專利名稱：多晶硅提純鑄錠爐真空機組的制作方法
技術領域：
本發明涉及太陽能設備制造領域，特別涉及一種多晶硅提純鑄錠爐真空機組。
背景技術：
多晶硅提純鑄錠爐是物理法制造多晶硅材料的主要設備，也是多晶硅提純過程エ藝除磷的關鍵設備，高溫高真空是除磷的關鍵エ藝，由于在除磷過程中加熱溫度需達到1600°C左右，所以大量的硅蒸汽和其它揮發物瞬間揮發，這就要求有高抽速的真空機組來將這些雜質抽走并將真空度保持在極高的狀態。現在的真空機組一般采用常規的真空三級泵抽真空系統，即選片泵、羅茨泵、擴散泵，由于高溫的瞬間揮發速度快，往往擴散泵達不到起動的要求，使擴散泵不能工作，極限真空度不夠，無法達到真空除磷的目的。所以現在的真空機組不能滿足當前エ業生產的需要。
發明內容
為解決普通現有真空機組工作的極限真空度不夠，無法達到真空除磷目的的問題，本發明提供以下技術方案一種多晶硅提純鑄錠爐真空機組，包括4臺H-150滑閥泵、2臺ZJB-600羅茨泵、2臺ZJB-2500羅茨泵、I臺K-1200擴散泵，所述的2臺ZJB-600羅茨泵和2臺ZJB-2500羅茨泵分為兩組，其中I臺ZJB-600羅茨泵和I臺ZJB-2500羅茨泵串聯在一起，前級為ZJB-2500羅茨泵，后級為ZJB-600羅茨泵，共串聯成兩組；其中兩臺H-150滑閥泵并聯，再串聯I臺ZJB-600羅茨泵和I臺ZJB-1200羅茨泵組成兩級抽真空機組兩套，再將兩套兩級抽真空機組并聯在K-1200擴散泵上。本發明優點是I、本發明可以使得冷態極限真空達到6. 7X 10 ；2、本發明有效克服了高溫狀態硅蒸汽的揮發使得無法啟動擴散泵的問題。
圖I為本發明結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發明的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本發明的保護范圍做出更為清楚明確的界定。如附圖I所示，一種多晶硅提純鑄錠爐真空機組，包括4臺H-150滑閥泵、2臺ZJB-600羅茨泵、2臺ZJB-2500羅茨泵、I臺K-1200擴散泵，所述的2臺ZJB-600羅茨泵和
2臺ZJB-2500羅茨泵分為兩組，其中I臺ZJB-600羅茨泵和I臺ZJB-2500羅茨泵串聯在ー起，前級為ZJB-2500羅茨泵，后級為ZJB-600羅茨泵，共串聯成兩組；其中兩臺H-150滑閥泵并聯，再串聯I臺ZJB-600羅茨泵和I臺ZJB-1200羅茨泵組成兩級抽真空機組兩套，再將兩套兩級抽真空機組并聯在K-1200擴散泵上。所述的硅除磷真空機組不需同時啟動，兩級泵機組是在擴散泵無法啟動的前提下啟動的，起到增壓的作用。擴散泵啟動后再關閉其中ー套兩級泵真空機組。以上所述，僅為本發明的具體實施方式
，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本領域的技術人員在本發明所揭露的技術范圍內，可不經過創造性勞動想到的變化或 替換，都應涵蓋在本發明的保護范圍之內。因此，本發明的保護范圍應該以權利要求書所限定的保護范圍為準。
權利要求
1.一種多晶硅提純鑄錠爐真空機組，其特征在于所述真空機組包括4臺H-150滑閥泵、2臺ZJB-600羅茨泵、2臺ZJB-2500羅茨泵、I臺K-1200擴散泵，所述的2臺ZJB-600羅茨泵和2臺ZJB-2500羅茨泵分為兩組，其中I臺ZJB-600羅茨泵和I臺ZJB-2500羅茨泵串聯在一起，前級為ZJB-2500羅茨泵，后級為ZJB-600羅茨泵，共串聯成兩組；其中兩臺H-150滑閥泵并聯，再串聯I臺ZJB-600羅茨泵和I臺ZJB-1200羅茨泵組成兩級抽真空機組兩套，再將兩套兩級抽真空機組并聯在K-1200擴散泵上。
全文摘要
本發明提供了一種多晶硅提純鑄錠爐真空機組，包括4臺H-150滑閥泵、2臺ZJB-600羅茨泵、2臺ZJB-2500羅茨泵、1臺K-1200擴散泵，所述的2臺ZJB-600羅茨泵和2臺ZJB-2500羅茨泵分為兩組，其中1臺ZJB-600羅茨泵和1臺ZJB-2500羅茨泵串聯在一起，前級為ZJB-2500羅茨泵，后級為ZJB-600羅茨泵，共串聯成兩組；其中兩臺H-150滑閥泵并聯，再串聯之前串聯的兩級抽真空機組兩套，再將兩套兩級抽真空機組并聯在K-1200擴散泵上。本發明可以使得冷態極限真空達到6.7×10-4Pa；效克服了高溫狀態硅蒸汽的揮發使得無法啟動擴散泵的問題。
文檔編號C30B28/06GK102786057SQ20111012940
公開日2012年11月21日 申請日期2011年5月19日 優先權日2011年5月19日
發明者李榮華 申請人:吳江億泰光伏設備有限公司