太陽能電池擴散尾氣處理裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種太陽能電池擴散尾氣處理裝置。該太陽能電池擴散尾氣處理裝置包括擴散爐管和尾氣輸出管道，其中，擴散爐管包括爐門，擴散爐管的遠離爐門的一端設置有工藝氣體入口，靠近爐門的一端設置有尾氣出口；尾氣輸出管道與尾氣出口相連通，用于輸送擴散尾氣。根據本實用新型的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，尾氣輸出管道與設置在靠近爐門的一端的尾氣出口相連通，避免了以往的尾氣出口設置在與爐門相對的一端時，需要將的尾氣輸出管道從擴散爐管的與爐門相對一端伸入到爐門端而造成的尾氣輸出管道的浪費，大大降低了企業的生產成本。
【專利說明】太陽能電池擴散尾氣處理裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及尾氣處理設備領域，更具體地，涉及一種太陽能電池擴散尾氣處
理裝置。
【背景技術】
[0002]晶硅太陽能電池已經被大規模應用到各個領域，其良好的穩定性和成熟的工藝流程是其大規模應用的基礎，然而隨著技術和市場的發展，降低生產成本成為最重要的事情。其中擴散工序是生產中最重要的一步，現有的擴散工序的成本較高，不能滿足生產企業的要求。
[0003]造成太陽能電池片生產成本高的因素有很多，其中，現有的太陽能電池擴散尾氣處理裝置成本過高就是原因之一。參見圖1所示，在現有的太陽能電池擴散尾氣處理裝置中，工藝氣體輸送管道20a的入口和尾氣的出口均設置在擴散石英爐管IOa的爐門13a的相對端，如果要排尾氣，就需要將尾氣輸出管道30a伸入到擴散石英爐管IOa的爐門處，從而將尾氣排出擴散石英爐管IOa外。此時，需要的尾氣輸出管道30a很長，增加了企業的生產成本，與此同時，尾氣輸出管道的這種設置方式也不利于尾氣的排泄。
實用新型內容
[0004]本實用新型旨在提供一種太陽能電池擴散尾氣處理裝置，以解決現有技術的太陽能電池擴散尾氣處理裝置成本較高的問題。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型的提供了一種太陽能電池擴散尾氣處理裝置，該太陽能電池擴散尾氣處理裝置包括:擴散爐管，包括爐門，擴散爐管的遠離爐門的一端設置有工藝氣體入口，靠近爐門的一端設置有尾氣出口 ；尾氣輸出管道，與尾氣出口相連通，用于輸送擴散尾氣。
[0006]進一步地，尾氣輸出管道為L型石英管。
[0007]進一步地，太陽能電池擴散尾氣處理裝置還包括尾氣處理機構，尾氣輸出管道與尾氣處理機構連通。
[0008]進一步地，尾氣處理機構包括密閉的殘液罐，尾氣輸出管道伸入殘液罐的底部。
[0009]進一步地，尾氣處理機構還包括尾氣排泄管道，尾氣排泄管道用于將殘液罐中的尾氣排出殘液罐。
[0010]進一步地，尾氣排泄管道的第一端與殘液罐相連通且位于殘液罐上端，第二端為伸出殘液罐的排泄自由端。
[0011]進一步地,尾氣出口到爐門的距離在30cm至50cm的范圍內。
[0012]進一步地，太陽能電池擴散尾氣處理裝置還包括:工藝氣體輸送管道，與工藝氣體入口相連通，用于向擴散爐管通入工藝氣體。
[0013]進一步地,尾氣出口的直徑在Icm至3cm的范圍內。
[0014]應用本實用新型的技術方案，太陽能電池擴散尾氣處理裝置包括擴散爐管和尾氣輸出管道，其中擴散爐管包括爐門，擴散爐管的遠離爐門的一端設置有工藝氣體入口，靠近爐門的一端設置有尾氣出口；尾氣輸出管道與尾氣出口相連通，用于輸送擴散尾氣。根據本實用新型的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，尾氣輸出管道與設置在靠近爐門的一端的尾氣出口相連通，避免了以往的尾氣出口設置在與爐門相對的一端時，需要將的尾氣輸出管道從擴散爐管的與爐門相對一端伸入到爐門端而造成的尾氣輸出管道的浪費，大大降低了企業的生產成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]構成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0016]圖1示意性示出了現有的太陽能電池擴散尾氣處理裝置的俯視圖；
[0017]圖2示意性示出了本實用新型的太陽能電池擴散尾氣處理裝置的俯視圖；以及
[0018]圖3示意性示出了本實用新型的太陽能電池擴散尾氣處理裝置的左視圖。
[0019]附圖標記說明:10、擴散爐管；11、工藝氣體入口 ；12、尾氣出口 ；13、爐門；20、工藝氣體輸送管道；30、尾氣輸出管道；40、尾氣處理機構；41、殘液罐；42、尾氣排泄管道。
【具體實施方式】
[0020]以下結合附圖對本實用新型的實施例進行詳細說明，但是本實用新型可以由權利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。
[0021]術語解釋:
[0022]尾氣輸出管道管:一種排放尾氣的石英管，這里的尾氣指擴散工藝氣體在硅片表面形成PN結后殘余的所有氣體。
[0023]殘液罐:在尾氣進入總排氣管之前，需要經過一個石英罐冷卻由爐管直接排出的尾氣，這個石英罐稱之為殘液罐。
[0024]結合圖2和圖3所示，圖2中的虛線表示尾氣的流動方向。根據本實用新型的實施例，太陽能電池擴散尾氣處理裝置包括擴散爐管10，使用擴散爐管10時，首先打開擴散爐管10的爐門13，將待擴散的太陽能電池放置在擴散爐管10的內部。擴散爐管10的遠離爐門13—端設置有工藝氣體入口 11，在工藝氣體入口 11處設置有與擴散爐管10相連通的工藝氣體輸送管道20，通過工藝氣體輸送管道20可以向擴散爐管10通入工藝氣體。在靠近爐門13的一端設置有尾氣出口 12，在尾氣出口 12處設置有與擴散爐管10相連通的尾氣輸出管道30，通過尾氣輸出管道30可以將擴散爐管10內部的擴散尾氣輸送到擴散爐管10的外部。
[0025]在本實施例的結構中，太陽能電池片經過擴散之后產生的尾氣集中在靠近爐門13的一端，而尾氣出口 12恰好設置在靠近爐門13的一端，此時，只要將尾氣輸出管道30與尾氣出口 12接通，就可以將太陽能電池擴散產生的尾氣排泄到擴散爐管的外部，避免了以往的尾氣出口 12設置在與爐門13相對的一端時，需要將的尾氣輸出管道30從擴散爐管10的與爐門13相對端伸入到爐門13端而造成的尾氣輸出管道30的浪費，大大降低了企業的生產成本。[0026]此外，在本實施例中，工藝氣體從爐門13的相對端流至靠近爐門13的一端，在太陽能電池擴散的過程中，擴散尾氣的流向實際是與工藝氣體的流向相一致的，也就是說，將尾氣出口 12設置在靠近爐門13的一端，尾氣的流動方向基本是不變的，可以使得尾氣排出擴散爐管10的過程更加順暢和快捷。
[0027]優選地,尾氣出口 12的直徑在Icm至3cm的范圍內，一方面能夠保證尾氣能夠盡可能地進入尾氣輸出管道30，另一方面可以防止尾氣出口 12過大而導致擴散爐管10的結構被破壞。
[0028]本實施例的擴散爐管10可以直接利用現有技術中的擴散爐管改造而得到，具體來說，將原來的設置在遠離爐門13的一端的尾氣出口堵住，然后再在靠近爐門13的一端設置一個新的尾氣出口 12即可，此操作容易實現，進一步降低了企業的生產成本。
[0029]本實施例的太陽能電池擴散尾氣處理裝置還包括尾氣處理機構40，該尾氣輸出管道30與尾氣處理機構40連通，對從尾氣輸出管道30輸送到尾氣處理機構40的尾氣進行處理。具體來說,尾氣處理機構40包括密閉的殘液罐41和尾氣排泄管道42。一方面，尾氣輸出管道30伸入殘液罐41的底部，當尾氣到達殘液罐41時，尾氣的溫度從高溫迅速降低，一部分尾氣會轉化為氣體或固體而留在殘液罐41中；另一方面，尾氣排泄管道42的第一端與殘液罐41相連通且位于殘液罐41上端，以便將不能及時轉化為液體或固體的尾氣從殘液罐41中排除，防止殘液罐41出現爆破現象。尾氣排泄管道42第二端為伸出殘液罐41排泄自由端，保證殘液罐41中的尾氣能夠迅速排出。
[0030]優選地，本實施例的尾氣輸出管道30為L型石英管，不僅可以方便地將殘液罐41與擴散爐管10相連通，還能保證高溫尾氣不會與尾氣輸出管道30發生反應，提高了本實施例的陽能電池擴散尾氣處理裝置的使用壽命，從而降低企業的生產成本。
[0031]根據本實施例，尾氣出口 12到爐門13的距離在30cm至50cm的范圍內，能夠保證擴散爐管10內部的尾氣盡可能地進入尾氣輸出管道30進而到達尾氣處理機構40。
[0032]從以上的描述中，可以看出，本實用新型上述的實施例實現了如下技術效果:尾氣輸出管道與設置在靠近爐門的一端的尾氣出口相連通，避免了以往的尾氣出口設置在與爐門相對的一端時，需要將的尾氣輸出管道從擴散爐管的與爐門相對端伸入到爐門端而造成的尾氣輸出管道的浪費，大大降低了企業的生產成本。此外，利用本實用新型的太陽能電池擴散尾氣處理裝置可以使得尾氣排出擴散爐管的過程更加順暢和快捷。
[0033]以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，包括: 擴散爐管(10)，包括爐門(13)，所述擴散爐管(10)的遠離所述爐門(13)的一端設置有工藝氣體入口( 11)，靠近所述爐門(13 )的一端設置有尾氣出口( 12 ); 尾氣輸出管道(30 )，與所述尾氣出口( 12 )相連通，用于輸送擴散尾氣。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，所述尾氣輸出管道(30)為L型石英管。
3.根據權利要求1或2所述的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，所述太陽能電池擴散尾氣處理裝置還包括尾氣處理機構(40)，所述尾氣輸出管道(30)與所述尾氣處理機構(40)連通。
4.根據權利要求3所述的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，所述尾氣處理機構(40)包括密閉的殘液罐(41)，所述尾氣輸出管道(30)伸入所述殘液罐(41)的底部。
5.根據權利要求4所述的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，所述尾氣處理機構(40 )還包括尾氣排泄管道(42 )，所述尾氣排泄管道(42 )用于將所述殘液罐(41)中的尾氣排出所述殘液罐(41)。
6.根據權利要求5所述的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，所述尾氣排泄管道(42)的第一端與所述殘液罐(41)相連通且位于所述殘液罐(41)上端，第二端為伸出所述殘液罐(41)的排泄自由端。
7.根據權利要求1或2所述的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，所述尾氣出口(12)到所述爐門(13)的距離在30cm至50cm的范圍內。
8.根據權利要求1或2所述的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，所述太陽能電池擴散尾氣處理裝置還包括: 工藝氣體輸送管道(20 )，與所述工藝氣體入口( 11)相連通，用于向所述擴散爐管(10 )通入工藝氣體。
9.根據權利要求1或2所述的太陽能電池擴散尾氣處理裝置，其特征在于，所述尾氣出口(12)的直徑在Icm至3cm的范圍內。
【文檔編號】C30B31/16GK203530505SQ201320470628
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年8月2日 優先權日:2013年8月2日
【發明者】王英超, 熊景峰, 胡志巖, 李高非, 趙文超 申請人:英利集團有限公司