專利名稱：下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及單晶硅生產設備技術領域，特別涉及一種下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐。
技術背景多晶硅鑄錠爐是多晶硅料轉化為多晶硅錠工藝過程中的必備設備，而多晶硅錠經工藝處理后又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。多晶硅錠作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。生產中，將達到一定純度要求的多晶硅裝入爐中，按工藝要求加熱熔化、定向長晶、熱處理、冷卻出爐。多晶硅重熔長晶的這樣一個核心環境，我們稱之為熱場，熱場不單為多晶硅熔化提供大量的熱能，在長晶過程中又提供合理的溫度梯場以得到符合要求的多晶硅晶體。為了提高硅錠的生長效果，多晶爐的下腔體設置保溫結構，一般常見的多晶爐的下腔體保溫結構，都是采用全水冷結構，容易造成保溫效果差、安全系數低等現象
實用新型內容
有鑒于此，有必要提供一種保溫效果良好、安全系數高的下腔體保溫結構。還有必要提供一種采用下腔體保溫結構的多晶爐。一種采用下腔體保溫結構的多晶爐，包括熱場、保溫氈、水道和下腔體，下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由內圓筒和外圓筒焊接形成，且內圓筒和外圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，熱場安裝在下腔體內，保溫氈鋪在下腔體里面，水道焊接于下腔體的圓筒部的第一空間內。一種下腔體保溫結構，包括水道和下腔體，下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由兩層圓筒焊接形成，且兩層圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，水道焊接于下腔體的圓筒部的第一空間內，下腔體的底部外層設置空氣進氣口、空氣出氣口和測溫口，空氣進氣口與第二空間相通，空氣出氣口與第二空間相
ο本實用新型提供的下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐，在長晶過程中提供合理的溫度梯場，在下腔體的底部鋪保溫氈提高保溫效果，便于硅錠的生長；如果硅錠在成長過程中，發生泄漏，因下腔體的底部不通水，不會引起大的安全事故；如在測溫過程中發現溫度過高，可通過出氣口，排出氣體，保證爐體內部溫度適合硅錠的生長。由此可見，本實用新型的有益效果在于保溫效果好，便于硅錠的生長；作業過程中減少安全隱患。
附圖1是本實用新型下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐剖面示意結構圖；附圖2是本實用新型下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐之下腔體保溫結構前視圖；附圖3是本實用新型下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐之下腔體保溫結構剖面圖；附圖4是圖3中下腔體保溫結構剖面圖局部放大圖。圖中熱場1、保溫氈2、水道3、下腔體4、圓筒部41、外圓筒411、內圓筒412、第一空間 413、底部42、內層421、外層422、第二空間423、空氣進氣口 424、空氣出氣口 425、測溫口 42具體實施方式
請同時參看圖1、圖2、圖3與圖4，一種采用下腔體保溫結構的多晶爐，包括熱場 1、保溫氈2、水道3和下腔體4，下腔體4包括圓筒部41和底部42，圓筒部41由外圓筒411 和內圓筒412兩層焊接形成，且外圓筒411和內圓筒412之間形成第一空間413，底部42同樣由內層421和外層422焊接形成，且內層421和外層422之間形成第二空間423，熱場1 安裝在下腔體4內，保溫氈2鋪在下腔體4底部42的內層421內表面上，水道3焊接于下腔體4的圓筒部41的第一空間413內。請結合圖3與圖4，一種下腔體保溫結構，包括水道3和下腔體4，下腔體4包括圓筒部41和底部42，圓筒部41由外圓筒411和內圓筒412兩層焊接形成，且外圓筒411和內圓筒412之間形成第一空間413，底部42同樣由內層421和外層422焊接形成，且內層421 和外層422之間形成第二空間423，水道3焊接于下腔體4的圓筒部41的第一空間413內， 下腔體4的底部42外層422設置空氣進氣口 424、空氣出氣口 425和測溫口 426，空氣進氣口似4與第二空間423相通，空氣出氣口 425與第二空間423相通。本實用新型提供的下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐，在長晶過程中提供合理的溫度梯場，在下腔體4的底部42鋪保溫氈提高保溫效果，便于硅錠的生長；如果硅錠在成長過程中，發生泄漏，因下腔體4的底部42不通水，不會引起大的安全事故；如在測溫過程中發現溫度過高，可通過空氣出氣口 425排出氣體，保證爐體內部溫度適合硅錠的生長。
權利要求1.一種下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐，包括熱場、保溫氈、水道和下腔體，其特征在于下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由內圓筒和外圓筒焊接形成，且內圓筒和外圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，熱場安裝在下腔體內，保溫氈鋪在下腔體里面；下腔體保溫結構，包括水道和下腔體，下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由內圓筒和外圓筒焊接形成，且內圓筒和外圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，水道焊接于下腔體的圓筒部的第一空間內，下腔體的底部外層設置空氣進氣口、空氣出氣口和測溫口，空氣進氣口與第二空間相通，空氣出氣口與第二空間相通。
2.根據權利要求1所述的下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐，其特征在于水道焊接于下腔體的圓筒部的內圓筒后，再將內圓筒與外圓筒焊接。
3.根據權利要求1所述的下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐，其特征在于水道焊接于下腔體的圓筒部的外圓筒后，再將外圓筒與內圓筒焊接。
專利摘要一種下腔體保溫結構及采用下腔體保溫結構的多晶爐，包括熱場、保溫氈、水道和下腔體，下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由內圓筒和外圓筒焊接形成，且內圓筒和外圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，水道焊接于下腔體的圓筒部的第一空間內，下腔體的底部外層設置空氣進氣口、空氣出氣口和測溫口，空氣進氣口與第二空間相通，空氣出氣口與第二空間相通。本實用新型的有益效果在于保溫效果好，便于硅錠的生長；作業過程中減少安全隱患。
文檔編號C30B28/06GK202220221SQ20112029390
公開日2012年5月16日 申請日期2011年8月15日 優先權日2011年8月15日
發明者吳學軍, 周凱平 申請人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司