一種分段式懸掛熱屏的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型所述的一種分段式懸掛熱屏，適用于直拉法硅單晶生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是適用于電路級(jí)硅單晶的生產(chǎn)使用。所述的一種分段式懸掛熱屏是由上熱屏內(nèi)層（1）和上熱屏外層（2）組成的上熱屏、由下熱屏外層（5）和下熱屏內(nèi)層（6）組成的下熱屏、鉬掛鉤（3）、固定螺絲（4）構(gòu)成。構(gòu)成熱屏的上熱屏和下熱屏采用內(nèi)外兩層的組合式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)加上夾層間隙中間用保溫材料填充，充分保證了懸掛熱屏的保溫性能，提高了石英坩堝上部熱場(chǎng)的溫度梯度，避免了在單晶拉制中熱屏外部過(guò)冷，揮發(fā)物積聚的問(wèn)題出現(xiàn)，提高了拉晶速度，減少了拉晶時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。
【專利說(shuō)明】一種分段式懸掛熱屏
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于直拉法硅單晶生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，主要涉及一種分段式懸掛熱屏，用于電路級(jí)單晶硅拉制。
【背景技術(shù)】
[0002]近幾年來(lái)，伴隨著人們對(duì)清潔能源的青睞，在國(guó)內(nèi)光伏行業(yè)中，太陽(yáng)能單晶硅產(chǎn)品的需求猛增。為滿足市場(chǎng)供應(yīng)，提高拉晶效率和降低能耗，并為拉晶過(guò)程提供足夠的溫度梯度和晶體提升速度，開(kāi)始將封閉式熱場(chǎng)概念運(yùn)用到太陽(yáng)能單晶硅的生產(chǎn)中。即在單晶爐石英坩堝上部的熱場(chǎng)中安裝懸掛一個(gè)一體式熱屏，懸掛這種一體式熱屏雖然能起到提高拉晶效率和降低能耗的作用，但在使用中也存在一些問(wèn)題:1、限制了坩堝中多晶硅原料的裝料量；2、化料時(shí)需將石英坩堝降至很低的堝位，易造成漏硅事故；3、石英坩堝上部的多晶硅容易碰到熱屏的下口，造成多晶硅污染使單晶硅產(chǎn)品碳含量超標(biāo)。為解決上述問(wèn)題，生產(chǎn)中將所用的一體式熱屏做了增加提升裝置的改進(jìn)。針對(duì)沒(méi)有提升空間的單晶爐用熱屏，采用將熱屏設(shè)計(jì)成上、下兩段的分段式結(jié)構(gòu)，上段熱屏采用單層設(shè)計(jì)，在下段熱屏上裝有掛鉤，使用時(shí)將下熱屏提起。這些改進(jìn)方案解決了太陽(yáng)能單晶制備過(guò)程中使用熱屏存在的一些問(wèn)題，但對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)要求較高的電路級(jí)單晶硅產(chǎn)品生產(chǎn)來(lái)說(shuō)，因組成熱屏的上段熱屏為單層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，會(huì)出現(xiàn)因上部的上段熱屏保溫不夠而無(wú)法提供足夠的溫度梯度和提高晶體提升速度，極易產(chǎn)生漩渦缺陷。另外，電路級(jí)單晶硅若是重?fù)诫s劑規(guī)格的產(chǎn)品，拉晶過(guò)程中產(chǎn)生的揮發(fā)物較多，單層設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的上段熱屏保溫效果差，很容易在上段熱屏外部積聚揮發(fā)物，晶體拉晶過(guò)程中揮發(fā)物落入石英坩堝內(nèi)會(huì)破壞晶體結(jié)構(gòu)而不能成晶。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)并公開(kāi)了一種分段式懸掛熱屏，采用對(duì)上熱屏和下熱屏均由內(nèi)外兩層構(gòu)成的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、中間填充保溫材料的辦法，以解決因熱屏的保溫不夠而無(wú)法使拉制電路級(jí)單晶硅產(chǎn)品時(shí)無(wú)法提供足夠的溫度梯度和提高晶體提升速度及易產(chǎn)生漩渦缺陷等問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型所采用的具體技術(shù)方案是:一種分段式懸掛熱屏，主要是由上熱屏內(nèi)層和上熱屏外層組成的上熱屏、下熱屏內(nèi)層和下熱屏外層組成的下熱屏、鑰掛鉤、固定螺絲構(gòu)成；其中，上熱屏和下熱屏采用高純等靜壓石墨材料加工制做，上熱屏的上熱屏內(nèi)層與上熱屏外層之間的間隙為10mm，下熱屏外層的頂部設(shè)計(jì)有鑰掛鉤，采用鑰材料加工的固定螺絲固定；所述的一種分段式懸掛熱屏，其中上熱屏底部設(shè)有內(nèi)凸臺(tái)，下熱屏上部設(shè)有外凸臺(tái)；所述的一種分段式懸掛熱屏，其中上熱屏的上熱屏內(nèi)層與上熱屏外層之間、下熱屏的下熱屏內(nèi)層與下熱屏外層之間填充有聞純碳租或發(fā)泡石墨等保溫材料。
[0004]本實(shí)用新型所述的一種電路分段式懸掛熱屏，上熱屏和下熱屏采用內(nèi)外兩層的組合式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，夾層中間間隙采用保溫材料填充，充分保證了懸掛熱屏的保溫性能，提高了石英坩堝上部熱場(chǎng)的溫度梯度，避免在單晶拉制過(guò)程中熱屏外部過(guò)冷、揮發(fā)物積聚，影響單晶拉制的情況發(fā)生，從而提高拉晶速度，減少拉晶時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。本實(shí)用新型實(shí)用性強(qiáng)，各種型號(hào)的單晶爐均可使用，即可增加硅原料的裝料量，也能解決因低堝位化料出現(xiàn)的二次結(jié)晶、產(chǎn)生漏硅事故的發(fā)生問(wèn)題。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0005]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0006]圖中:1、上熱屏內(nèi)層；2、上熱屏外層；3、鑰掛鉤；4、固定螺絲；5、下熱屏外層；6、下熱屏內(nèi)層；7、內(nèi)凸臺(tái)；8、外凸臺(tái)；9、保溫材料。
【具體實(shí)施方式】
[0007]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的實(shí)施方式如下:
[0008]如圖1所示，本實(shí)用新型所述的一種分段式懸掛熱屏主要是由上熱屏內(nèi)層1、上熱屏外層2組成的上熱屏、由下熱屏外層5和下熱屏內(nèi)層6組成的下熱屏、鑰掛鉤3、固定螺絲4構(gòu)成；上熱屏和下熱屏均采用高純等靜壓石墨材料加工制做；上熱屏內(nèi)層I與上熱屏外層2之間層間隙為10_，層間隙內(nèi)填充有高純碳?xì)只虬l(fā)泡石墨等保溫材料9 ;下熱屏外層5的頂部設(shè)計(jì)有鑰掛鉤3，采用鑰材料加工的固定螺絲4固定，下熱屏內(nèi)層6和下熱屏外層5層間隙內(nèi)填充有高純碳?xì)只虬l(fā)泡石墨等保溫材料9 ;上熱屏底部設(shè)有的內(nèi)凸臺(tái)7可與下熱屏上部設(shè)有的外凸臺(tái)8相互配合將上熱屏和下熱屏貼合在一起。
[0009]本實(shí)用新型所述的一種電路分段式懸掛熱屏在使用時(shí)，首先將上熱屏內(nèi)層I和上熱屏外層2組裝成上熱屏，層中間隙填充保溫材料9，將下熱屏內(nèi)層6和下熱屏外層5組裝成下熱屏，層中間隙填充保溫材料9，用鑰材料制做的固定螺絲4將鑰掛鉤3固定在下熱屏外層5的上部，上熱屏和下熱屏通過(guò)內(nèi)凸臺(tái)7和外凸臺(tái)8相互組合成熱屏。裝料時(shí)用重鍾將下熱屏吊起，使?fàn)t內(nèi)有更大原空間以便裝入更多的硅原料?；蠒r(shí)可將石英坩堝升起，采用高堝位化料的方式，避免低堝位化料出現(xiàn)的二次結(jié)晶，上熱屏和下熱屏采用兩層組合，層間隙中填充保溫材料9，充分保證了熱屏的保溫性能，提高了熱場(chǎng)的溫度梯度，可滿足電路級(jí)單晶硅的生產(chǎn)的技術(shù)條件要求。
【權(quán)利要求】
1.一種分段式懸掛熱屏，其特征是:所述的一種分段式懸掛熱屏主要是由上熱屏內(nèi)層(I)和上熱屏外層(2)組成的上熱屏、由下熱屏外層(5)和下熱屏內(nèi)層(6)組成的下熱屏、鑰掛鉤(3)、固定螺絲(4)構(gòu)成；其中上熱屏和下熱屏采用高純等靜壓石墨材料加工制做，上熱屏的上熱屏內(nèi)層(I)與上熱屏外層(2)之間的層間隙為10mm，下熱屏外層(5)的頂部設(shè)計(jì)有鑰掛鉤(3)，采用鑰材料加工的固定螺絲(4)固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分段式懸掛熱屏，其特征是:上熱屏底部設(shè)有內(nèi)凸臺(tái)(7)，下熱屏上部設(shè)有外凸臺(tái)(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分段式懸掛熱屏，其特征是:在上熱屏的上熱屏內(nèi)層(I)與上熱屏外層(2)層間隙之間，下熱屏的下熱屏內(nèi)層(6)和下熱屏外層(5)層間隙之間填充有1?純碳租或發(fā)泡石墨等保溫材料`(9)。
【文檔編號(hào)】C30B29/06GK203583004SQ201320668497
【公開(kāi)日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2013年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月29日
【發(fā)明者】令狐鐵兵, 仝泉 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)單晶硅有限責(zé)任公司