專利名稱：一種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置。
背景技術：
藍寶石Ci-Al2O3又稱白寶石，具有良好的光學、機械、化學和電性能，被廣泛應用于微波電子管介質、波導激光器腔體、精密軸承、紅外軍事裝置、高強激光窗ロ材料和液晶顯示投影儀的散熱板等方面，同時藍寶石可用作集成電路的襯底材料，應用于LED產業和微電子電路等方面，是高價鎵良好的取代材料，應用于超高速集成電路的制作中。目前，藍寶石主要的制備方法主要有泡生法、倒模法、熱交換法、提拉法、火焰法和坩堝下降法等。泡生法所長晶體質量較好，尺寸較大，成本較低，適用于產業化，規模化的生產。我國在藍寶石單晶的制備以及爐體的制作方面與先進國家還存在著較大的差距，爐體的機械部分還存在著較多的問題，如機械振動較大，提拉桿的抖動等問題。
實用新型內容本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足之處，提供ー種結構簡單，能有效減少了機械泵的震動和機械泵震動傳輸對爐體的影響，從而使得爐體的震動減少，消除提拉桿的抖動的泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置。為了達到上述目的，本實用新型采用以下方案—種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在干包括有單晶爐和機械泵，在所述的單晶爐和機械泵之間設有波紋管，在所述的單晶爐的支撐腳底部和機械泵下面設有減震墊。如上所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于所述的減震墊為橡膠減震墊。如上所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于所述的減震墊的厚度為20mm。如上所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于設置在所述的機械泵下面的減震墊的規格為600*350mm。如上所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于設置在所述的單晶爐的支撐腳底部的減震墊規格為200*200mm。如上所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于所述的單晶爐底部設有四個支撐腳，在每個支撐腳底部分別設有減震墊。如上所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于所述的波紋管長度為1500mm。綜上所述，本實用新型相對于現有技術其有益效果是I.有效減少了機械泵工作時的震動。[0016]2.有效減少了機械泵的震動向地面方向的傳輸。3.有效減少了機械泵的震動對單晶爐的影響。4.有效減少了單晶爐的震動。5.有效減少了單晶爐震動對提拉桿的影響。6.有效減少了提拉桿的抖動。 7、本實用新型結構簡單，采用了通過在機械泵與單晶爐的下方增加橡膠減震墊的方法消除機械泵震動的傳導和其對單晶爐爐體和提拉桿的影響，使得爐體和提拉桿在藍寶石晶體的生長過程中不會發生震動，降低藍寶石的生長過程中的風險。本實用新型成本低 廉，方法簡單，易于推廣。
圖I為本實用新型的示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖說明和具體實施方式
對本實用新型作進ー步描述如圖I所示的一種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，包括有單晶爐I和機械泵2，在所述的單晶爐I和機械泵2之間設有波紋管3，在所述的單晶爐I的支撐腳底部和機械泵2下面設有減震墊4。本實用新型中所述的減震墊4為橡膠減震墊。所述的減震墊4的厚度為20mm。本實用新型中設置在所述的機械泵2下面的減震墊4的規格為600*350mm。設置在所述的單晶爐I的支撐腳底部的減震墊4規格為200*200mm。其中所述的單晶爐I底部設有四個支撐腳，在每個支撐腳底部分別設有減震墊4。本實用新型中所述的波紋管3長度為1500mm。機械泵2放置在厚度為20mm，600*350mm規格的橡膠減震墊4上面，藍寶石單晶爐I的四個支腳分別放置在厚度為20mm，規格為200*200mm的橡膠減震墊4上面，藍寶石單晶爐I通過長度為1500_的波紋管3與機械泵2連接起來，從而可以減少機械泵2震動對藍寶石單晶爐I的影響，減少外界震動對單晶爐I的影響，對提拉桿的影響，降低藍寶石的生長過程中的風險。
權利要求1.一種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于包括有單晶爐(I)和機械泵(2)，在所述的單晶爐⑴和機械泵(2)之間設有波紋管(3)，在所述的單晶爐(I)的支撐腳底部和機械泵(2)下面設有減震墊(4)。
2.根據權利要求I所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于所述的減震墊(4)為橡膠減震墊。
3.根據權利要求I或2所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于所述的減震墊(4)的厚度為20mm。
4.根據權利要求I或2所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于設置在所述的機械泵(2)下面的減震墊(4)的規格為600*350mm。
5.根據權利要求I或2所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于設置在所述的單晶爐(I)的支撐腳底部的減震墊(4)規格為200*200_。
6.根據權利要求I或2所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于所述的單晶爐(I)底部設有四個支撐腳，在每個支撐腳底部分別設有減震墊⑷。
7.根據權利要求I或2所述的ー種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于所述的波紋管(3)長度為1500mm。
專利摘要本實用新型公開了一種泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置，其特征在于包括有單晶爐和機械泵，在所述的單晶爐和機械泵之間設有波紋管，在所述的單晶爐的支撐腳底部和機械泵下面設有減震墊。本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足之處，提供一種結構簡單，能有效減少了機械泵的震動和機械泵震動傳輸對爐體的影響，從而使得爐體的震動減少，消除提拉桿的抖動的泡生法生長大尺寸藍寶石單晶爐的機械減震裝置。
文檔編號C30B29/20GK202430329SQ20112051282
公開日2012年9月12日 申請日期2011年12月9日 優先權日2011年12月9日
發明者吳煥逸, 成關勇, 翟劍龐, 黃鏡蓁 申請人:中山兆龍光電科技有限公司