的多組鎢桿(2),以及橫向固定在鎢桿(2)上的多個鎢環(3),其特征在于:所述鎢桿(2)包括分別與兩電極相連的第一直線段(21)和第二直線段(22),以及連接所述第一直線段(21)和第二直線段(22)的連接段(23);所述鎢環(3)與鎢桿(2)采用氬弧焊方式相焊接。2.如權利要求1所述泡生法用鳥籠式加熱器,其特征在于:所述鎢桿(2)的數量不少于24根,鎢環(3)的數量不少于4個。3.如權利要求1所述泡生法用鳥籠式加熱器,其特征在于:所述電極(I)下部還設有一固定座⑷。4.如權利要求3所述泡生法用鳥籠式加熱器,其特征在于:所述固定座(4)下側還設置有用于調節平穩度的調節螺栓。5.如權利要求1至4任一項所述泡生法用鳥籠式加熱器,其特征在于:所述鎢桿(2)的形狀為開口朝下的U形,且相鄰各鎢桿的連接段彼此高低錯位布置。
【專利摘要】本實用新型公開了泡生法用鳥籠式加熱器,包括兩個呈半圓形的電極,豎直且均勻布置在兩電極上的多組鎢桿,以及橫向固定在鎢桿上的多個鎢環。其中,鎢桿包括分別與兩電極相連的第一直線段和第二直線段,以及連接所述第一直線段和第二直線段的連接段。上述鎢環與鎢桿采用氬弧焊方式相焊接。本實用新型采用氬弧焊的方式將鎢環焊接在鎢桿的相應位置,固定更加牢固,其使用壽命與加熱器的壽命趨于一致,在大幅降低成本的同時,使得加熱器的使用壽命可延長20%以上。此外,在上述焊接處纏繞捆扎鎢絲或鎢錸絲,可進一步提高加熱器的可靠性。
【IPC分類】C30B17/00
【公開號】CN204779919
【申請號】CN201520481269
【發明人】周華東, 張會選, 徐峰, 方偉峰
【申請人】黃山市東晶光電科技有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年7月1日