專利名稱:真空室夾套式水冷壁的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及真空設備中高溫真空腔室的水冷結構,特別是一種真空室夾套式水冷壁。
背景技術:
在真空設備中,特別是高溫真空腔室,往往需要腔室的殼體具有水冷卻功能。以往真空室殼體具有內外兩層,內外層之間為冷水通道。這樣的結構由于內層有焊縫,一旦內層焊縫存在缺陷,很容易造成冷卻水滲入真空室內,導致真空室不能使用。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種真空室夾套式水冷壁,它主要解決上述現有技術中所存在的技術問題,使用時,即使殼體焊縫有缺陷,冷卻水也不會滲漏到真空室內。為實現上述目的,本實用新型是這樣實現的。一種真空室夾套式水冷壁,它包括具有縱焊縫的腔室殼體,其特征在于:該腔室殼體外設有夾套,該夾套在連接有進水接口和出水接口,腔室殼體的縱焊縫設置在夾套的斷開處。本實用新型的技術效果是:本實用新型中腔室殼體上的縱焊縫避開夾套,可避免冷卻水滲入真空室。
圖1是 本實用新型的結構示意圖。圖2是圖1的A-A向剖視圖。圖3是圖2中B部的局部放大圖。
具體實施方式
請參閱圖1-3,本實用新型公開了一種真空室夾套式水冷壁。如圖所示:它包括具有縱焊縫11的腔室殼體1,其還具有殼體圓周焊縫10。該腔室殼體I外設有夾套2,該夾套2在連接有進水接口 21和出水接口 22,腔室殼體I的縱焊縫11設置在夾套2的斷開處。本實用新型在腔室殼體I外側加一個斷開的夾套2,將殼體的縱焊縫11放在夾套的斷開位置,這樣,即使殼體焊縫有缺陷,冷卻水也不會滲漏到真空室內。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并非用來限定本實用新型的實施范圍。即凡依本實用新型申請專利范圍的內容所作的等效變化與修飾,都應為本實用新型的技術范疇。
權利要求1.一種真空室夾套式水冷壁,它包括具有縱焊縫(11)的腔室殼體(I),其特征在于:該腔室殼體(I)外設有夾套(2 ),該夾套(2 )在連接有進水接口( 21)和出水接口( 22 ),腔室殼體(I)的縱焊縫(11)設置在夾套(2)的斷開處。
專利摘要本實用新型涉及真空設備中高溫真空腔室的水冷結構,特別是一種真空室夾套式水冷壁。它包括具有縱焊縫的腔室殼體,其特征在于該腔室殼體外設有夾套,該夾套上連接有進水接口和出水接口,腔室殼體的縱焊縫設置在夾套的斷開處。使用時,即使殼體焊縫有缺陷,冷卻水也不會滲漏到真空室內。
文檔編號G12B15/04GK203013277SQ20122063398
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月27日 優先權日2012年11月27日
發明者李銀生 申請人:上海米開羅那機電技術有限公司, 北京米開羅那機電技術有限責任公司