專利名稱：藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于機電一體化技術，尤其屬于藍寶石單晶爐長晶設備中真空系統柔性連接裝置。
背景技術：
藍寶石單晶爐是新型LED基底材料藍寶石長晶高端裝備，藍寶石長晶是在真空環境中獲得，在由各種真空元器件組成的真空通道中，有一些剛性元器件與另外一些剛性元器件之間由于各自尺寸不同，所以很難在安裝尺寸上保持一致，為了解決這一相互連接，在兩個剛元器件之間設置一個柔性連接件把兩個通道連接起來。
發明內容本實用新型的目的是提供一種藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置，它的結構組成包括兩端需要連接的第一真空通道裝置和第二真空通道裝置之間由柔性連接件通過兩端的外接法蘭與兩個剛性通道裝置實現連接，柔性連接件由不銹鋼波紋管和兩端外接法蘭組成柔性連接件。采用本技術方案的有益效果可很好解決兩端剛性元器件不同尺寸和位置的連接，結構簡單，易于制造安裝，用于各種型號的藍寶石單晶爐真空系統中。
圖I為本實用新型的藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置的示意圖。圖中1-第一真空通道裝置、2-柔性連接件、3-第二真空通道裝置。
具體實施方式
本實用新型所述的藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置，現對照附圖加以說明該結構組成包括兩端需要連接的第一真空通道裝置I和第二真空通道裝置3之間，由柔性連接件2通過兩端的外接法蘭與兩個剛性真空通道裝置實現連接，柔性連接件2由不銹鋼波紋管和兩端外接法蘭組成柔性連接件。
權利要求1.一種藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置，其特征在于該結構組成包括兩端需要連接的第一真空通道裝置(I)和第二真空通道裝置(3 )之間，由柔性連接件(2 )通過兩端的外接法蘭與兩個剛性真空通道裝置實現連接。
2.根據權利要求I的藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置，其特征在于所述的柔性連接件(2)由不銹鋼波紋管和兩端外接法蘭組成柔性連接件。
專利摘要一種藍寶石設備中真空系統柔性連接裝置，該結構組成包括兩端需要連接的第一真空通道裝置和第二真空通道裝置之間，由柔性連接件通過兩端的外接法蘭與兩個剛性真空通道裝置實現連接。本實用新型可很好解決兩端剛性元器件不同尺寸和位置的連接，結構簡單，易于制造安裝，用于各種型號的藍寶石單晶爐真空系統中。
文檔編號C30B35/00GK202786511SQ20122042993
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月28日 優先權日2012年8月28日
發明者方啟彬, 馬劍鈞, 康寧 申請人:貴州建新南海科技股份有限公司