一種新型的閉管擴散用尾氣管的制作方法
【專利摘要】本專利講述的是一種新型的閉管擴散用尾氣管。該新型的尾氣管是在舊式尾氣管的結構上做了極大的改進。說明書對本裝置進行了詳細的說明，并給出具體實施方案。
【專利說明】一種新型的閉管擴散用尾氣管
【技術領域】
[0001]本發明是一種新型結構的尾氣管，用于閉管擴散爐的尾排系統中。該結構的主要目是利用少量N2持續吹掃的方式來防止長期運行擴散工藝后導致尾氣管難以拆卸的問題。
【背景技術】
[0002]進入21世紀，電子信息產業的持續高速發展激勵和帶動了集成電路產業的發展，這就為微電子產業發展提供了空前廣闊的發展空間，也為半導體專用設備提供了巨大的市場潛力。
[0003]在所有半導體專用設備中，擴散爐是集成電路生產線前工序的重要工藝設備之一，它的主要用途是對半導體進行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導體內雜質的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區域。雖然某些工藝可以使用離子注入的方法進行摻雜，但是熱擴散仍是最主要、最普遍的摻雜方法。擴散爐是半導體集成電路工藝的基礎設備，它與半導體工藝互相依存、互相促進、共同發展。
[0004]擴散工序作為電池制造中的最重要的一個環節，為了維持其工藝過程的穩定性需要對擴散的尾排系統做周期性的維護。而尾氣管的清洗維護是擴散設備維護保養的主要內容，但長時間運行工藝產生的偏磷酸凝結在尾氣管與擴散反應管接口處導致尾氣管無法拆卸，這對擴散的尾排系統維護造成了極大的不便。故而，發明一種新型的便于拆卸的尾氣管是很有必要的。
【發明內容】
[0005]本發明針對電池制造擴散工序清洗維護中遇到的難題而設計的一種新型結構的尾氣管。利用少量N2持續吹掃的方式來防止工藝運行中產生的偏磷酸氣體滯留在尾氣管與擴散反應管的接口處，這樣就不會產生偏磷酸凝固在接口處而導致尾氣管無法拆卸的問題。
[0006]本發明通過以下技術方案實現:
[0007]1、一種新型的尾氣管，包括:材質、結構尺寸和技術要求。
[0008]2、如權利要求1所述的該新型的尾氣管，其特征在于，材質為石英。
[0009]3、如權利要求2所述的該新型的尾氣管，其特征在于在前端50mm長接口處有一個
N2進氣通道。
[0010]4、如權利要求3所述的該新型的尾氣管，其特征在于便于拆卸和清洗，使用壽命長。
[0011]本發明具有如下優點:
[0012]1.便于拆卸，進而極大地延長了尾氣管的使用壽命。
[0013]2.便于清洗維護。
[0014]3.降低了因擴散尾排維護的使用成本，增加了設備實際使用時間。
[0015]本發明具有如下缺點:
[0016]1.新型的尾氣管制作工藝較比舊式尾氣管復雜一點
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]圖1舊式尾氣管結構
[0018]圖2新型尾氣管結構
【具體實施方式】
[0019]下面結合具體實施例對本發明作進一步介紹，這些描述都是說明性的，本發明不限于此。本發明的范圍僅由所附權利要求的范圍所限定。
[0020]一種新型的閉管擴散用尾氣管，包括:材質、結構尺寸和技術要求。
[0021]1.材質和技術要求
[0022]該尾氣管材質:石英
[0023]2.結構尺寸
[0024]總長度2260mm。
[0025]主管道管徑，外徑Φ200ι?πιΧ壁厚1.5mm。
[0026]前端接口球碗，35/25標準球碗。該球碗尾部延長外徑Φ 28mmX壁厚1.5mm的管道外包于尾氣管主管道，且垂直外接內徑Φ 1mmX壁厚1.5mm的N2進氣管道。
[0027]后端接口球碗，28/15標準球碗。
[0028]3.技術要求
[0029]I)最聞耐溫 1200 C
[0030]2)退火消除內應力。
[0031]以上所述已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【權利要求】
1.一種新型的閉管擴散用尾氣管，包括:材質、結構尺寸和技術要求。
2.如權利要求1所述的該新型的尾氣管，其特征在于，材質為石英。
3.如權利要求2所述的該新型的尾氣管，其特征在于在前端50mm長接口處有一個N2進氣通道。
4.如權利要求3所述的該新型的尾氣管，其特征在于便于拆卸和清洗，使用壽命長。
【文檔編號】C30B31/16GK104294367SQ201310303700
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月18日 優先權日:2013年7月18日
【發明者】侯國峰 申請人:北京中科信電子裝備有限公司