專利名稱：帶觀察窗的單晶爐上爐蓋的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種帶觀察窗的單晶爐上爐蓋，屬于單晶硅的生產制造設備技術領域。
背景技術：
單晶硅是具有完整的點陣結構的晶體，是一種良好的半導體材料，目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造。現有的單晶硅制造設備為單晶爐，其主要包括爐底、下爐體、上爐體、上爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。在本發明做出之前，目前普遍采用的單晶爐的上爐蓋為封閉式，由于這樣便看不到上爐體內部單晶硅晶棒的拉拔情況，對操作人員的操作帶來了不便。
發明內容
本發明的目的在于克服上述不足，提供一種方便操作人員判斷和操作的帶觀察窗的單晶爐上爐蓋。本發明的目的是這樣實現的:
本發明帶觀察窗的單晶爐上爐蓋，包括爐蓋本體，所述爐蓋本體中間開口設有隔離閥，所述爐蓋本體在隔離閥的兩側開有進水口和出水口，所述爐蓋本體上還開有觀察窗。
本發明帶觀察窗的單晶爐上爐蓋具有以下優點:
這種帶觀察窗的單晶爐上爐蓋在蓋體上開設了一個通孔，并在通孔內裝上了鋼化玻璃作為觀察窗，操作人員可以通過玻璃看到上爐體內單晶硅晶棒的拉拔情況，從而做出相應操作，方便了員工操作。
圖1為本發明帶觀察窗的單晶爐上爐蓋的結構示意圖。圖中:爐蓋本體1、隔離閥2、進水口 3、出水口 4、觀察窗5。
具體實施例方式參見圖1，本發明涉及的一種帶觀察窗的單晶爐上爐蓋，包括爐蓋本體1，所述爐蓋本體I中間開口設有隔離閥2，所述隔離閥2用于裝上法蘭與副爐連接，所述爐蓋本體I在隔離閥2的兩側開有進水口 3和出水口 4，用于和進出水接頭相連，所述爐蓋本體I上還開有觀察窗5用于觀察上爐體內單晶硅晶棒的拉拔情況，所述觀察窗5為開設在爐蓋本體I頂部的通孔，并在通孔內裝上了鋼化玻璃。
權利要求
1.一種帶觀察窗的單晶爐上爐蓋，其特征在于:它包括爐蓋本體(1)，所述爐蓋本體(O中間開口設有隔離閥(2)，所述爐蓋本體(I)在隔離閥(2)的兩側開有進水口(3)和出水口( 4 ) ，所述爐蓋本體(I)上還開有觀察窗(5 )。
全文摘要
本發明涉及一種帶觀察窗的單晶爐上爐蓋，屬于單晶硅的生產制造設備技術領域。一種帶觀察窗的單晶爐上爐蓋，其特征在于它包括爐蓋本體(1)，所述爐蓋本體(1)中間開口設有隔離閥(2)，所述爐蓋本體(1)在隔離閥(2)的兩側開有進水口(3)和出水口(4)，所述爐蓋本體(1)上還開有觀察窗(5)。這種帶觀察窗的單晶爐上爐蓋在蓋體上開設了一個通孔，并在通孔內裝上了鋼化玻璃作為觀察窗，操作人員可以通過玻璃看到上爐體內單晶硅晶棒的拉拔情況，從而做出相應操作，方便了員工操作。
文檔編號C30B29/06GK103184503SQ20111045523
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月31日 優先權日2011年12月31日
發明者湯仁興 申請人:湯仁興