有機發光面板及其制造方法、以及有機顯示裝置的制作方法

專利名稱：有機發光面板及其制造方法、以及有機顯示裝置的制作方法
有機發光面板及其制造方法、以及有機顯示裝置技術區域本發明涉及有機發光面板及其制造方法、以及有機顯示裝置。
背景技術：
近年來，利用有機材料的電致發光現象的顯示裝置的研究、開發得到進展。在該顯示裝置中，各像素部構成為具有陽電極、陰電極以及介于陽電極和陰電極之間的有機發光層。并且，在顯示裝置的驅動中，從陽電極注入空穴，從陰電極注入電子，在有機發光層內通過空穴和電子復合來進行發光。相鄰的像素部的有機發光層彼此之間，通過由絕緣材料構成的隔壁(提)來進行區劃。對于有機發光層的形成，例如，向由隔壁區劃出的各區域滴下含有有機發光材料的墨并使其干燥，由此來實現有機發光層的形成。但是，如上所述形成的有機發光層的膜厚存在難以做得均勻的問題。在此，為了使有機發光層的膜厚均勻，例如，在專利文獻1中記載了如下技術在隔壁的面部設置凸狀部，由此控制相對于隔壁的面部的墨的鎖住(pinning)位置。即，通過采用專利文獻1中提出的技術，能夠將在一個像素部滴下了墨時的鎖住位置鎖定于形成在面部的凸狀部，由此能夠確保一定程度的膜厚均勻性。在先技術文獻專利文獻1 日本特開2007-311235號公報

發明內容
發明要解決的問題但是，對于顯示裝置的有機發光面板，認為難以采用上述專利文獻1提出的技術預先把握有機發光層的膜厚不勻而基于該不勻來在各區域或隔壁的各對應面部高精度地形成細微的凸狀部。因此，在有機發光面板的整個區域中，不容易使有機發光層的膜厚均勻。本發明是為了解決上述問題而完成的發明，目的在于提供一種實現面板整個面的有機發光層的膜厚均勻化、面內輝度(brightness)不均少的顯示裝置及其制造方法。用于解決問題的手段因此，本發明的一種方式的有機發光面板的特征在于采用如下結構。本發明的一種方式的有機發光面板是排列多個像素部和設置于多個像素部的相鄰像素部各自之間的非像素部而成的面板。并且，在本發明的一種方式的有機發光面板中，多個像素部的各像素部具有發光色互不相同的按順序排列的多個發光部，各發光部包括基底層、有機發光層以及第二電極，所述基底層包括第一電極，所述有機發光層與基底層對向設置、按各發光色涂覆含有有機發光材料的墨而形成，所述第二電極相對于有機發光層形成在與所述基底層相反一側，同一像素部內的多個發光部從一側到另一側至少具有同時涂覆與各發光色對應的所述墨而形成有機發光層的、位于一側的涂覆對應的墨的第一發光部、位于中央側的涂覆對應的墨的第二發光部、以及位于另一側的涂覆對應的墨的第三發光部。進一步，在本發明的一種方式的有機發光面板中，在基底層的上方設有區劃多個發光部中相鄰的發光部的、規定各發光部的多個隔壁，在像素部和非像素部之間形成有區劃所述像素部和所述非像素部的隔壁，多個像素部包括滿足如下關系的像素部在規定第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，位于非像素部側的隔壁面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁面部的傾斜角度，規定第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度相等，在規定第三發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，位于非像素部側的隔壁面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁面部的傾斜角度。發明的效果在本發明的一種方式的有機發光面板中，按各像素部，第一發光部、第二發光部以及第三發光部被同時涂覆對應的墨而以形成機發光層。在該情況下，關于第二發光部，由于在與第二發光部相鄰的第一發光部和第三發光部同時涂覆墨，所以在第二發光部的一端側和另一端側的墨的蒸汽濃度大致相等，發光層的膜厚不容易產生不勻。因此，通過使規定第二發光部的相鄰兩個隔壁的對向的面部的傾斜角度相等，能夠防止有機發光層的膜厚不勻，能得到良好的發光特性。另一方面，關于第一發光部，雖然在與第一發光部相鄰的一方的第二發光部涂覆墨，但在與第一發光部相鄰的另一方的非像素部不涂覆墨，因此第二發光部側的墨的蒸汽濃度高于非像素部側的墨的蒸汽濃度。因此，第一發光部的非像素部側的發光層的膜厚會大于第二發光部側的發光層的膜厚，具有膜厚產生不勻的傾向。但是，在本發明的一種方式的有機發光面板中，在規定第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，位于非像素部側的隔壁的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，所以位于非像素部側的隔壁的墨的鎖住位置比位于第二發光部側的隔壁的墨的鎖住位置高。其結果，能夠減小第一發光部的非像素部側的有機發光層的膜厚，能夠防止第一發光部的一端部和另一端部(非像素部側和第二發光部側)的有機發光層的膜厚不勻。進一步，關于規定第三發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部，也與規定第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的上述關系同樣，位于非像素部側的隔壁的面部傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，所以位于非像素部側的隔壁的墨的鎖住位置比位于第二發光部側的隔壁的墨的鎖住位置高。其結果，能夠減小非像素部側的有機發光層的膜厚，能夠防止第三發光部的一端部和另一端部(非像素部側和第二發光部側)的有機發光層的膜厚不勻。如上所述，本發明的一種方式的有機發光面板能夠關于任一發光部防止發光層的膜厚不勻，同一像素內的發光特性良好。


圖1是表示實施方式涉及的有機顯示裝置1的概略結構的框圖。圖2是表示顯示面板10的一部分子像素100的示意剖視圖。圖3是表示顯示面板10的提105的示意俯視圖。
圖4是表示顯示面板10的子像素IOOa IOOc以及規定各子像素IOOa IOOc的提10 105d的結構的示意剖視圖。圖5(a)是表示提側面部的錐角小的情況下的鎖住位置的示意剖視圖，圖5(b)是表示提側面部的錐角大的情況下的鎖住位置的示意剖視圖，圖5(c)是表示提側面部的錐角小的情況下的干燥后的有機發光層的狀態的示意剖視圖，圖5(d)是表示提側面部的錐角大的情況下的干燥后的有機發光層的狀態的示意剖視圖。圖6是總結表示提面部的傾斜角度(錐角)θ、鎖住位置的高度H以及有機發光層的膜厚T的關系的圖。圖7是表示樣品1 3的有機發光層的膜厚分布的圖。圖8是表示樣品4、5的有機發光層的膜厚分布的圖。圖9(a) (c)是按順序表示顯示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖10(a)、(b)是按順序表示顯示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖11是表示顯示面板10的制造方法中的墨涂覆工序的示意剖視圖。圖12是表示變形例1涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖13(a)、(b)是按順序表示變形例2涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖14(a)、(b)是按順序表示變形例2涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖15(a)是表示曝光、顯影處理和提的錐角的關系的圖，圖15(b)是表示所形成的提的形狀的AFM(原子力顯微鏡)。圖16(a)、(b)是用于說明錐角的定義的示意剖視圖。圖17是用于說明顯示面板10的區域10al、10a2、10b的示意俯視圖。圖18是表示包括有機顯示裝置1的設備的外觀的一例的外觀立體圖。圖19表示變形例3涉及的顯示面板80所具備的提805的結構的示意俯視圖。圖20是表示顯示面板的各相鄰子像素的有機發光層膜厚分布的不勻狀態的示意剖視圖
圖21 (a) (C)是表示形成有機發光層時的蒸汽濃度分布和墨干燥工序中的膜形狀不勻的狀態的示意剖視圖。標號說明1顯示裝置；10、80顯示面板；IOal發光中央區域；10a2發光周邊區域；IOb虛設區域；20驅動控制單元；21 對驅動電路；25控制電路；100、IOOa IOOc子像素；100d、IOOe非像素部；101基板；102陽電極；103、303電極覆蓋層；104空穴注入層；105、10 105f、105x、105y、605、705、805 提；106、106x、106y 有機發光層；107 電子注入層；108 陰電極；109封止層；302母線；501 505掩模；IOOOa IOOOc子像素預定區域；1000dU000e
非像素預定區域；1050、1051a、1051b、1051c、1051d 提材料層；1060a 1060c、1060x、1060y
m蠻。
具體實施例方式[本發明的一種方式的概要]本發明的一種方式的有機發光面板是排列多個像素部和設置于多個像素部的相鄰像素部各自之間的非像素部而成的面板。并且，在本發明的一種方式的有機發光面板中，多個像素部的各像素部具有發光色互不相同的按順序排列的多個發光部，各發光部包括基底層、有機發光層以及第二電極，所述基底層包括第一電極，所述有機發光層與基底層對向設置、按各發光色涂覆含有有機發光材料的墨而形成，所述第二電極相對于有機發光層形成在與所述基底層相反一側，同一像素部內的多個發光部從一側到另一側至少具有同時涂覆與各發光色對應的所述墨而形成有機發光層的、位于一側的涂覆對應的墨的第一發光部、位于中央側的涂覆對應的墨的第二發光部、以及位于另一側的涂覆對應的墨的第三發光部。進一步，在本發明的一種方式的有機發光面板中，在基底層的上方設有區劃多個發光部中相鄰的發光部的、規定各發光部的多個隔壁，在像素部和非像素部之間形成有區劃所述像素部和所述非像素部的隔壁，多個像素部包括滿足如下關系的像素部在規定第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，位于非像素部側的隔壁面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁面部的傾斜角度，規定第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度相等，在規定第三發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，位于非像素部側的隔壁面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁面部的傾斜角度。在本發明的一種方式的有機發光面板中，按各像素部，第一發光部、第二發光部以及第三發光部被同時涂覆對應的墨而以形成機發光層。在該情況下，關于第二發光部，由于在與第二發光部相鄰的第一發光部和第三發光部同時涂覆墨，所以在第二發光部的一端側和另一端側的墨的蒸汽濃度大致相等，發光層的膜厚不容易產生不勻。因此，通過使規定第二發光部的相鄰兩個隔壁的對向的面部的傾斜角度相等，能夠防止有機發光層的膜厚不勻，能得到良好的發光特性。另一方面，關于第一發光部，雖然在與第一發光部相鄰的一方的第二發光部涂覆墨，但在與第一發光部相鄰的另一方的非像素部不涂覆墨，因此第二發光部側的墨的蒸汽濃度高于非像素部側的墨的蒸汽濃度。因此，第一發光部的非像素部側的發光層的膜厚會大于第二發光部側的發光層的膜厚，具有膜厚產生不勻的傾向。但是，在本發明的一種方式的有機發光面板中，在規定第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，位于非像素部側的隔壁的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，所以位于非像素部側的隔壁的墨的鎖住位置比位于第二發光部側的隔壁的墨的鎖住位置高。其結果，能夠減小第一發光部的非像素部側的有機發光層的膜厚，能夠防止第一發光部的一端部和另一端部(非像素部側和第二發光部側)的有機發光層的膜厚不勻。進一步，關于規定第三發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部，也與規定第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的上述關系同樣，位于非像素部側的隔壁的面部傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，所以位于非像素部側的隔壁的墨的鎖住位置比位于第二發光部側的隔壁的墨的鎖住位置高。其結果，能夠減小非像素部側的有機發光層的膜厚，能夠防止第三發光部的一端部和另一端部(非像素部側和第二發光部側)的有機發光層的膜厚不勻。如上所述，本發明的一種方式的有機發光面板能夠關于任一發光部防止發光層的膜厚不勻，同一像素內的發光特性良好。本發明的一種方式的有機發光面板可以在上述結構中采用如下結構非像素部不具備有機發光層，包括具有與第一電極相同的材料而構成的第三電極和第二電極，第二電極與第三電極電連接。在有機發光面板中，作為相比有機發光層配置在上方(光取出側)的第二電極，通常使用具有光透射性的材料(例如ITO、IZ0等)，但這些材料的電阻較大。因此，在非像素部中，連接第二電極和第三電極以謀求降低電阻，能夠在面板尺寸大的情況下也難以產生電壓下降，能夠確保高發光特性。第三電極例如是母線。本發明的一種方式的有機發光面板可以在上述結構中采用如下結構規定第一發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度，與規定第三發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度相等。在本發明的一種方式的有機發光面板中，在相鄰像素部各自之間分別配置非像素部，另外，對各像素部的第一發光部、第二發光部以及第三發光部同時涂敷用于形成有機發光層的墨，但第一發光部的非像素部側的墨的蒸汽濃度與第三發光部的非像素側的墨的蒸汽濃度大致相等。在該情況下，如上述結構，通過采用使規定第一發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度和規定第三發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度相等的結構，能夠使相對于各面部的墨的鎖住位置相互一致。因此，根據上述結構，能夠防止各像素部的第一發光部、第二發光部以及第三發光部的有機發光層的膜厚不勻，能得到良好的發光特性。本發明的一種方式的有機發光面板可以在上述結構中采用如下結構規定第一發光部的相鄰兩隔壁的位于第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度，與規定第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度相等。在本發明的一種方式的有機發光面板中，在相鄰像素部各自之間分別配置非像素部，另外，對各像素部的第一發光部、第二發光部以及第三發光部同時涂覆用于形成有機發光層的墨，但在第一發光部的第二發光部側和第二發光部的第一發光部側及第三發光部側，蒸汽濃度大致相等。因而，如上述結構，通過采用規定第一發光部的相鄰兩隔壁的位于第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度等于規定第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度的結構，能夠使相對于各面部的墨的鎖住位置相互一致，能夠防止各像素部的第一發光部、第二發光部以及第三發光部的有機發光層的膜厚不勻，能得良好的發光特性。本發明的一種方式的有機發光面板可以在上述結構中采用如下結構規定第三發光部的相鄰兩隔壁的位于第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度，與規定第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度相等。在本發明的一種方式的有機發光面板中，在相鄰像素部各自之間分別配置非像素部，另外，對各像素部的第一發光部、第二發光部以及第三發光部同時涂敷用于形成有機發光層的墨，但在第三發光部的第二發光部側和第二發光部的第一發光部側及第三發光部側，蒸汽濃度大致相等。因而，如上述結構，通過采用規定第三發光部的相鄰兩隔壁的位于第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度等于規定第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度的結構，能夠使相對于各面部的墨的鎖住位置相互一致，能夠防止各像素部的第一發光部、第二發光部以及第三發光部的有機發光層的膜厚不勻，能得到良好的發光特性。本發明的一種方式的有機發光面板可以在上述結構中將具體的面部的傾斜角度設定在如下的范圍內。(al)規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度為35度以上且45度以下，(a2)規定第三發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角為35度以上且45度以下。(a3)規定第一發光部的相鄰的兩隔壁的位于第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。(a4)規定第三發光部的相鄰的兩隔壁的位于第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。(a5)規定第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。本發明的一種方式的有機發光面板可以在上述結構中規定為“傾斜角度”為隔壁的所述對向的各面部與形成有隔壁的基底層(包括第一電極或空穴注入層、以及空穴注入輸送層)的上面所成的角度。本發明的一種方式的有機顯示裝置的特征在于具備上述任一本發明的一種方式涉及的有機發光面板。因而，本發明的一種方式的有機顯示裝置通過上述本發明的一種方式的有機發光面板所具有的效果、即通過防止有機發光層的膜厚不勻，能獲得良好的發光特性。本發明的一種方式的有機發光面板的制造方法是制造有機發光面板的方法，所述有機發光面板是排列多個像素部和設置于多個像素部的相鄰像素部各自之間的非像素部而成的面板，所述制造方法包括以下工序。第一工序，在基板上形成包括第一電極的基底層。第二工序，在基底層上層疊感光性抗蝕劑材料。第三工序，通過對層疊的感光性抗蝕劑材料進行掩模曝光而對其進行圖案形成，按各像素部形成與多個發光部對應的多個開口，并且，在各像素部之間形成與非像素部對應的開口，形成區劃相鄰的發光部和非像素部而規定各發光部和非像素部的多個隔壁。第四工序，對與多個發光部對應的多個開口分別滴下含有有機發光材料的墨并使其干燥，形成有機發光層。第五工序，在有機發光層的上方形成第二電極。在包括上述各工序的本發明的一種方式的有機發光面板的制造方法中，在所述第三工序中，針對要形成的多個像素部中的至少一部分像素部，形成與位于一側的第一發光部對應的第一開口、與位于中央側的第二發光部對應的第二開口以及與位于另一側的第三發光部對應的第三開口，進一步，在規定第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，使位于非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度形成為大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，使規定第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度形成為相等，在規定第三發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，使位于非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度形成為大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度。另外，所述第四工序中，按各像素部對第一開口、第二開口以及第三開口同時滴下與各發光色對應的墨，形成有機發光層。通過采用這樣的制造方法，在第四工序的墨涂覆中，能夠與規定第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中的位于非像素部側的隔壁的面部相對的墨的鎖住位置、以及與規定第三發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中的位于非像素部側的隔壁的面部相對的墨的鎖住位置比相對于其他面部的墨的鎖住位置高。并且，在本發明的一種方式的有機發光面板的制造方法中，能夠基于墨干燥后的有機發光層的膜厚與隔壁的面部的傾斜角度的相對大小關系為相反關系的機理，防止有機發光層的膜厚不勻，能夠制造具有良好的發光特性的有機發光面板。本發明的一種方式的有機發光面板的制造方法可以在上述構成中采用如下的具體構成在第三工序中，關于感光性抗蝕劑材料的曝光，通過使對與規定第一發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的面部相當的部分的曝光量大于對與位于第二發光部側的隔壁的面部相當的部分的曝光量，使位于非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，通過使對與規定第三發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的面部相當的部分的曝光量大于對與位于第二發光部側的隔壁的面部相當的部分的曝光量，使位于非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度。在采用這樣的構成的情況下，通過調整鎖住位置的相對關系，能夠減少所有發光部的有機發光層的膜厚不勻，能夠制造具有良好的發光特性的有機發光面板。另外，本發明的一種方式的有機發光面板的制造方法可以在上述構成中采用如下的具體構成在第三工序中，關于感光性抗蝕劑材料的曝光，通過使用對于與各個面部相當的部分的光透射率互不相同的掩模，以使得對與規定第一發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的面部相當的部分的光透射率大于對與位于第二發光部側的隔壁的面部相當的部分的光透射率，從而使位于非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，通過使用對于與各個面部相當的部分的光透射率互不相同的掩模，以使得對與規定第三發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的面部相當的部分的光透射率大于對與位于第二發光部側的隔壁的面部相當的部分的光透射率，從而使位于非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度。在采用這樣的構成的情況下，能夠通過調整鎖住位置的相對關系，減少所有發光部的有機發光層的膜厚不勻，能夠制造具有良好的發光特性的有機發光面板。另外，本發明的一種方式的有機發光面板的制造方法可以在上述構成中采用如下的具體構成在第三工序中，在使感光性抗蝕劑材料曝光、顯影后，通過對與規定第一發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的面部相當的部分追加進行曝光處理，使位于非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，通過對與規定第三發光部的相鄰兩隔壁的位于非像素部側的隔壁的面部相當的部分追加進行曝光處理，使位于非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于第二發光部側的隔壁的面部傾斜角度。在采用這樣的構成的情況下，能夠通過調整鎖住位置的相對關系，減少所有發光部的有機發光層的膜厚不勻，能夠制造具有良好的發光特性的有機發光面板。本發明的一種方式的有機顯示裝置的特征在于具備采用上述任一本發明的一種方式涉及的有機發光面板的制造方法而得到的有機發光面板。在具備使用這樣的制造方法制造的有機發光面板的有機顯示裝置中，與上述有機發光面板所具有的效果同樣，能夠防止有機發光面板的有機發光層的膜厚不勻，能獲得良好的發光特性。(獲得本發明的實施方式的經過)本發明的發明人就“背景技術”中所記載的有機發光面板及具備該有機發光面板的有機顯示裝置進行了專心的研究，結果得到如下的見解。通常，如圖20所示，在基板901上，按子像素900a、900b、900c而設有陽電極902和覆蓋該陽電極902的電極覆蓋層903。并且，形成空穴注入層904以覆蓋電極覆蓋層902和基板901的表面，在空穴注入層904上按子像素900a、900b、900C而層疊形成有發光色不同的有機發光層906a、906b、906c。有機發光層906a、906b、906c由立設于空穴注入層904上的提90 905d來區劃。另外，在有機發光面板中，例如以三個子像素900a、900b、900c的組合構成像素部，在相鄰的像素部之間插入有非像素部900d、900e。非像素部900d、900e具有母線932和覆蓋該母線932的電極覆蓋層933，但沒有有機發光層。如圖20所示，在現有技術涉及的有機發光面板中，在分別與非像素部900d、900e相鄰的子像素900a、900c的有機發光層906a、906c，有時膜厚會產生不勻。具體而言，會產生如下現象有機發光層906a的提90 側的部位C3的高度比提90 側的位置C4的高度及子像素900b的有機發光層906b的提90恥、905(3的部位CpC2的高度高。同樣，有機發光層906c的提905d測的部位C5的高度比提905c側的部位C6的高度及子像素900b的有機發光層906b的提9(^b、905c的部位C1, C2的高度高。關于上述現象，本發明的發明人經反復研究推定為如以下說明的那樣，有機發光層的膜厚的均勻性降低是因墨干燥時的蒸汽濃度分布的不均勻造成的。具體而言，如圖21(a)所示，假定為在提905c與提905d之間所規定的區域涂覆了用于形成有機發光層的墨9060c的狀態，此時的蒸汽濃度分布如雙點劃線所示，圖21 (a)的右側的濃度分布低于左側的濃度分布時，認為會以如下關系在有機發光層的膜厚產生不勻。如圖21(a)所示，墨9060c剛滴下后，墨9060c的表面輪廓L9tl為子像素的中央部分隆起的形狀。在使其干燥的情況下，形式上認為由于如上所述的蒸汽濃度分布，蒸汽濃度低的一側的蒸發速度快，蒸汽濃度高的一側的蒸發速度慢，因此會變化為表面輪廓L91。但是，如圖21(b)所示，在干燥過程中的墨9061c的內部，會發生如虛線箭頭Li32所示的溶劑移動。這是溶劑為彌補蒸發掉的部分而移動(移動以使得表面自由能最小)，隨著溶劑的移動，溶質(有機發光材料)也會移動。因此，如圖21(c)所示，在蒸汽濃度分布不勻的情況下，形成表面輪廓L93越靠右側越隆起(部位C5的高度高于部位C6的高度)的有機發光層906c。如上所述，本發明的發明人關于有機發光面板得到了如下推斷由于墨干燥時蒸汽濃度分布不勻，所形成的有機發光層的膜厚的均勻性會降低。并且，本發明的發明人發現了如下技術特征在面板面內，通過使提的面部的傾斜角度不同，使墨在提側面部的鎖住位置不同，其結果能實現有機發光層的膜厚均勻化。[實施方式]以下，參照

用于實施本發明的方式的一例。在以下說明中所使用的方式是用于便于理解地說明本發明的結構和作用效果的例子，本發明除了其本質特征部分以外不受以下方式的任何限定。1.顯示裝置1的概略結構使用圖1說明本實施方式涉及的顯示裝置1的整體結構。如圖1所示，顯示裝置(有機顯示裝置)1包括顯示面板單元10和與其連接的驅動控制單元20。顯示面板單元10是利用了有機材料的電致發光現象的有機發光面板，在X-Y面方向上二維排列有多個像素部。另外，驅動控制單元20包括四個驅動電路21 M和控制電路25。在實際的顯示裝置1中，相對于顯示面板10的驅動控制單元20的配置不限于此。2.顯示面板10的結構使用圖2說明顯示面板10的結構。本實施方式涉及的有機顯示面板10采用頂部發射型的有機發光面板來作為一個例子，構成為呈矩陣狀配置有多個像素部，所述多個像素部具備具有紅(R)、綠(G)、藍(B)的任一發光色的有機發光層，圖2抽出一個像素部中的一個子像素100來進行了表示。如圖2所示，顯示面板10中，在TFT基板(以下簡稱“基板”)101上形成有陽電極102，在陽電極102上依次層疊形成有電極覆蓋層103和空穴注入輸送層104。陽電極102和電極覆蓋層103形成為按各子像素100而分離的狀態。在空穴注入輸送層104上立設有由絕緣材料形成的對子像素100彼此之間進行區劃的提(隔壁)105。在各子像素100的由提105區劃的區域形成有機發光層106，在其上依次層疊形成有電子注入層107、陰電極108以及封止層109。a)基板 101基板101例如以無堿玻璃、鈉玻璃、無熒光玻璃、磷酸類玻璃、硼酸類玻璃、石英、丙烯類樹脂、苯乙烯類樹脂、聚碳酸酯類樹脂、環氧類樹脂、聚乙烯、聚酯、硅類樹脂或者氧化鋁等絕緣材料為基材來形成。并且，雖然省略了圖示，但在基板101層疊形成有TFT層和鈍化膜、以及層間絕緣膜等。b)陽電極 102陽電極102由導電性材料制成的單層或多層層疊而成的層疊體構成。例如使用Al(鋁)、含鋁的合金、Ag(銀)、APC(銀、鈀、銅的合金)、ARA(銀、銣、金的合金)、MoCr(鉬和鉻的合金)、NiCr (鎳和鉻的合金)等來形成。在如本實施方式為頂部發射型的情況下，優選由高反射性的材料形成。C)電極覆蓋層103電極覆蓋層103例如使用ITO (氧化銦錫)來形成，將陽電極102的Z軸方向上部的表面的至少一部分覆蓋。d)空穴注入輸送層104
空穴注入輸送層104是例如由銀(Ag)、鉬(Mo)、鉻(Cr)、釩(V)、鎢(W)、鎳(Ni)、 銥(Ir)等氧化物、或PEDOT (聚噻吩和聚苯乙烯磺酸的混合物)等導電性聚合物材料形成的層。在上述中，由氧化金屬形成的空穴注入輸送層104具有使空穴穩定、或輔助生成空穴來對有機發光層106注入及輸送空穴的功能，具有大的功函數。在此，在由過渡金屬的氧化物構成空穴注入輸送層104的情況下，能夠通過取多個氧化數來獲得多個能級，其結果，空穴注入變容易，能夠降低驅動電壓。e)提 105提(隔壁)105由樹脂等有機材料形成，具有絕緣性。作為用于形成提105的有機材料的例子，能列舉丙烯類樹脂、聚酰亞胺類樹脂、酚醛清漆型酚醛樹脂等。并且，提105優選具有有機溶劑耐性。進一步，在形成提105時，會被實施蝕刻處理、烘焙處理等，因此優選由對于這些處理不會過度變形、變質等的耐性高的材料形成。另外，為使其具備撥水性，也可以對側面部進行氟處理。關于用于形成提105的絕緣材料，以上述各材料為代表，尤其可以使用電阻率為 IO5Ω · cm以上、具有撥水性的材料。這是因為，在使用電阻率為105Ω · cm以下的材料的情況下，會導致陽電極102和陰電極108之間產生泄漏電流、或相鄰子像素100之間產生泄漏電流的原因，會產生功耗增加等各種問題。另外，在使用親水性材料形成提105的情況下，提105的側面部和空穴注入輸送層 104的表面之間的親液性/撥液性的差異變小，會導致難以為形成有機發光層106而使含有有機物質的墨選擇性地保持在提105的開口部。進一步，關于提105的構造，不只是如圖2所示的單層構造，也可以采用兩層以上的多層構造。在該情況下，可以在各層組合上述材料，也可以在各層使用無機材料和有機材料。f)有機發光層106有機發光層106具有如下功能通過從陽電極102注入的空穴和從陰電極108注入的電子復合，產生激發狀態而進行發光。用于形成有機發光層106的材料需要使用能夠使用濕式印刷法來制膜的發光性有機材料。具體而言，優選例如由特許公開公報(日本特開平5-163488號公報)所記載的類喔星(oxinoid)化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫環酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物(7 >卜，力 >化合物)、芴化合物、熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物及
氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、S (chrysene)化合
物、菲化合物、環戊二烯化合物、芪化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鐺化合物、噻喃鐺化合物、硒吡喃鐺化合物、碲吡喃鐺化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基化合物、噻噸化合物、蒽化合物(7 > 7，* >化合物)、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2’ -聯吡啶化合物的金屬配合物、席夫堿與III族金屬的配合物、8-羥基喹啉(喔星)金屬配合物、稀土類配合物等熒光物質形成。g)電子注入層107
電子注入層107具有將從陰電極108注入的電子向有機發光層106輸送的功能， 優選例如由鋇、酞菁、氟化鋰或它們的組合來形成。h)陰電極 108陰電極108例如由ΙΤ0、ΙΖ0(氧化銦鋅)等來形成。在頂部發射型的顯示面板10 的情況下，優選由光透射性材料形成。關于光透射性，優選透射率為80%以上。作為用于形成陰電極108的材料，除上述以外，也可以使用例如將含堿金屬、堿土類金屬或它們的鹵化物的層和含銀的層按該順序層疊而成的構造。在上述中，含銀的層可以由銀單獨形成，也可以由銀合金形成。另外，為了謀求提高光取出效率，還可以從該含銀的層的上方設置透明度高的折射率調整層。i)封止層 109封止層109具有抑制有機發光層106等暴露于水分、空氣中的功能，例如使用 SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料來形成。在頂部發射型的顯示面板10的情況下， 優選由光透射性材料形成。3.提105的結構如圖3所示，在本實施方式涉及的顯示面板10中，作為一個例子采用了線狀的提 105。具體而言，提105各自沿Y軸方向延伸形成，在X軸方向上對相鄰的像素部100之間進行區劃。并且，子像素100在由提105所區劃出的各區域形成為發光色不同。例如，以發光色分別為紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)的三個子像素的組合構成一個像素部。4.各區域的提105的結構使用圖4來說明各區域的提105的結構。圖4是以A_A’剖面剖開圖1中的顯示面板10而示意表示其一部分的剖視圖。如圖4所示，顯示面板10中，在TFT基板(以下簡記為“基板”)101上與子像素 100a、IOObUOOc各自對應地形成有陽電極102，在陽電極102上按順序層疊形成有電極覆蓋層103及空穴注入輸送層104。在空穴注入輸送層104上立設有由絕緣材料形成、分別規定子像素100a、100b、 IOOc 的提 105a、105b、105c、105d。在各子像素 100a、100b、IOOc 的由提 105a、105b、105c、 105d區劃出的區域，按順序層疊形成有有機發光層、電子注入層、陰電極以及封止層(在圖 4中省略圖示)。在本實施方式涉及的顯示面板10中，由子像素100a、100b、IOOc的組合構成一個像素部，在相鄰的像素部和像素部之間設有非像素部100d、100e。子像素100a和非像素部 IOOd之間由提10 區劃，非像素部IOOd和在其X軸方向更左側相鄰的像素部的子像素由提10 區劃。子像素100c和非像素部IOOe之間由提105d區劃，非像素部IOOe和在其X 軸方向更右側相鄰的像素部的子像素由提105f區劃。如圖4所示，在非像素部100d、100e，設有由與陽電極102相同的材料構成的電極 (母線)302、以及覆蓋該電極302的電極覆蓋層303，在電極覆蓋層303上延伸設置有空穴注入輸送層104。并且，雖然省略了圖示，但在其上形成陰電極，電極302和陰電極108電連接。在非像素部100d、100e中不形成有機發光層。通過采用這樣的結構，能夠實現降低由ITO等形成的陰電極108的電阻，能夠控制電壓下降。
如圖4所示，在本實施方式涉及的顯示面板10中，提105a、l(^b、105c、105d各自的面部lOfea、105ba, 105bbU05cbU05ccU05dc與作為基底層的空穴注入輸送層104的表面分別成角度 9aa、θ ba, θ bb, θ cb、θ cc、θ dc。在此，本實施方式中，角度eaa、eba、ebb、Θ cb, Θ cc, Qdc滿足由以下各式表示的關系。[式 1] θ aa > θ ba = θ bb = θ cb = θ cc[式 2] θ dc > θ ba = θ bb = θ cb = θ cc在本實施方式中，優選將各角度θ aa、θ ba, θ bb, θ cb, θ cc、θ dc設定在如下范圍。[式 3]25° < θ ba = θ bb = θ cb = θ cc < 35°[式 4]；35° < θ aa < 45°[式 5]；35° < θ dc < 45°用上述式1、式2、式3、式4、式5的關系規定提lOfe、105b、105c、105d的各面部 105aa、105ba、105bb、105cb、105cc、105dc 的傾斜角度 θ aa、θ ba、θ bb、θ cb、θ cc、θ dc 是根據在相鄰的像素部和像素部之間配置非像素部100d、100e、以及后述的墨1060a、1060b、 1060c的涂覆方式確定的。5.提105的側面部的傾斜角度θ與有機發光層106的膜厚之間的關系使用圖5和圖6來說明提105的面部的傾斜角度θ和有機發光層106的膜厚的關系。圖5示意示出了一個子像素的構造。如圖5(a)所示，提10 的面部的傾斜角度(提10 的面部和空穴注入輸送層 104的表面所成的角度)為角度θ χ，如圖5(b)所示，提105y的面部的傾斜角度(提105y 的面部和空穴注入輸送層104的表面所成的角度)為角度9y。角度ΘΧ和角度滿足以下關系。[式 6] θ y > θ χ當向由各提10h、105y所區劃出的開口部滴下(涂敷)含有有機發光材料的墨 1060x、1060y時，則各鎖住位置Px、Py的高度Hx、Hy為以下關系。[式 7] Hy > Hx如圖5(c)所示，使墨1060x干燥后，由于鎖住位置的高度Hx相對較低，在所形成的有機發光層106x中，子像素的中央部分隆起，其膜厚為厚度Tx。另一方面，如圖5(d)所示，使墨1060y干燥后，由于鎖住位置Py的高度Hy相對較高，在所形成的有機發光層106y中，子像素的中央部分凹陷，其膜厚為厚度Ty。厚度Tx和厚度Ty滿足以下關系。[式 8] iTxSTy在圖6總結表示上述關系。如圖6所示，當減小提105的面部的傾斜角度(錐角) θ時，鎖住位置的高度H變低，結果得到的有機發光層106的膜厚T變厚。反之，當增大提 105的面部的傾斜角度(錐角)θ時，鎖住位置的高度H變高，結果得到的有機發光層106 的膜厚T變薄。針對上述事項，制作5個樣品進行了評價。在圖7和圖8示出結果。如圖7和圖8所示，相對于樣品2的膜厚分布，在增大了錐角的樣品3和樣品4中，鎖住位置變高。在圖7和圖8中，橫軸表示橫向，縱軸表示高度方向。但是，在將提的錐角(傾斜角度)增大至50°的樣品5中，膜厚的均勻性比樣品2 的膜厚的均勻性低。6.顯示面板40的制造方法關于本實施方式涉及的顯示面板10的制造方法，使用圖9、圖10以及圖11說明作為特征的部分。關于以下省略說明的工序，可以采用作為現有技術所提出的各種工序。首先，如圖9(a)所示，在基板101的Z軸方向上面，對應于各子像素預定區域 1000a、1000b、1000c而按順序層疊形成陽電極102和電極覆蓋層103。另外，對應于非像素預定區域1000d、IOOOe而按順序層疊形成母線302和電極覆蓋層303。并且，從電極覆蓋層 103,303上層疊形成空穴注入輸送層104以覆蓋整個表面。對于陽電極102和母線302的形成，例如使用濺射法或真空蒸鍍法制作由鋁或其合金形成的薄膜或Ag薄膜之后，使用光刻法對該薄膜進行圖案形成，由此實現陽電極102和母線302的形成。另外，對于電極覆蓋層103、303的形成，例如對陽電極102和母線302的各表面使用濺射法等制作ITO薄膜，使用光刻法等對該ITO薄膜進行圖案形成，由此實現電極覆蓋層 103,303的形成。并且，在空穴注入輸送層104的形成中，首先對包括電極覆蓋層103、303 的各表面的基板101的表面，使用濺射法等制作金屬膜。此后，將形成的金屬膜氧化，形成空穴注入輸送層104。然后，如圖9(b)所示，例如使用旋涂法等形成提材料層1050以將空穴注入輸送層 104之上覆蓋。在提材料層1050的形成中可以使用感光性抗蝕劑材料，具體而言可以如上所述使用丙烯類樹脂、聚酰亞胺類樹脂、酚醛清漆型酚醛樹脂等具有絕緣性的有機材料。然后，如圖9 (c)所示，在提材料層1050的上方配置掩模501，該掩模501在要形成提的部位設置有開口 501a、501b、501c、501d。在該狀態下通過掩模501的開口 501a、501b、 501c、501d實施曝光。如圖9(c)所示，相對于子像素預定區域IOOOb而位于左側的掩模501的開口 501b 的寬度恥由要形成的提10 的面部l(^ba、l(^bb(參照圖4)的下端點Pbl、Pl32規定。關于相對于子像素預定區域IOOOb而位于右側的掩模501的開口 501c，也以同樣的關系來規定。另一方面，位于子像素預定區域1000a和非像素預定區域IOOOd之間、以及子像素預定區域1000c和非像素預定區域IOOOe之間的掩模501的開口 501a、501d的寬度Wal、 Wdl由要形成的提l(^a、105d的面部10fea、105dc(參照圖4)的各上端點Pal、Pdl及非像素預定區域1000d、1000e側(參照圖4)的各下端部分的點Pa2、Pd2規定。然后，如圖10(a)所示，在提材料層1050的上方配置掩模502，該掩模502在與提 IO^u 105d的面部10fea、105dc(參照圖4)對應的部位設置有開口 50加、502(1。并且，在該狀態下通過掩模502的開口 502a、502d實施第二次曝光。如圖10(a)所示，掩模502的開口 502a、502d的各寬度Wa2、Wd2由要形成的提 105aU05d的各面部105aaU05dc的各下端點Pa3、Pd3和各上端點Pal、Pdl規定。然后，如圖10(b)所示，通過實施顯影及烘焙來形成提10fe、105b、105c、105d。提 105a的子像素預定區域1000a側的面部105aa及提105d的子像素預定區域1000c側的面部105dc，如上所述，其傾斜角度比其他提105bU05c的面部105ba、105bb、105cb、105cc的傾斜角大。之后，如圖11所示，使用噴墨法等同時對由提10 和提10 區劃出的開口部(子像素預定區域1000a)涂敷墨(含有有機發光材料的墨)1060a，對由提10 和提105c區劃出的開口部(子像素預定區域1000b)涂敷墨(含有有機發光材料的墨)1060b，對由提 105c和提105d區劃出的開口部(子像素預定區域1000c)涂敷墨(含有有機發光材料的墨)1060c。在此，如上所述，由于使提10 的面部105aa的傾斜角度θ aa和提105d的面部 105dc的傾斜角度θ dc大于其他面部的傾斜角度θ ba、θ bb、θ cb、θ cc，所以對于提105a、 105d的各面部10fea、105dc的墨1060a、1060c的鎖住位置Qaa、Qdc為高于其他的鎖住位置 Qba、Qbb、Qcb、Qcc 的位置。通過這樣使鎖住位置Qaa、Qdc的高度比其他的鎖住位置Qba、Qbb、Qcb, Qcc的高度高，能夠防止所形成的有機發光層106的膜厚不勻。即，在采用同時涂敷墨1060a、1060b、 1060c的方式的情況下，子像素預定區域1000a在其左側存在不涂敷墨的非像素預定區域 1000d，另外，子像素預定區域IOOOe在其右側存在不涂敷墨的非像素預定區域lOOOe，因而關于這兩個子像素預定區域1000a、1000c，在其左右會產生蒸汽濃度不勻。對此，通過使提 105a的面部105aa和提105d的面部105dc的各傾斜角度θ aa、θ dc大于其他面部的傾斜角度，能夠防止所形成的有機發光層106膜厚不勻。雖然省略了圖示，但在其后實施墨干燥，然后按順序層疊電子注入層107、陰電極 108以及封止層109等，從而形成顯示面板10。7.效果如圖4所示，在本實施方式涉及的顯示裝置1的顯示面板10中，提10 的子像素 100a側的面部105aa的傾斜角度θ aa和提105d的子像素100c側的面部105dc的傾斜角度 θ dc，被設定為大于其他面部l(^ba、l(^bb、105cb、105cc的各傾斜角度θ ba, θ bb, θ cb、 θ cc。由此，如圖11所示，涂敷墨1060a、1060b、1060c時，鎖住位置Qaa、Qdc高于其他的鎖住位置 Qba、Qbb、Qcb、Qcc。反之，面部105ba、105bb、105cb、105cc 的各傾斜角度 θ ba、θ bb, θ cb, θ cc 相互相等。因此，在顯示面板10中，干燥后的有機發光層106的膜厚在子像素100a、100b、 100c中成為均勻的膜厚，具有輝度不勻小的效果。當使用通過圖9、圖10以及圖11說明了的本實施方式涉及的顯示裝置1的制造方法時，能夠制造具有上述效果的顯示裝置1。另外，如上所述，“相等”不是指數值上完全相等，而是考慮了顯示裝置1的制造中的尺寸誤差等。具體而言，是指顯示面板10中在各自所屬的子像素100a、100b、100c的發光效率的差異(輝度不勻)在實用上可以容許的范圍內使傾斜角度相等。[變形例1]下面，使用圖12對顯示裝置1的制造方法的變形例1進行說明。圖12表示與圖 9(c) 圖10(a)所示的工序對應的工序。如圖12所示，在空穴注入輸送層104上層疊形成提材料層1050之后，在其上方配置掩模503。在掩模503設有光透射部503al、503a2、503b、503c、503dl、503d2。各光透射部503aU503a2對應于要形成提10 的部位而設置，光透射部50;3b、503c分別對應于要形成提105b、105c的部位而設置，光透射部503dl、503d2對應于要形成提105d的部位而設置。在本變形例1涉及的顯示裝置1的制造方法中，與子像素預定區域IOOOb的左側對應的區域的光透射部50 的寬度恥由要形成的提10 的面部l(^ba、l(^bb(參照圖4) 的各下端點Η3 、Ρ 32規定。另一方面，與子像素1000a和非像素預定區域IOOOd之間對應的區域的光透射部 503al的寬度Wal由要形成的提105a(參照圖4)的下端點Pa2規定，光透射部503a2的寬度Wa2由提10 的面部IOfea (參照圖4)的上端點Pal和下端點Pa3規定。同樣地，與子像素1000c和非像素預定區域IOOOe之間對應的區域的光透射部503dl的寬度Wl由要形成的提105d(參照圖4)的非像素預定區域IOOOe側的面部的下端點Pd2規定，光透射部 503d2的寬度Wd2由提105d的面部105dc (參照圖4)的上端點Pdl和下端點Pd3規定。在此，掩模503使用半色調等的掩模構成，光透射部503al、50 、503c、503dl與光透射部503a2、503d2的光透射率不同。具體而言，光透射部503a2、503d2的光透射率比光透射部503al、503b、503c、503dl的光透射率大。在配置了具有如上所述的結構的掩模503的狀態下，實施曝光、顯影之后進行烘焙，由此能夠形成如圖10(b)所示的提10^1、105b、105c、105d。即如上述式1和上述式2所示關系，通過光透射率被設定為較大的光透射部503a2、503d2而被曝光的部位的側壁面的傾斜角度比通過其他光透射部503al、50;3b、503C、503dl而被曝光的部位的側壁面的傾斜
角度大。此后的工序與上述實施方式等是同樣的。根據如上所述的制造方法，也能制造顯示裝置1。[變形例2]下面，使用圖13和圖14來說明顯示裝置1的制造方法的變形例2。圖13和圖14 表示與圖9(c) 圖10(b)所示工序的對應的工序。如圖13(a)所示，在空穴注入輸送層104上層疊形成提材料層1050之后，在其上方配置掩模504。在掩模504，與要形成提105的各部位對應地設有開口 504a、504b、504c、 504d。開口 504d、5(Mc以與上述實施方式的制造方法中使用的掩模501的開口 501b、 501c相同的寬度來形成。另一方面，在子像素預定區域1000a和非像素預定區域IOOOd之間、以及子像素預定區域1000c和非像素預定區域IOOOe之間的分別要形成提10fe、105d(參照圖4)的部位所設置的開口 504a、504d的寬度wa3、wd3，如圖13(a)的雙點劃線包圍的部分所示，被設定為大于由提10fe、105d(參照圖4)的各上端和各下端的點1^2、Pa3, Pd2、Pd3所規定的寬度。具體而言，在要增大傾斜角度的部位增大寬度。在配置了如圖13(a)所示的方式的掩模504的狀態下，實施第一次曝光、顯影。 由此，如圖13(b)所示，在分別與開口 504a、504b、504c、504d對應的部位，殘留提材料層 1051a、1051b、1051c、1051d。如圖13(b)所示，在實施了第一次曝光、顯影的狀態下，提材料層1051a、1051b、 1051c、1051d的各面部傾斜角度均勻。但是，提材料層1051a、1051d的X軸方向的寬度大于提材料層1051b、1051c的X軸方向的寬度。在本變形例2中，此時不進行烘焙。如圖14(a)所示，在形成了提材料層1051a、1051b、1051c、1051d的狀態下，在其上方配置掩模505。在掩模505，在與要形成的提IO^u 105b、105c、105d的面部對應的部位中，限定于要增大傾斜角度的部位(提10 的面部105aa和提105d的面部dc)而設有開 Π 505a、505d。在配置了掩模505的狀態下，進行第二次曝光、顯影之后進行烘焙，由此能夠形成如圖 14(b)所示的提 105a、105b、105c、105d。此后，可以通過實施與上述實施方式等同樣的工序來制造顯示裝置1。[制造方法的驗證]關于上述實施方式及變形例1、2涉及的各制造方法，以具體例子對形成后的提的形狀進行了驗證。使用圖15來說明其結果。如圖15(a)所示，越增大曝光量，所形成的提側面部的傾斜角度越大。具體而言， 在使曝光量為200mJ來進行了曝光、顯影的情況下所形成的提側面部的傾斜角度為23°， 與此相對，在使曝光量為300mJ來進行了曝光、顯影的情況下所形成的提側面部的傾斜角度為38°。關于該結果，在圖15(b)所示的AFM(Atomic Force Microscope 原子力顯微鏡)中也能看出。進一步，如圖15(a)和圖15(b)所示，在使曝光量為200mJ來進行了第一次曝光、 顯影之后，使曝光量為IOOmJ來進行了第二次曝光、顯影的情況下，所形成的提側面部的傾斜角度為50°。這對應于上述變形例2涉及的制造方法，認為對于增大提側面部的傾斜角度是有效的。在圖15(b)中，橫軸表示橫向，縱軸表示高度方向。[其他事項]首先，在上述實施方式及變形例1、2中，示意地表示為提105、10fe 105d、105x、 105y的各面部為平面，但對于提的面部，可以不一定為平面。例如，如圖16(a)所示，在提 605的情況下，點P61到點P62之間的面和點P62到點P63之間的面相交叉。在該情況下，涂覆墨時的鎖住位置Qyl存在于點P62到點P63之間的面。并且，引出通過點P62的假象直線Ll 時，所形成的面部的傾斜角度θ Υ2在與鎖住位置的關系上是重要的。但是，在提605的形成中，通過控制作為基底層的空穴注入輸送層104和提605的點P61到點P62之間的面所成的角度9yl，角度θ y2也受到控制，所以實質上能夠通過控制傾斜角度θ yl來得到如上所述的效果。即對于圖16(a)所示的角度θ yl，在形成了從點 P71到P72之間的面的角度θ yll較大的提705的情況下(圖16(b))，如圖16(b)所示，從點 P72到點P73之間的面和假象直線L2所成的角度0yl2也比圖16(a)的角度ey2大。此外，在上述實施方式及變形例1、2中，不限定顯示面板10中的上述結構的適用區域，但既可以對顯示面板的整個區域應用上述結構，也可以限定于一部分區域應用上述結構。如圖17所示，對于顯示面板10，可以在沿其面的方向上形式上區分為配置于中央部的區域IOa和配置于周邊的區域10b。在此，區域IOa是陽電極與形成于其下部的TFT層的源電極或漏電極連接的有助于發光的區域，相對地，區域IOb是陽電極與形成于其下部的 TFT層的源電極和漏極都不連接的無助于發光的區域。并且，認為在將區域IOa進一步在形式上分為中央區域IOal和周邊區域10a2的情況下，由于涂覆墨時的蒸汽濃度的分布狀態，會在周邊區域10a2更顯著地產生子像素內的有機發光層的膜厚不勻。認為合并了周邊區域10a2和區域IOb的區域為面板的外圍部的0.5% 幾％左右 (例如1%)的像素部。這是考慮不調整提的面部的傾斜角度的情況下的有機發光層的膜厚不均而確定的。在上述實施方式及變形例1、2中，為了易于理解地說明本發明的結構和作用效果而采用作為例子的各結構，本發明除了本質部分并不限定于上述方式。例如，在上述實施方式中，如圖2所示，采用了相對于有機發光層106在其Z軸方向下側配置有陽電極102的結構來作為一個例子，但本發明不限于此，也可以采用如相對于有機發光層106在其Z軸方向下側配置有陰電極108的結構。在為相對于有機發光層106在其Z軸方向下側配置陰電極108的情況下，由于為頂部發射構造，所以采用使陰電極108為反射電極層、在其上形成電極覆蓋層103的結構。另外，在上述實施方式等中，雖未示出顯示裝置1的具體外觀形狀，但例如可以為如圖18所示的系統的一部分。由于有機EL顯示裝置不需要如液晶顯示裝置的背光源，所以適于薄型化，從系統設計的觀點來看，能發揮優異的特性。另外，在上述實施方式及變形例1、2中，作為提105、10fe 105d、105x、105y、605、 705的形態，采用了如圖3所示的所謂的線提構造，但也可以采用如圖19所示的由在Y軸方向上延伸的提部件80 和在X軸方向上延伸的提部件80 構成的像素提805來構成顯示面板80。如圖19所示，在采用像素提805的情況下，對于規定各子像素800a、800b、800c的提805，通過增大其X軸方向和Y軸方向的各外側的側壁部的傾斜角度，能夠得到上述同樣的效果。具體而言，能夠通過適當調整箭頭Bi、B2、B3、B4所指示的面部的傾斜角度來得到上述效果。另外，對于上述實施方式及變形例1、2中所采用的提的面部的傾斜角度的調整， 可以根據制造時形成有機發光層所涉及的墨涂覆工序和干燥工序中的蒸汽濃度分布而個別地適當進行變更。例如，在如因干燥裝置的構造等而墨干燥時的蒸汽流為由面板外周部朝向面板中央部的情況下，與有機發光層的膜厚變厚的部位對應地增大提側面部的傾斜角度即可。由此，能夠使有機發光層的膜厚均勻化，能夠降低面板整體的輝度不均。另外，在上述實施方式及變形例1、2中，在各發光色(紅色、綠色、藍色)，對提面部的傾斜角度(錐角)的設定沒有加以區別，但認為含有有機發光材料的墨的特性會根據發光色而變化，所以在該情況下，可以根據各發光色的墨特性來規定對應的提的面部的傾斜角度。產業上的可利用性本發明對于實現輝度不均少、具有高畫質性能的有機發光面板及有機顯示裝置是有用的。
權利要求
1.一種有機發光面板，所述有機發光面板是排列多個像素部和設置于所述多個像素部的相鄰像素部各自之間的非像素部而成的面板，所述多個像素部的各像素部具有發光色互不相同的按順序排列的多個發光部，各發光部包括基底層、有機發光層以及第二電極，所述基底層包括第一電極，所述有機發光層與所述基底層對向設置、按各發光色涂覆含有有機發光材料的墨而形成，所述第二電極相對于所述有機發光層形成在與所述基底層相反一側，同一像素部內的所述多個發光部從一側到另一側至少具有同時涂覆與各發光色對應的所述墨而形成所述有機發光層的、位于一側的涂覆對應的墨的第一發光部、位于中央側的涂覆對應的墨的第二發光部、以及位于另一側的涂覆對應的墨的第三發光部，在所述基底層的上方設有區劃所述多個發光部中相鄰的發光部的、規定各發光部的多個隔壁，在所述像素部和所述非像素部之間形成有區劃所述像素部和所述非像素部的隔壁，所述多個像素部包括如下像素部在規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，位于所述非像素部側的隔壁面部的傾斜角度大于位于所述第二發光部側的隔壁面部的傾斜角度，規定所述第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度相等，在規定所述第三發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，位于所述非像素部側的隔壁面部的傾斜角度大于位于所述第二發光部側的隔壁面部的傾斜角度。
2.根據權利要求1所述的有機發光面板，所述非像素部不具備所述有機發光層，包括具有與所述第一電極相同的材料而構成的第三電極和所述第二電極，所述第二電極與所述第三電極電連接。
3.根據權利要求1所述的有機發光面板，規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度，與規定所述第三發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度相等。
4.根據權利要求1所述的有機發光面板，規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的位于所述第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度，與規定所述第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度相等。
5.根據權利要求1所述的有機發光面板，規定所述第三發光部的相鄰兩隔壁的位于所述第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度，與規定所述第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度相等。
6.根據權利要求1所述的有機發光面板，規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度為35度以上且45度以下，規定所述第三發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的對向的面部的傾斜角為35度以上且45度以下，規定所述第一發光部的相鄰的兩隔壁的位于所述第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下，規定所述第三發光部的相鄰的兩隔壁的位于所述第二發光部側的隔壁的對向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下，規定所述第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度為25度以上且35度以下。
7.根據權利要求1所述的有機發光面板，所述傾斜角度為所述隔壁的所述對向的各面部與形成有所述隔壁的所述基底層的上面所成的角度。
8.一種有機顯示裝置，具備根據權利要求1 7中任一項所述的有機發光面板。
9.一種有機發光面板的制造方法，所述有機發光面板是排列多個像素部和設置于所述多個像素部的相鄰像素部各自之間的非像素部而成的面板，包括第一工序，在基板上形成包括第一電極的基底層；第二工序，在所述基底層上層疊感光性抗蝕劑材料；第三工序，通過對所述層疊的感光性抗蝕劑材料進行掩模曝光而對其進行圖案形成，按各像素部形成與多個發光部對應的多個開口，并且，在所述各像素部之間形成與非像素部對應的開口，形成區劃相鄰的所述發光部和所述非像素部而規定各發光部和所述非像素部的多個隔壁；第四工序，對與所述多個發光部對應的多個開口分別滴下含有有機發光材料的墨并使其干燥，形成有機發光層；和第五工序，在所述有機發光層的上方形成第二電極，在所述第三工序中，針對要形成的所述多個像素部中的至少一部分像素部，形成與位于一側的第一發光部對應的第一開口、與位于中央側的第二發光部對應的第二開口以及與位于另一側的第三發光部對應的第三開口，進一步，在規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，使位于所述非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度形成為大于位于所述第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，使規定所述第二發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部的傾斜角度形成為相等，在規定所述第三發光部的相鄰兩隔壁的對向的面部中，使位于所述非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度形成為大于位于所述第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，所述第四工序中，按各像素部對所述第一開口、所述第二開口以及所述第三開口同時滴下與各發光色對應的所述墨，形成有機發光層。
10.根據權利要求9所述的有機發光面板的制造方法，在所述第三工序中，關于所述感光性抗蝕劑材料的曝光，通過使對與規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的面部相當的部分的曝光量大于對與位于所述第二發光部側的隔壁的面部相當的部分的曝光量，使位于所述非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，通過使對與規定所述第三發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的面部相當的部分的曝光量大于對與位于所述第二發光部側的隔壁的面部相當的部分的曝光量，使位于所述非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度。
11.根據權利要求9所述的有機發光面板的制造方法，在所述第三工序中，關于所述感光性抗蝕劑材料的曝光，通過使用對于與各個面部相當的部分的光透射率互不相同的掩模，以使得對與規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的面部相當的部分的光透射率大于對與位于所述第二發光部側的隔壁的面部相當的部分的光透射率，從而使位于所述非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，通過使用對于與各個面部相當的部分的光透射率互不相同的掩模，以使得對與規定所述第三發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的面部相當的部分的光透射率大于對與位于所述第二發光部側的隔壁的面部相當的部分的光透射率，從而使位于所述非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度。
12.根據權利要求9所述的有機發光面板的制造方法，在所述第三工序中，在使所述感光性抗蝕劑材料曝光、顯影后，通過對與規定所述第一發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的面部相當的部分追加進行曝光處理，使位于所述非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第二發光部側的隔壁的面部的傾斜角度，通過對與規定所述第三發光部的相鄰兩隔壁的位于所述非像素部側的隔壁的面部相當的部分追加進行曝光處理，使位于所述非像素部側的隔壁的面部的傾斜角度大于位于所述第二發光部側的隔壁的面部傾斜角度。
13.一種有機顯示裝置，具備通過權利要求9 12中任一項所述的制造方法得到的有機發光面板。
全文摘要
本發明提供一種有機發光面板及其制造方法、以及有機顯示裝置。像素部構成為包括三個子像素(100a～100c)。并且，在相鄰的像素部之間配置有非像素部(100d、100e)。堤(105a)區劃子像素(100a)的有機發光層與非像素部(100d)，同樣地，堤(105d)區劃子像素(100c)的有機發光層與相鄰的非像素部(100e)。另外，堤(105b)區劃子像素(100a)的有機發光層與子像素(100b)的有機發光層，同樣地，堤(105c)區劃子像素(100b)的有機發光層與子像素(100c)的有機發光層。在此，堤(105a)的子像素(100a)側的面部(105aa)的傾斜角度(θaa)和堤(105d)的子像素(100c)側的面部(105dc)的傾斜角度(θdc)以大于其它傾斜角度(θba、θbb、θcb、θcc)的角度來設定。
文檔編號H05B33/22GK102577616SQ201080036469
公開日2012年7月11日 申請日期2010年10月15日 優先權日2010年10月15日
發明者松島英晃 申請人:松下電器產業株式會社