專利名稱：一種區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐的制作方法
技術領域：
一種區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐技術領域[0001]本實用新型涉及半導體材料制備技術領域，尤其涉及一種區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐。
背景技術：
[0002]立式懸浮區熔爐是在真空或惰性氣體環境下利用懸浮區熔技術在懸浮區熔區對半導體材料進行提純和單晶生長的設備，通過計算機實現區熔單晶生長的半自動控制，用于生產無污染、高電阻、高壽命、高純度的半導體材料。[0003]傳統區熔爐門板的鎖緊機構一般都采用多組螺釘鎖緊固定板從而鎖緊門板的方式，所以需要工人用扳手操作，門板的開啟和閉合通常需要幾個工人同時花費幾分鐘操作， 開啟鎖緊非常繁瑣，費時費力，效率低下，自動化程度差，影響生產效率。實用新型內容[0004]本實用新型的實施例提供一種區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐，用來解決現有鎖緊機構開啟鎖緊費時費力、自動化程度差的問題。[0005]為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術方案[0006]一種區熔爐門板鎖緊機構，用于實現區熔爐門板的鎖緊與開啟，所述門板的兩相對側分別設有與所述門板的邊緣通過斜面配合的壓緊塊，所述壓緊塊固定連接有推桿，所述推桿連接有驅動機構，所述驅動機構驅動所述推桿往復運動以壓緊或打開所述門板。[0007]優選地，所述斜面與所述門板所在的平面的夾角為10-25度。[0008]優選地，所述推桿往復運動的位移為15-40毫米。[0009]優選地，所述壓緊塊內設有螺紋孔，所述推桿的一端設有與所述螺紋孔配合的螺紋，所述推桿的另一端連接所述驅動機構。[0010]進一步地，所述推桿上設有與所述螺紋配合的定位螺母。[0011 ] 優選地，所述驅動機構為氣動驅動機構、液壓驅動機構或機械驅動機構。[0012]一種區熔爐，包括爐體和覆蓋所述爐體的爐門，所述爐門包括門板和設在所述門板外側并通過螺釘與所述門板連接的固定板，所述門板的兩相對側均設有上述區熔爐門板鎖緊機構。[0013]優選地，所述區熔爐門板鎖緊機構中的驅動機構固定安裝在機座上，所述機座固定安裝在所述爐體上。[0014]優選地，所述機座上設有通孔，所述鎖緊機構安裝在所述通孔內。[0015]本實用新型實施例提供的區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐中，由于所述壓緊塊與所述門板通過斜面配合，因此當所述驅動機構驅動所述推桿向所述門板運動時，所述推桿的水平推力通過所述斜面轉化為對所述門板的垂直壓力，將所述門板壓緊；當所述推桿遠離所述門板運動時，所述門板即被開啟。在此過程中，所述固定板不承受主要力量，只需手動擰緊旋鈕實現所述固定板與所述門板的固定即可。所述爐門的開啟與閉合不需要借助扳手，操作簡單快捷，效率高。
[0016]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。[0017]圖I為本實用新型實施例提供的一種區熔爐的俯視圖；[0018]圖2為圖I所示A區域的局部放大圖。
具體實施方式
[0019]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。[0020]如圖I和圖2所示，為本實用新型提供的區熔爐門板鎖緊機構的一個具體實施例， 用于實現區熔爐門板的鎖緊與開啟，所述門板2的兩相對側分別設有與所述門板2的邊緣通過斜面9配合的壓緊塊7，所述壓緊塊7固定連接有推桿6，所述推桿6連接有驅動機構 4，所述驅動機構4驅動所述推桿6往復運動以壓緊或打開所述門板2。[0021]本實用新型實施例提供的區熔爐門板鎖緊機構，由于所述壓緊塊7與所述門板2 通過斜面9配合，因此當所述驅動機構4驅動所述推桿6向所述門板2運動時，所述推桿6 的水平推力通過所述斜面9轉化為對所述門板2的垂直壓力，將所述門板2壓緊；當所述推桿6遠離所述門板2運動時，所述門板2即被開啟。在此過程中，所述爐門的開啟與閉合不需要借助扳手，操作簡單快捷，效率高。[0022]優選地，所述斜面與所述門板所在的平面的夾角為10-25度。這是因為所述斜面的角度過大，會導致所述斜面與所述門板的靜摩擦力過大，造成所述壓緊塊難以往復運動； 所述斜面的角度太小，不利于門板的壓緊。例如，所述斜面的傾斜角度優選20度。[0023]優選地，所述推桿往復運動的位移為15-40毫米。所述位移的具體數值可以根據具體的區熔爐而定，但不能太大也不能太小，所述位移太大會導致鎖緊機構龐大，所述位移太小會導致所述壓緊塊的可移動范圍減小，不利于所述門板的壓緊。例如，所述推桿的位移優選為20毫米。[0024]作為上述實施例的優選實施例，所述壓緊塊內設有螺紋孔，所述推桿的一端設有與所述螺紋孔配合的螺紋，所述推桿的另一端連接所述驅動機構。這樣所述推桿與所述壓緊塊構成可拆卸地連接，在裝配時，將所述推桿旋入所述螺紋孔中即可實現所述推桿與所述壓緊塊的固定連接，當需要更換或維護其中的一個部件時，將所述推桿旋出即可。[0025]作為對上述實施例的進一步改進，參看圖2所示，所述推桿6上設有與所述螺紋配合的定位螺母10。這樣所述定位螺母10可以實現所述推桿6與所述壓緊塊7間的定位，也就是控制所述推桿6旋入所述螺紋孔的深度。[0026]作為對上述實施例的優選實施例，所述驅動機構可以為氣動驅動機構、液壓驅動機構或機械驅動機構。也可以是其它能實現自動化操作的驅動機構。[0027]本實用新型實施例還提供了一種區熔爐，如圖I所示，所述區熔爐包括爐體I和覆蓋所述爐體I的爐門，所述爐門包括門板2和設在所述門板2外側并通過螺釘與所述門板 2連接的固定板3，所述門板2的兩相對側均設有上述區熔爐門板鎖緊機構。[0028]優選地，如圖2所示，所述區熔爐門板鎖緊機構中的驅動機構4固定安裝在機座5 上，所述機座5固定安裝在爐體I上。其中可以在機座5上開設通孔，將所述驅動機構4安裝在所述通孔內，定位準確，節省空間。[0029]本實用新型實施例提供的區熔爐中，由于所述壓緊塊7與所述門板2通過斜面9 配合，因此當所述驅動機構4驅動所述推桿6向所述門板2運動時，所述推桿6的水平推力通過所述斜面9轉化為對所述門板2的垂直壓力，將所述門板2壓緊；當所述推桿6遠離所述門板2運動時，所述門板2即被開啟。在此過程中，所述固定板3不承受主要力量，只需手動擰緊旋鈕8實現所述固定板3與所述門板2的固定即可。所述爐門的開啟與閉合不需要借助扳手，操作簡單快捷，效率高。[0030]以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。
權利要求1.一種區熔爐門板鎖緊機構，用于實現區熔爐門板的鎖緊與開啟，其特征在于，所述門板的兩相對側分別設有與所述門板的邊緣通過斜面配合的壓緊塊，所述壓緊塊固定連接有推桿，所述推桿連接有驅動機構，所述驅動機構驅動所述推桿往復運動以鎖緊或打開所述門板。
2.根據權利要求I所述的區熔爐門板鎖緊機構，其特征在于，所述斜面與所述門板所在的平面的夾角為10-25度。
3.根據權利要求I所述的區熔爐門板鎖緊機構，其特征在于，所述推桿往復運動的位移為15-40毫米。
4.根據權利要求I所述的區熔爐門板鎖緊機構，其特征在于，所述壓緊塊內設有螺紋孔，所述推桿的一端設有與所述螺紋孔配合的螺紋。
5.根據權利要求4所述的區熔爐門板鎖緊機構，其特征在于，所述推桿上設有與所述螺紋配合的定位螺母。
6.根據權利要求I所述的區熔爐門板鎖緊機構，其特征在于，所述驅動機構為氣動驅動機構、液壓驅動機構或機械驅動機構。
7.—種區熔爐，包括爐體和覆蓋所述爐體的爐門，所述爐門包括門板和設在所述門板外側并通過螺釘與所述門板連接的固定板，其特征在于，所述門板的兩相對側均設有權利要求1-6中任一項所述的區熔爐門板鎖緊機構。
8.根據權利要求7所述的區熔爐，其特征在于，所述區熔爐門板鎖緊機構中的驅動機構固定安裝在機座上，所述機座固定安裝在所述爐體上。
9.根據權利要求8所述的區熔爐，其特征在于，所述機座上設有通孔，所述區熔爐門板鎖緊機構安裝在所述通孔內。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種區熔爐門板鎖緊機構及區熔爐，涉及半導體材料制備技術領域，用來解決現有鎖緊機構開啟鎖緊費時費力、自動化程度差的問題。所述區熔爐門板鎖緊機構，用于實現區熔爐門板的鎖緊與開啟，所述門板的兩相對側分別設有與所述門板的邊緣通過斜面配合的壓緊塊，所述壓緊塊固定連接有推桿，所述推桿連接有驅動機構，所述驅動機構驅動所述推桿往復運動以鎖緊或開啟所述門板。
文檔編號C30B13/00GK202808990SQ20122046003
公開日2013年3月20日 申請日期2012年9月10日 優先權日2012年9月10日
發明者袁靜, 李巖, 王軍, 張繼宏 申請人:北京京運通科技股份有限公司