專利名稱：用于晶體生長的銅電極的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及藍寶石單晶生產領域，特別是一種用于晶體生長的銅電極。
背景技術：
藍寶石是一種簡單配位型氧化物晶體。具有優異的光學性能、機械性能和化學穩定性，被廣泛的應用于民用航天、半導體襯底、紅外軍事裝置、衛星空間技術、高強度激光的窗口材料等，同時晶體生長設備-單晶生長爐也隨之得到了飛速的發展。通常藍寶石晶體生長爐的溫度控制，包括加熱電源、溫場，爐體、及溫度控制單元。爐體中的電極將加熱電源與溫場的加熱器連接，通過采用紅外測溫儀將爐體內溫場的溫度 輸出給溫度控制單元，并通過調整電源輸出功率，調整溫場的溫度，保證結晶界面的穩定性和晶體的完整性。根據加熱電源低電壓大電流的特征，這就要求電極具備良好的導電性能，同時要有良好的散熱冷卻效果，防止高溫變形及影響使用效果。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一通過連接加熱電源和加熱器，實現晶體生長爐的溫度控制的用于晶體生長的銅電極。本實用新型用于晶體生長的銅電極，包括底板，在所述底板內設有水道；電極長軸，所述電極長軸的一端所述底板的一端連接；電極短軸，所述電極短軸的一端所述底板的另外一端連接；所述用于晶體生長的銅電極還進一步包括一水道蓋板，所述水道蓋板設置在所述電極長軸與所述電極短軸的延長線非與所述底板連接端的所在端面。所述電極長軸與所述電極短軸為中空設計，所述電極長軸與所述電極短軸與所述水道貫通。所述電極長軸與所述電極短軸的截面為圓形。所述電極長軸與所述電極短軸與底板的連接端采用焊接定位。本實用新型用于晶體生長的銅電極采用工業純銅中的無氧銅，具有優良的導電性、導熱性、延展性和耐蝕性。尤其導電性能非常好，在所有的金屬中僅次于金、銀，但銅比銀便宜得多，因此更具有經濟性。電極采用中空水冷結構，保證水路與真空腔體的隔離。電極長軸和電極短軸也采用中空結構，與底板采用焊接連接，同時中空腔貫通，保證水流暢通。電極長軸、電極短軸與底板連接部位焊前采用螺紋配合定位，減小焊接變形量。電極長軸、電極短軸為圓形結構，與加熱電源輸出端排連接，便于調整中心距的偏差，易于安裝拆卸。
圖I為本實用新型用于晶體生長的銅電極結構示意圖；圖2為本實用新型用于晶體生長的銅電極結構側示圖；本實用新型用于晶體生長的銅電極附圖中附圖標記說明[0012]I-電極長軸 2-底板 3-水道蓋板 4-電極短軸具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型用于晶體生長的銅電極作進一步詳細說明。如圖I、圖2所示，本實用新型包括電極長軸I、底板2、水道蓋板3、電極短軸4。電極的材質采用工業純銅中的無氧銅。底板2內有水道，通過與水道蓋板3采用焊接連接，并且焊后磨平，保證水路與真空腔體的隔離。電極長軸I和電極短軸4也采用中空結構，與底板2采用焊接連接，同時中空腔貫通，保證水流暢通。電極長軸I、電極短軸4與底板2連接部位焊前采用螺紋配合定位。電極長軸I、電極短軸4為圓形結構，與加熱電源輸出端排連接。電極自中心部位一分為二，成為正負兩部分以上已對本實用新型創造的較佳實施例進行了具體說明，但本實用新型創造并不限于實施例，熟悉本領域的技術人員在不違背本發明創造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權利要求所限定的范圍內。
權利要求1.用于晶體生長的銅電極，其特征在于，包括 底板，在所述底板內設有水道； 電極長軸，所述電極長軸的一端與所述底板的一端連接； 電極短軸，所述電極短軸的一端與所述底板的另外一端連接。
2.根據權利要求I所述的用于晶體生長的銅電極，其特征在于，所述用于晶體生長的銅電極還進一步包括一水道蓋板，所述水道蓋板設置在所述電極長軸與所述電極短軸的延長線非與所述底板連接端的所在端面。
3.根據權利要求I所述的用于晶體生長的銅電極，其特征在于，所述電極長軸與所述電極短軸為中空設計，所述電極長軸與所述電極短軸與所述水道貫通。
4.根據權利要求I所述的用于晶體生長的銅電極，其特征在于，所述電極長軸與所述電極短軸的截面為圓形。
5.根據權利要求I所述的用于晶體生長的銅電極，其特征在于，所述電極長軸與所述電極短軸與底板的連接端采用焊接定位。
專利摘要本實用新型用于晶體生長的銅電極，包括底板，在所述底板內設有水道；電極長軸，所述電極長軸的一端所述底板的一端連接；電極短軸，所述電極短軸的一端所述底板的另外一端連接；本實用新型用于晶體生長的銅電極采用工業純銅中的無氧銅，具有優良的導電性、導熱性、延展性和耐蝕性。尤其導電性能非常好。電極采用中空水冷結構，保證水路與真空腔體的隔離。電極長軸和電極短軸也采用中空結構，與底板采用焊接連接，同時中空腔貫通，保證水流暢通。電極長軸、電極短軸與底板連接部位焊前采用螺紋配合定位，減小焊接變形量。電極長軸、電極短軸為圓形結構，與加熱電源輸出端排連接，便于調整中心距的偏差，易于安裝拆卸。
文檔編號C30B35/00GK202359238SQ201120393590
公開日2012年8月1日 申請日期2011年10月17日 優先權日2011年10月17日
發明者呂立強 申請人:上海朗兆機電設備有限公司