專利名稱：處理器裝置用托盤安裝臺的制作方法
技術領域：
本發明涉及進行試驗用半導體IC(以后簡稱為DUT)的試驗時將放置DUT的托盤可靠地并且出入容易地供給IC試驗系統的處理器裝置用托盤安裝臺。
對于將放置DUT的托盤放置在托盤安裝臺上、自動地將DUT供給IC試驗系統并根據試驗結果自動地分類存放的處理器裝置用托盤安裝臺而言，必須可靠地承載放置DUT的托盤，從而要求正確地定位。
另外，在IC試驗系統中，必須處理大量的DUT及托盤，從而要求能夠容易而安全地出入。
第1個先有的例子示于圖3、4、5。
這一例子是主要著眼于進行正確地定位而設置的處理器裝置用托盤安裝臺。
圖3是托盤安裝臺的斜視圖，圖4是托盤安裝臺的側視圖。
多個DUT放置在托盤90的內部，處理器裝置接收到各個DUT后，移動到進行電氣試驗的位置。多個該托盤90重疊地放置到托盤安裝臺上，利用升降機構沿高度方向上升到指定的位置。
另外，根據DUT的種類不同，有各種大小不同的托盤，為了適應多種托盤的大小，具有用于沿X方向和Y方向進行定位的定位機構。
處理器裝置的主座80確定處理器裝置的位置基準。沿處理器裝置的主座80的X方向的一邊和Y方向的一邊放置的托盤90，利用可移動式托盤調節桿25分別從X方向和Y方向擠壓進行定位。
通常，承載托盤90的升降機35越大越容易確保托盤的水平位置。圖5是承載托盤90的升降機35的平面圖。將托盤90向上推升的升降機35的平面，呈除去托盤調節桿25移動的部分的擴展狀。即，具有凸凹的平面a、b、c、d、f、g、h、i、j、k、l的平面，設置有除去托盤調節桿25移動的部分d、e、f、g和i、j、k、l的平面。并且，托盤調節桿25配置成可以沿X方向和Y方向移動到最小的托盤尺寸位置。另外，升降機35的平面a、b、c、h具有可以將最大的托盤尺寸覆蓋的大小。因此，不論托盤90小還是大，由于確保升降機35具有足夠的面積，所以，總是可以將托盤90水平地向上推升。
托盤90由升降機35按如下方式上升或下降到指定的位置。
線性齒條76連接成可以使升降機35上下移動，利用升降機齒輪75的轉動而上升或下降。另外，為了將升降機35保持為水平而設置有線性導軌45。
為了將提升到指定高度的托盤90頂住，在托盤調節桿25上設置有托盤推桿26。
托盤推桿26如圖4所示的那樣，擠壓住最上部的托盤將其固定，防止處理器裝置吸附DUT時吸附灰塵，將DUT放置到托盤內時可以正確地放置到托盤的DUT放置部分。
另外，通常為了處理大量的DUT，處理器裝置使用多個托盤90。并且，這些托盤90向托盤安裝臺內的裝入和取出由人工進行。
如上所述，按照第1個先有的例子，當正確地將處理器裝置的主座80定好位時，可以將托盤90固定。但是，托盤90向托盤安裝臺內的裝入和取出由人工進行，由于在托盤安裝臺的上部有處理器裝置的可動部分，所以，不能確保寬闊的空間，從而托盤90的更換作業不便。
其次，第2個先有的例子示于圖6、7。
這個例子是主要著眼于容易進行托盤的裝入和取出而設置的處理器裝置用托盤安裝臺。
圖6是托盤安裝臺的斜視圖，圖7是托盤安裝臺的側視圖。在托盤安裝臺中，在托盤移動座5上設置有托盤90定位用的托盤導引桿15。沿托盤導引桿15放置的托盤90由托盤調節桿25從X方向或者Y方向進行擠壓而定位。
為了將托盤水平地上升或下降到指定的位置而設置有升降機35。
在本先有技術中，為了將托盤移動座5從處理器裝置中拉出或者送入而設置有滑動壓力滾子6。
因此，可以將托盤安裝臺和托盤90一起拉出，在將托盤安裝臺拉出的狀態下可以將托盤裝入和取出。所以，在將托盤90裝入和取出時，在該托盤安裝臺上確保具有寬闊的空間，從而可以容易地進行托盤90的更換作業。此外，這時由于在托盤安裝臺的周圍沒有處理器裝置等的可移動部分，所以，可以安全地進行作業。
下面，參照圖7說明將托盤90水平地提升到指定的位置的狀況。
在托盤移動座5上設置有托盤導引桿15和托盤調節桿25，為了將托盤90頂住而在托盤調節桿25上設置有托盤推桿26。
線性齒條76連接成可以使升降機35上下移動，利用升降機35的轉動而上升或下降。
為了將升降機35保持為水平而設置有線性導軌45。
托盤90的定位始終是相對于托盤導引桿15進行的。但是，由于滑動壓力滾子6是利用滑動機構的可移動式，所以，通常存在微小的搖動等，對于處理器本體難于定位。對于處理器裝置的主座80，托盤90的位置存在誤差x。
這樣，由于相對于處理器裝置沒有托盤安裝臺的托盤移動座的定位基準，所以，不能正確地進行托盤的定位。
為了給出托盤移動座的正確位置，在托盤移動座上，在移動壓力滾子的周圍必須使用昂貴的線性移動導軌。
本發明的目的旨在實現可以將放置DUT的托盤按正確的位置供給處理器裝置并且可以容易而安全地進行托盤向托盤安裝臺的裝入和取出作業的處理器裝置用托盤安裝臺。
為了達到上述目的，在本發明中，相對于托盤調節桿25的長度，將托盤導引桿15的長度縮短。在該托盤導引桿15的上部，與處理器裝置的主座80一體地設置有托盤基準桿(50、51、52、53)。
因此，托盤90由升降機35向上推，當到達最上部時，此前由托盤導引桿15定位的托盤90就轉換為由托盤基準桿(50、51、52、53)進行定位。在與托盤基準桿的高度對應的位置，將托盤推桿26安裝到X方向和Y方向的各托盤調節桿25上。并且，利用托盤推桿26的氣壓泵的作用由托盤基準桿將該最上部的托盤擠壓住。由于托盤基準桿(50、51、52、53)與處理器裝置的主座80安裝成一體，所以，托盤90可以與處理器裝置正確地定位。另外，可以將托盤安裝臺與托盤90一起拉出，從而可以在將托盤安裝臺拉出的狀態下將托盤取出和裝入。因此，在進行托盤90的取出和裝入時，在該托盤安裝臺的上部可以確保寬闊的空間，從而可以容易而安全地進行托盤90的更換作業。
圖1是本發明的處理器裝置用托盤安裝臺的一個實施例的斜視圖。
圖2是本發明的處理器裝置用托盤安裝臺的一個實施例的側視圖。
圖3是第1個先有例子的托盤安裝臺的斜視圖。
圖4是第1個先有例子的托盤安裝臺的側視圖。
圖5是承載托盤90的升降機35的平面圖。
圖6是第2個先有例子的托盤安裝臺的斜視圖。
圖7是第2個先有例子的托盤安裝臺的側視圖。
下面，參照
實施例。
參照圖1、2說明處理器裝置用托盤安裝臺，圖1是托盤安裝臺的一個實施例的斜視圖，圖2是托盤安裝臺的一個實施例的側視圖。
如圖1所示，在放置多個托盤90的托盤移動座5的上面，將定位用的托盤導引桿15配置在大致90度正交的X方向和Y方向的2個方向。托盤調節桿25沿X方向和Y方向將托盤90向各托盤導引桿15擠壓而固定。即，進行托盤移動座5上相對于托盤導引桿15的定位。
在托盤移動座5上，設置有作為可以將托盤移動座5拉出或壓入的導軌的滑動壓力滾子6。因此，托盤移動座5可以拉出到處理器前面，從而可以將承載的托盤90取出或裝入。
另外，將托盤90向上推升的升降機35的平面呈除去托盤調節桿25移動的部分的寬闊狀。即，具有凸凹的平面a、b、c、d、e、f、g、h、i、j、k、l的平面，設置有除去托盤調節桿25移動的部分d、e、f、g和i、j、k、l的平面，所以，不論托盤90大小都可以水平地向上提升。
在拾取并吸附DUT的處理器裝置的主座80上，設置有沿X方向和Y方向用于進行托盤的最終定位的托盤基準桿(50、51、52、53)。
托盤90如上述那樣首先利用托盤導引桿15進行定位。然后，利用升降機35向上推升。如圖2所示的那樣，相對于托盤調節桿25的長度，將托盤導引桿15的長度縮短。在該托盤導引桿15的上部，設置托盤基準桿(50、51、52、53)。
因此，托盤90由升降機35向上推升，當到達最上部時，此前由托盤導引桿15定位的托盤90就轉換為由托盤基準桿(50、51、52、53)進行定位。在與托盤基準桿(50、51、52、53)的高度對應的位置上，將托盤推桿26安裝到X方向和Y方向的各托盤調節桿25上。并且，利用托盤推桿26的氣壓泵的作用，將最上部的托盤向托盤基準桿(50、51、52、53)擠壓。由于托盤基準桿(50、51、52、53)與處理器裝置的主座80安裝成一體，所以，托盤90可以與處理器本體正確地定位。
如上述那樣，由于托盤導引桿15具有將托盤90定位到某種程度的功能，所以，不使用昂貴的線性移動導引桿等也可以完成。
另外，上述托盤基準桿只要能確保與處理器裝置的主座80的位置一致就可以，可以在與托盤調節桿相對的X方向和Y方向設置成一個面，也可以細分為多個而設置。
另外，上述托盤推桿26只要是能提供用于將托盤頂住的壓力的就可以，如果具有彈性也可以。
由于本發明是如上述說明的那樣構成的，所以，具有如下效果。
在拾取并吸附DUT的處理器裝置的主座的X方向和Y方向設置有托盤基準桿，因此，當由升降機將托盤向上推升時，轉換為托盤基準桿，所以，可以保持著水平正確地進行X方向和Y方向的定位，將DUT放置到托盤內時，不存在DUT進入不到托盤的定位槽內或者從托盤吸取DUT時吸取不到DUT的中心的問題。另外，可以將托盤安裝臺與托盤90一起拉出，在將托盤安裝臺拉出的狀態下可以將托盤裝入和取出。因此，進行托盤90的裝入和取出時，在該托盤安裝臺的上部，可以確保寬闊的空間，從而可以容易地進行托盤90的更換作業。并且，這時，在托盤安裝臺的周圍沒有處理器裝置等的可移動部分，所以，可以安全地進行作業。
權利要求
1.一種處理器裝置用托盤安裝臺，包括在放置多個托盤(90)的托盤移動座(5)的上面重疊地放置多個托盤90并使之上下移動的升降機(35)，其特征在于分別設置有可以將托盤移動座(5)裝入和取出的滑動壓力滾子(6)、固定地配置在托盤移動座(5)的兩邊的用于托盤90的定位的多個托盤導引桿(15)、與在托盤移動座(5)的其他兩邊設置為可以移動的多個托盤(90)的外形的大小一致地進行定位的托盤調節桿(25)、在托盤導引桿(15)的上部與處理器裝置的主座(80)成為一體由升降機(35)將托盤(90)向上推升并從托盤導引桿(15)轉換過來進行兩個方向定位的托盤基準桿(50、51、52、53)，以此進行正確的定位。
2.如權利要求1所述的處理器裝置用托盤安裝臺，其特征在于對于托盤調節桿(25)，在與托盤基準桿(50、51、52、53)的高度對應的位置，在各托盤調節桿(25)上附加有由彈性體構成的托盤推桿(26)，以此進行正確的定位。
3.如權利要求2所述的處理器裝置用托盤安裝臺，其特征在于托盤推桿(26)由氣壓泵構成。
全文摘要
本發明為一種將放置DUT的托盤以正確的定位供給處理器裝置而且可以容易地進行托盤的裝入和取出作業的處理器裝置用安裝臺。因此，相對于托盤調節桿的長度，將托盤導引桿的長度縮短，并將托盤基準桿配置到該托盤導引桿的上部。從而，當托盤被升降機向上推升到最上部時，就轉換為由托盤基準桿進行定位。在與托盤基準桿的高度對應的位置，托盤推桿安裝在X方向和Y方向的各托盤調節桿上。
文檔編號H05K13/00GK1134605SQ95117240
公開日1996年10月30日 申請日期1995年9月26日 優先權日1995年4月28日
發明者清川敏之, 大浦溥 申請人:株式會社愛德萬測試