本發明涉及x射線光學系統設計以及膜層設計分析,具體涉及一種基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜及制備方法。
背景技術:
1、在空間x射線探測、x射線脈沖星導航、x射線通信、x射線成像及x射線光譜分析等領域,能否對軟x射線光子進行有效的反射及聚焦成像,決定上述系統的應用效果。對于0.5nm-10nm的軟x射線,由于其特殊的穿透性,其很難在光學表面產生有效的反射。軟x射線在介質表面的反射率是入射波長與掠入射角的復雜函數,對于特定波長的軟x射線,反射率會隨著掠入射角的增加而變小,因此要提高反射率就需要很小的掠入射角,其反射率r與掠入射角θ的表達式可表示如下:
2、在上述掠入射角的技術限制下,導致現有的x射線反射膜以及x射光學系統存在著以下幾個問題:
3、1、如果要實現高的x射線反射率,需要降低掠入射角,這會導致x射線光子需要較長的光學路經,導致目前已經應用的高性能x射線光學系統焦距往往長達數米甚至數十米,體積龐大,難以實現系統的小型化和輕量化。
4、2、在上述應用情況下,x射光子在掠入射的情況下才能有效反射,導致在掠入射角之外大部分光子未能經由x射線子反射收集,信號收集效率比較低。
5、3、目前針對x射線高效率的反射問題,也存在一些解決思路,比較常用的方法是采用x射線多層反射膜的方法,但是該方法只能在較窄的光譜范圍內或者單個x波長點處提升x射線反射性能。無法保證在寬光譜,寬掠入射角的范圍內使系統具有較高的反射率,因此該方法還未擺脫x射線掠入射的技術體制。
技術實現思路
1、為解決背景技術中存在的問題,針對上述問題以及對x射線高效率反射的應用需求,本發明提出了一種基于光子晶體的寬入射角、高反射率的x射線反射膜,以擺脫傳統的x射線掠入射的技術體制對x射線光線的入射角度的限制。
2、一種基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其包括:
3、基底,所述基底由具有高透射率和低熱膨脹系數的材料制成;
4、設置于基底上方的光子晶體層,所述光子晶體層包含若干周期單元,每個周期單元由一層高折射率材料疊加一層低折射率材料組成,重復的序列形成具有特定禁帶的光子帶隙結構,使得在0.5nm至10nm波長范圍內的x射線發生布拉格反射;
5、所述介質材料選自鈮酸鋰、氧化鋯、氮化硅、二氧化硅和銥中的兩種材料。
6、優選的方案中,所述光子晶體層的孔道結構可平行或垂直于基底。
7、優選的方案中,所述基底的材料選自石英、硅和碳化硅中的一種或多種。
8、優選的方案中,所述光子晶體層的晶格常數為2.5nm,晶格常數指相鄰兩個相同介質材料層之間的距離。
9、優選的方案中,周期單元中,填充比為0.4,所述填充比是指高折射率材料在每個周期單元內占的體積比。
10、基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜的制備方法,其包括如下的步驟:
11、s1、選擇具有高透射率和低熱膨脹系數的材料制成的基底材料,并進行清洗、干燥處理;
12、s2、設計光子晶體層的結構參數,包括介質材料的折射率、晶格常數、填充比以及膜層厚度;
13、s3、采用納米壓印或溶膠-凝膠方法在基底上制備光子晶體層;
14、s4、對光子晶體層進行退火處理,以提高其結構穩定性;
15、s5、對制備好的反射膜進行性能分析與測試,包括反射率、入射角范圍指標。優選的方案中,步驟s3采用納米壓印方法,具體過程包括:
16、制備模具:制備帶有所需光子晶體結構圖案的硬模版;
17、軟材料準備:準備含有介質材料的聚合物溶液;
18、壓印:將模具壓入到軟材料中,使其填充模具中的空隙;
19、固化:通過加熱或光照等方式使軟材料固化,形成光子晶體結構;
20、脫模:移除模具,保留光子晶體結構在基底上。
21、優選的方案中,步驟s3采用溶膠-凝膠方法,具體過程包括:
22、溶液制備:將介質材料的前驅體金屬醇鹽溶解在適當的溶劑中;
23、水解和縮合:通過加入水和催化劑來促進前驅體的水解和縮合反應;
24、旋涂:使用旋涂機將溶液均勻地涂覆在基底上;
25、干燥和固化:通過加熱來去除溶劑并固化薄膜;
26、多次沉積:為了得到所需的膜層厚度和結構,可能需要重復旋涂和固化步驟。優選的方案中,步驟s4的具體過程包括:
27、s41、設定溫度:根據使用的材料確定適宜的退火溫度;
28、s42、加熱:將制備好的光子晶體層放置在退火爐中,并加熱到預定溫度;
29、s43、保溫:在設定溫度下保持一定時間,以確保結構穩定性的改善;
30、s44、冷卻:緩慢冷卻至室溫,以避免產生熱應力。
31、優選的方案中,步驟s5的具體過程包括:
32、反射率測量:
33、s51、儀器選擇:選擇適合軟x射線波長范圍的反射率測量設備;
34、s52、數據采集:在不同的入射角和波長下測量反射率;
35、s53、數據分析:分析反射率隨入射角和波長的變化趨勢;
36、入射角范圍測試:
37、s54、設定入射角:設置從較小角度到較大角度的入射角范圍;
38、s55、測量反射率:在不同入射角下測量反射率;
39、s56、評估性能:確定反射率保持較高水平的最寬入射角范圍。
40、本發明所達到的有益效果為:
41、第一、本發明提出了一種基于光子晶體的寬射角高反射率x射線反射膜及制備方法,可有效的擺脫傳統的x射線掠入射的技術體制對x射線光線的入射角度的限制,通過對光子晶體材料優化以及相應晶胞尺寸的分析設計,可在寬入射角度的情況下,有效提升0.5nm-10nm之間的x射線反射率。
42、第二、本發明的x射線反射膜層具備在寬光譜、寬射角的反射內可實現高效率x射線反射的優勢,可進一步降低對x射線反射光學路徑,提高x射線光子的利用率,該膜層的使用可以使x射線光學系統具備輕量化以及高效率的優勢。
43、第三、本發明的x射線反射膜層具備工藝簡單,成本低廉,易于實現規模化生產的優勢,可廣泛的應用在空間x射線探測、x射線脈沖星導航、x射線通信、x射線成像及x射線光譜分析等領域。
1.一種基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于,其包括:
2.根據權利要求1所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于:所述光子晶體層的孔道結構可平行或垂直于基底。
3.根據權利要求1所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于,所述基底的材料選自石英、硅和碳化硅中的一種或多種。
4.根據權利要求1所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于,所述光子晶體層的晶格常數為2.5nm,晶格常數指相鄰兩個相同介質材料層之間的距離。
5.根據權利要求1所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于,周期單元中,填充比為0.4,所述填充比是指高折射率材料在每個周期單元內占的體積比。
6.如權利要求1-5任一所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜的制備方法,其特征在于,其包括如下的步驟:
7.根據權利要求6所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于:步驟s3采用納米壓印方法,具體過程包括:
8.根據權利要求6所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于:步驟s3采用溶膠-凝膠方法,具體過程包括:
9.根據權利要求6所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于:步驟s4的具體過程包括:
10.根據權利要求6所述的基于光子晶體的寬入射角高反射率x射線反射膜,其特征在于:步驟s5的具體過程包括: