專利名稱：一種多晶制絨設備中的防壓籃裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及多晶制絨技術領域，特別是涉及一種多晶制絨設備中的防壓籃裝置。
背景技術：
太陽能電池片槽式制絨設備中，多采用機械臂來傳送硅片花籃，常用花籃容量為 200片/盒。該類設備由于采用槽式結構，硅片花籃需要在槽體內靜置一段時間后才會傳送到下一個槽體。當某個槽體內已經存在花籃，若此時機械臂仍將下一花籃傳送至該槽時，會導致花籃重疊，即壓籃。若發生壓籃現象，輕則兩個花籃內的硅片報廢，重則導致機械臂機構出現故障，影響生產。目前該類設備大多采用在槽體內安裝檢測傳感器的方案來防止壓籃現象的發生，這種方案需要在槽體內安裝較多的檢測傳感器，從而使成本上升。
發明內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種多晶制絨設備中的防壓籃裝置，能檢測并預防壓籃，并有效降低發生壓籃時的影響。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是提供一種多晶制絨設備中的防壓籃裝置，包括兩根機械臂和工藝槽體，所述的兩根機械臂懸置在所述的工藝槽體的上方， 所述的兩根機械臂中的一根機械臂上設有花籃檢測傳感器。所述的兩根機械臂中未裝有花籃檢測傳感器的機械臂上設有壓籃檢測傳感器；所述的壓籃檢測傳感器下方設有導桿；所述的導桿能沿著設有所述的壓籃檢測傳感器的機械
臂滑動。所述的導桿上部設有擋板。有益效果由于采用了上述的技術方案，本實用新型與現有技術相比，具有以下的優點和積極效果本實用新型采用雙重檢測方案，可以有效避免事故發生；本實用新型由于將傳感器安裝在機械臂上，傳感器的數量遠低于槽內安裝傳感器的方案，所需成本也大大降低。
圖1是本實用新型的結構示意圖；圖2是圖1中A的局部放大圖。
具體實施方式
下面結合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內容之后，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。[0012]本實用新型的實施方式涉及一種多晶制絨設備中的防壓籃裝置，如圖1所示，包括兩根機械臂1和工藝槽體2，所述的兩根機械臂1懸置在所述的工藝槽體2的上方，所述的兩根機械臂1中的一根上設有花籃檢測傳感器3，在圖1中，花籃檢測傳感器3安裝在右側的機械臂上。所述的兩根機械臂1中未安裝花籃檢測傳感器3的一根機械臂上設有壓籃檢測傳感器4，即在左側的機械臂上安裝壓籃檢測傳感器4。所述的壓籃檢測傳感器4下方設有導桿5 (見圖幻，所述的導桿5能沿著裝有壓籃檢測傳感器4的機械臂1滑動。所述的導桿5上部設有擋板。其中，機械臂1用于提取并搬送花籃6 ；花籃檢測傳感器2用于檢測工藝槽體內有2無花籃；工藝槽體2用于工藝所需化學藥液的盛放；花籃6用于裝載硅片； 壓籃檢測傳感器4用于判斷是否發生壓籃現象；導桿5用于轉換壓籃信號，當發生壓籃現象時，導桿5會被花籃6上頂，導桿5上部的擋板會觸發壓籃檢測傳感器4，從而可判斷發生了壓籃現象。工作原理機械臂提取花籃橫向運動到槽體上方時，花籃檢測傳感器將檢測工藝槽體內有無花籃，當檢測發現有花籃時，機械臂不會下降；當檢測發現無花籃時，機械臂下降并將花籃放置在工藝槽體內。當花籃傳感器工作異常或沒有設置時，則采用壓籃檢測傳感器來判斷并控制機械臂工作。當工藝槽體內已經有花籃，而此時機械臂搬送的花籃將放置在該花籃之上，機械臂由于行程未到，仍將繼續下行，導桿會被花籃上頂，導桿上部擋板觸發壓籃檢測傳感器，系統檢測到壓籃檢測傳感器的信號時將強制停止機械臂的下行運動，從而可避免壓籃現象可導致的硅片破裂，甚至機械臂損壞的事故。
權利要求1.一種多晶制絨設備中的防壓籃裝置，包括兩根機械臂(1)和工藝槽體O)，所述的兩根機械臂(1)懸置在所述的工藝槽體( 的上方，其特征在于，所述的兩根機械臂(1)中的一根機械臂上設有花籃檢測傳感器(3)。
2.根據權利要求1所述的多晶制絨設備中的防壓籃裝置，其特征在于，所述的兩根機械臂(1)中未裝有花籃檢測傳感器的機械臂上設有壓籃檢測傳感器(4)；所述的壓籃檢測傳感器(4)下方設有導桿(5)；所述的導桿( 能沿著設有所述的壓籃檢測傳感器的機械臂⑴滑動。
3.根據權利要求2所述的多晶制絨設備中的防壓籃裝置，其特征在于，所述的導桿(5) 上部設有擋板。
專利摘要本實用新型涉及一種多晶制絨設備中的防壓籃裝置，包括兩根機械臂和工藝槽體，所述的兩根機械臂懸置在所述的工藝槽體的上方，所述的兩根機械臂中的一根機械臂上設有花籃檢測傳感器。所述的兩根機械臂中未裝有花籃檢測傳感器的機械臂上設有壓籃檢測傳感器；所述的壓籃檢測傳感器下方設有導桿；所述的導桿能沿著設有所述的壓籃檢測傳感器的機械臂滑動。本實用新型采用雙重檢測方案，可以有效避免事故發生。
文檔編號C30B33/08GK202124673SQ20112015986
公開日2012年1月25日 申請日期2011年5月18日 優先權日2011年5月18日
發明者嚴俊, 李敏 申請人:上海正帆半導體設備有限公司, 上海正帆科技有限公司