一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及到單晶硅拋光片的生產領域，具體的說是一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝。
【背景技術】
[0002]單晶硅拋光片是IC行業的基礎材料，單晶硅拋光片的加工方法為通過拋光布、拋光液等材料對硅片表面進行化學機械拋光，而拋光布是粘貼在拋光機的拋光盤上的，需定期更換。為保證拋光過程順利進行，拋光布需非常牢固的粘貼在拋光盤上，以保證拋光硅片質量。而更換拋光布時，又需要將牢固粘貼在拋光盤上的拋光布揭除掉，揭除拋光布較為困難，而目前揭除拋光布還沒有一種合適的揭布工具，可以方便、省力的揭除拋光布。
【實用新型內容】
[0003]為解決現有技術中拋光布牢固粘貼在拋光盤上很難揭掉的問題，本實用新型提供了一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，可以方便、省力的揭除粘貼在拋光盤上的拋光布，大大提尚生廣效率。
[0004]本實用新型為解決上述技術問題采用的技術方案為:一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，包括一條形揭除桿，在條形揭除桿上沿其長度長度方向分布有貫通其厚度方向的條形通槽，條形揭除桿的一端設置有接頭，接頭上設置有連接棘輪扳手的傳動方孔和連接加力桿的通孔中的一個或兩個，在拋光布的邊緣插入條形通槽中時，通過棘輪扳手或加力桿轉動揭除桿轉動，使拋光布從拋光盤上分離并纏繞在條形揭除桿上。
[0005]所述條形揭除桿為圓形，條形通槽垂直其軸向開設。
[0006]有益效果:本實用新型通過設置一根帶有條形通槽的揭除桿，然后在揭除桿的一側通過傳動方孔和通孔與棘輪扳手或加力桿連接，在需要揭除拋光布時，將拋光布的邊緣揭起，然后插入到揭除桿的條形通槽內再通過棘輪扳手或加力桿轉動揭除桿，使拋光布在揭除桿轉動的過程中從拋光盤上揭起并纏繞到揭除桿的表面；本實用新型的結構簡單，操作簡便，可以方便、快速的揭除粘貼在拋光盤上的拋光布。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0008]圖2為本實用新型接頭的結構示意圖；
[0009]附圖標記:1、條形揭除桿，2、條形通槽，3、接頭，301、傳動方孔，302、通孔。
【具體實施方式】
[0010]如圖所示，一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，包括一條形揭除桿1，在條形揭除桿I上沿其長度長度方向分布有貫通其厚度方向的條形通槽2，條形揭除桿I的一端或兩端設置有接頭3，接頭3上設置有連接棘輪扳手的傳動方孔301和連接加力桿的通孔302中的一個或兩個，在拋光布的邊緣插入條形通槽2中時，通過棘輪扳手或加力桿轉動揭除桿I轉動，使拋光布從拋光盤上分離并纏繞在條形揭除桿I上。
[0011]本實用新型中，所述條形揭除桿I為圓形，材質一般選用金屬材質，條形通槽2垂直其軸向開設。
[0012]為了增強揭布的效果，在條形揭除桿I上的條形通槽2兩側分布有毛刺，以便于拋光布更好的纏繞在條形揭除桿I上。
【主權項】
1.一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，其特征在于:包括一條形揭除桿(1)，在條形揭除桿(I)上沿其長度長度方向分布有貫通其厚度方向的條形通槽(2)，條形揭除桿(I)的一端或兩端設置有接頭(3 )，接頭(3 )上設置有連接棘輪扳手的傳動方孔(301)和連接加力桿的通孔(302)中的一個或兩個，在拋光布的邊緣插入條形通槽(2)中時，通過棘輪扳手或加力桿轉動揭除桿(I)轉動，使拋光布從拋光盤上分離并纏繞在條形揭除桿(I)上。2.根據權利要求1所述的一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，其特征在于:所述條形揭除桿(I)為圓形，條形通槽(2)垂直其軸向開設。
【專利摘要】一種用于揭除粘貼在拋光盤上拋光布的工裝，屬于單晶硅拋光片的生產領域，包括一條形揭除桿，在條形揭除桿上沿其長度方向分布有貫通其厚度方向的條形通槽，條形揭除桿的一端設置有接頭，接頭上設置有連接棘輪扳手的傳動方孔和連接加力桿的通孔中的一個或兩個，在拋光布的邊緣插入條形通槽中時，通過棘輪扳手或加力桿轉動揭除桿轉動，使拋光布從拋光盤上分離并纏繞在條形揭除桿上。本實用新型的結構簡單，操作簡便，可以方便、快速的揭除粘貼在拋光盤上的拋光布。
【IPC分類】B32B38/10
【公開號】CN204820604
【申請號】CN201520609277
【發明人】史舸, 趙文龍, 胡曉亮, 高燁, 李宏儒, 張磊
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月14日