專利名稱：單晶硅棒粘接機的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種機械設備，具體為一種單晶硅棒粘接機。
背景技術：
單晶硅棒粘接機主要用于單晶硅棒的粘接，是硅棒進行線開放作業前最嚴格的工序，對其精度的要求極高。現有單晶硅棒粘接機的精度不高、運行不平穩，產品合格率較低。
發明內容
本發明的目的是提供一種結構簡單、操作方便、可快速找準圓心并定位的單晶棒粘接機。實現上述目的的技術方案是單晶硅棒粘接機，其特征在于主要包括粘接機底座、橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌、第二左右橫移直線導軌、加熱冷卻橫移導軌、晶座裝卸固定立座、硅棒校準橫移尾座、第一晶棒夾持裝置、第二晶棒夾持裝置、電加熱裝置和冷卻風機；粘接機底座水平布置，橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌、第二左右橫移直線導軌、加熱冷卻橫移導軌依次橫向固定在粘接機底座上；晶座裝卸固定立座固定連接在粘接機底座的左側，晶座裝卸固定立座的上部中心設有T型螺栓導向孔，T型螺栓導向孔內穿置有晶座固定用T型螺栓；所述第一晶棒夾持裝置置于晶座裝卸固定立座右側，第一晶棒夾持裝置主要包括硅棒夾持裝置底座、硅棒夾持裝置立板、左夾具、右夾具、絲桿、絲桿螺母、左、右夾具前后橫移直線導軌和左、右夾具前后橫移直線導軌滑塊；第一晶棒夾持裝置的底部固定連接有第一夾持裝置滑塊，通過底部的第一夾持裝置滑塊將第一夾持裝置布置在橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌和第二左右橫移直線導軌上，布置在固定桿上的第一夾持裝置滑塊的外側設有硅晶棒夾持裝置鎖緊螺母，用于限定第一晶棒夾持裝置的位置；硅棒夾持裝置立板垂直固定在硅棒夾持裝置底座上，硅棒夾持裝置立板的右側下部固定連接有縱向布置的左、右夾具前后橫移直線導軌，左右夾、具前后橫移直線導軌的左右兩側分別設有前后橫移直線導軌滑塊，左側的前后橫移直線導軌滑塊上固定連接左夾具，右側的前后橫移直線導軌滑塊上固定連接右夾具；在夾持裝置前后橫移直線導軌上方的硅棒夾持裝置立板上固定連接有縱向布置的絲桿，絲桿兩側的螺紋相反，絲桿的外端固定連接有手柄，絲桿兩側分別設有絲桿螺母，左側的絲桿螺母和左夾具固定連接，右側的絲桿螺母和右夾具固定連接；第二晶棒夾持裝置布置在第一夾持裝置的右側，第二晶棒夾持裝置和第一晶棒夾持裝置相對布置，并且結構與第一晶棒夾持裝置相同；所述硅棒校準橫移尾座布置在第二晶棒夾持裝置的右側，活動委座的下端設有活動委座滑塊，通過活動委座滑塊將活動委座布置在第一左右橫移直線導軌和第二左右橫移直線導軌上，活動娃棒校準橫移尾座的上部中心設有校準座螺栓導向孔，校準座螺栓導向孔內容穿置有校準座固定用T型螺栓；所述風機底端固定連接有風機滑塊，風機通過風機滑塊布置在加熱冷卻橫移導軌上，所述電加熱裝置包括支架和加熱板，加熱板鉸連接于支架上，支架底端設有支架滑塊，加熱裝置通過支架滑塊布置在加熱冷卻橫移導軌上。
本發明結構簡單、操作方便，可快速找準圓心，確保晶座和單晶硅圓棒同心度一致；同時在底座上安裝有風機，通過分機對晶座和單晶硅圓棒的膠接端進行冷卻，縮短了膠接后的冷卻時間。
圖I為本發明的立體 圖2為本發明的主視圖。
具體實施方式
如圖1、2所示，單晶硅棒粘接機，主要包括粘接機底座I、橫移鎖緊桿2、第一左右橫移直線導軌4、第二左右橫移直線導軌3、加熱冷卻橫移導軌5、晶座裝卸固定立座6、硅棒校準橫移尾座7、第一晶棒夾持裝置8、第二晶棒夾持裝置9、電加熱裝置10和冷卻風機11 ；粘接機底座水平布置I，橫移鎖緊桿2、第一左右橫移直線導軌4、第二左右橫移直線導軌3、加熱冷卻橫移導軌5依次橫向固定在粘接機底座I上；
晶座裝卸固定立座6固定連接在粘接機底座I的左側，晶座裝卸固定立座6的上部中心設有T型螺栓導向孔36，T型螺栓導向孔36內穿置有晶座固定用T型螺栓13 ；
所述第一晶棒夾持裝置8置于晶座裝卸固定立座6右側，第一晶棒夾持裝置8主要包括硅棒夾持裝置底座16、硅棒夾持裝置立板17、左夾具18、右夾具19、絲桿20、絲桿螺母21和22、左、右夾具前后橫移直線導軌23，左、右夾具前后橫移直線導軌滑塊24和25 ;第一晶棒夾持裝置8的底部固定連接有第一晶棒夾持裝置滑塊26，通過底部的第一晶棒夾持裝置滑塊26將第一夾持裝置布置在橫移鎖緊桿2、第一左右橫移直線導軌4和第二左右橫移直線導軌3上，布置在橫移鎖緊桿2上的第一晶棒夾持裝置滑塊27的外側設有硅晶棒夾持裝置鎖緊螺母28，用于限定第一晶棒夾持裝置26的位置；硅棒夾持裝置立板17垂直固定在硅棒夾持裝置底座16上，硅棒夾持裝置立板17的右側下部固定連接有縱向布置的左、右夾具前后橫移直線導軌23，左右夾、具前后橫移直線導軌23的左右兩側分別設有前后橫移直線導軌滑塊24和25，左側的前后橫移直線導軌滑塊24上固定連接左夾具18，右側的前后橫移直線導軌滑塊25上固定連接右夾具19 ;在夾持裝置前后橫移直線導軌23上方的硅棒夾持裝置立板17上固定連接有縱向布置的絲桿20，絲桿20兩側的螺紋相反，絲桿20的外端固定連接有手柄29，絲桿20兩側分別設有絲桿螺母21和22，左側的絲桿螺母21和左夾具18固定連接，右側的絲桿螺母22和右夾具19固定連接；
第二晶棒夾持裝置9布置在第一夾持裝置8的右側，第二晶棒夾持裝置9和第一晶棒夾持裝置8相對布置，并且結構與第一晶棒夾持裝置8相同；
所述硅棒校準橫移尾座7布置在第二晶棒夾持裝置9的右側，硅棒校準橫移尾座7的下端設有硅棒校準橫移尾座滑塊30，通過硅棒校準橫移尾座滑塊30將硅棒校準橫移尾座7布置在第一左右橫移直線導軌4和第二左右橫移直線導軌3上,娃棒校準橫移尾座7的上部中心設有校準座螺栓導向孔31，校準座螺栓導向孔內31穿置有校準座固定用T型螺栓32 ；
所述冷卻風機11和電加熱裝置10通過底部滑塊33置于加熱冷卻橫移導軌5上，所述電加熱裝置10包括支架34和電加熱板35，加熱板25鉸連接于支架34上。
權利要求
1.單晶硅棒粘接機，其特征在于主要包括粘接機底座、橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌、第二左右橫移直線導軌、加熱冷卻橫移導軌、晶座裝卸固定立座、硅棒校準橫移尾座、第一晶棒夾持裝置、第二晶棒夾持裝置、電加熱裝置和冷卻風機；粘接機底座水平布置，橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌、第二左右橫移直線導軌、加熱冷卻橫移導軌依次橫向固定在粘接機底座上；晶座裝卸固定立座固定連接在粘接機底座的左側，晶座裝卸固定立座的上部中心設有T型螺栓導向孔，T型螺栓導向孔內穿置有晶座固定用T型螺栓；所述第一晶棒夾持裝置置于晶座裝卸固定立座右側，第一晶棒夾持裝置主要包括硅棒夾持裝置底座、硅棒夾持裝置立板、左夾具、右夾具、絲桿、絲桿螺母、左、右夾具前后橫移直線導軌和左、右夾具前后橫移直線導軌滑塊；第一晶棒夾持裝置的底部固定連接有第一晶棒夾持裝置滑塊，通過底部的第一晶棒夾持裝置滑塊將第一晶棒夾持裝置布置在橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌和第二左右橫移直線導軌上，布置在橫移鎖緊桿上的第一晶棒夾持裝置滑塊的外側設有硅晶棒夾持裝置鎖緊螺母，用于限定第一晶棒夾持裝置的位置；硅棒夾持裝置立板垂直固定在硅棒夾持裝置底座上，硅棒夾持裝置立板的右側下部固定連接有縱向布置的左、右夾具前后橫移直線導軌，左右夾、具前后橫移直線導軌的左右兩側分別設有前后橫移直線導軌滑塊，左側的前后橫移直線導軌滑塊上固定連接左夾具，右側的前后橫移直線導軌滑塊上固定連接右夾具；在夾持裝置前后橫移直線導軌上方的硅棒夾持裝置立板上固定連接有縱向布置的絲桿，絲桿兩側的螺紋相反，絲桿的外端固定連接有手柄，絲桿兩側分別設有絲桿螺母，左側的絲桿螺母和左夾具固定連接，右側的絲桿螺母和右夾具固定連接；第二晶棒夾持裝置布置在第一夾持裝置的右側，第二晶棒夾持裝置和第一晶棒夾持裝置相對布置，并且結構與第一晶棒夾持裝置相同；所述硅棒校準橫移尾座布置在第二晶棒夾持裝置的右側，硅棒校準橫移尾座的下端設有硅棒校準橫移尾座滑塊，通過硅棒校準橫移尾座滑塊將硅棒校準橫移尾座布置在第一左右橫移直線導軌和第二左右橫移直線導軌上，硅棒校準橫移尾座的上部中心設有校準座螺栓導向孔，校準座螺栓導向孔內穿置有校準座固定用T型螺栓；所述冷卻風機和電加熱裝置通過底部滑塊置于加熱冷卻橫移導軌上，所述電加熱裝置包括支架和電加熱板，加熱板鉸連接于支架上。
全文摘要
單晶硅棒粘接機，涉及一種機械設備，具體為一種單晶硅棒粘接機。主要包括粘接機底座、橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌、第二左右橫移直線導軌、加熱冷卻橫移導軌、晶座裝卸固定立座、硅棒校準橫移尾座、第一晶棒夾持裝置、第二晶棒夾持裝置、電加熱裝置和冷卻風機；粘接機底座水平布置，橫移鎖緊桿、第一左右橫移直線導軌、第二左右橫移直線導軌、加熱冷卻橫移導軌依次橫向固定在粘接機底座上；本發明結構簡單、操作方便，可快速找準圓心，確保晶座和單晶硅圓棒同心度一致；同時在底座上安裝有風機，通過分機對晶座和單晶硅圓棒的膠接端進行冷卻，縮短了膠接后的冷卻時間。
文檔編號C30B33/06GK102732968SQ20121023134
公開日2012年10月17日 申請日期2012年7月5日 優先權日2012年7月5日
發明者丁國發 申請人:江蘇奧凱自動化設備技術有限公司