專利名稱：一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結構的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于機械設備技術領域，涉及一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結構。
背景技術：
單晶爐是生長硅單晶的專用設備，在硅單晶生長過程中需要隨時掌握硅單晶棒的直徑狀況，因此，在單晶爐爐蓋上設置有觀察孔，對于生長大直徑硅單晶棒的單晶爐，就需要在爐蓋上開出長度尺寸大于硅單晶棒直徑的觀察孔，目前單晶爐爐蓋上普遍采用的是田徑跑道型大尺寸的橢圓形觀察孔?，F有技術中的單晶爐爐蓋上，由于采用大尺寸的田徑跑道式橢圓形觀察孔結構，嚴重的影響了爐蓋的剛性和強度，不但制造復雜、變形嚴重、密封效果差，同時也會對單晶爐內部的熱場有較大影響，從而降低了單晶爐的穩定可靠性。
發明內容本實用新型的目的是提供一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結構，解決了現有技術中的大尺寸田徑跑道式觀察孔的結構不合理，導致制造復雜、變形嚴重、密封效果差、單晶爐的穩定可靠性差的問題。本實用新型所采用的技術方案是，一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結構，在爐蓋上設置有兩個圓形觀察孔。本實用新型的雙觀察孔單晶爐爐蓋結構，其特征還在于:所述的兩個圓形觀察孔之間的最小距離小于單晶棒的最小直徑；兩個圓形觀察孔之間的最小距離加上兩個圓形觀察孔的直徑之和大于單晶棒的最大直徑。本實用新型的有益效果是，在爐蓋上設置有兩個圓形觀察孔，由兩個圓形觀察孔代替原來的大尺寸田徑跑道式的橢圓形觀察孔；結構簡單，加工制造容易、安裝方便、可靠性高的特點，提高了單晶爐的穩定可靠性。
圖1為現有技術的橢圓形觀察孔的位置結構示意圖；圖2為本實用新型裝置的圓形觀察孔的位置結構示意圖；圖3為本實用新型裝置的圓形觀察孔的位置關系俯視示意圖。圖4為本實用新型裝置的測量關系原理示意圖。圖中，1.爐蓋，2.圓形觀察孔，3.單晶棒，4.橢圓形觀察孔。
具體實施方式
參見圖1，是現有技術的橢圓形觀察孔4的位置結構示意圖，在爐蓋I上設置有一個較大尺寸的橢圓形觀察孔4。參見圖2、圖3，本實用新型的雙觀察孔單晶爐爐蓋結構是，在爐蓋I上設置有兩個圓形觀察孔2，兩個圓形觀察孔2之間的最小距離b小于單晶棒3的最小直徑；兩個圓形觀察孔2之間的最小距離b加上兩個圓形觀察孔2的直徑2a之和大于單晶棒3的最大直徑
Co參見圖4，實際應用中，生長出硅的單晶棒3的直徑d直接通過兩個圓形觀察孔2進行直接測量。即兩個圓形觀察孔2之間的最小距離b必須保證能夠測量到單晶棒3的最小直徑；兩個圓形觀察孔2之間的最小距離b與兩個圓形觀察孔2的直徑a之和必須保證能夠測量到單晶棒3的最大直徑C，單晶棒3的直徑d的測量范圍表達式為:b < d < c=b+2a。本實用新型的創新之處在于，在爐蓋I上設置有兩個圓形觀察孔2，由兩個圓形觀察孔2代替原來的大尺寸田徑跑道式的橢圓形觀察孔4。本實用新型具有結構簡單，加工制造容易、安裝方便、可靠性高的特點，提高了單晶爐的穩定可靠性。廣泛適用于硅單晶爐、鍺單晶爐等各種人工晶體生長設備中的觀察、晶體直徑測量和信號采集。
權利要求1.一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結構，其特征在于:在爐蓋(I)上設置有兩個圓形觀察孔(2)。
2.根據權利要求1所述的雙觀察孔單晶爐爐蓋結構，其特征在于:所述的兩個圓形觀察孔(2)之間的最小距離小于單晶棒(3)的最小直徑；兩個圓形觀察孔(2)之間的最小距離加上兩個圓形觀察孔(2)的直徑之和大于單晶棒(3)的最大直徑。
專利摘要本實用新型公開了一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結構，在爐蓋上設置有兩個圓形觀察孔；所述的兩個圓形觀察孔之間的最小距離小于單晶棒的最小直徑；兩個圓形觀察孔之間的最小距離加上兩個圓形觀察孔的直徑之和大于單晶棒的最大直徑。本實用新型的有益效果是，在爐蓋上設置有兩個圓形觀察孔，由兩個圓形觀察孔代替原來的大尺寸田徑跑道式的橢圓形觀察孔；結構簡單，加工制造容易、安裝方便、可靠性高的特點，提高了單晶爐的穩定可靠性。
文檔編號C30B15/00GK202954134SQ201220672228
公開日2013年5月29日 申請日期2012年12月7日 優先權日2012年12月7日
發明者李留臣, 馮金生, 蔣國慶, 程緒高, 李伯軍 申請人:江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司