膠帶粘貼裝置的制作方法

專利名稱：膠帶粘貼裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及在液晶面板或PDP(Plasma Display Panel)或有機 EL(Electro-Luminescence)面板等的基板上粘貼各向異性導電膠帶的膠帶粘貼裝置。
背景技術：
例如在液晶面板的模塊制造工序中，接合基板的電極與驅動器IC或TCP(Tape Carrier Package)或 COF(Chip on Film)或 FPC(Flexible PrintedCircuit)等部件， 在該接合過程中采用作為包含導電粒子的粘接劑的各向異性導電膠帶(Anisotropic Conductive Film :ACF)。用于將各向異性導電膠帶(以下稱為導電膠帶)粘貼到基板的電極上的膠帶粘貼裝置具備保持基板并使基板在水平面方向上移動的基板保持移動臺； 提供在導電膠帶上層疊被稱為隔離物的保護膠帶而成的膠帶部件的供給卷筒；具備將由供給卷筒提供的膠帶部件按壓在基板上并將導電膠帶粘貼在基板上的壓接頭的粘貼單元；以及對由粘貼單元粘貼了導電膠帶之后的膠帶部件(隔離物單體)進行卷繞的卷繞卷筒。再有，還具備在由壓接頭將膠帶部件按壓到基板上時支撐壓接頭的按壓體正下方的基板的下表面的下支撐部(支撐臺，backup stage) 0在這種膠帶粘貼裝置中，公知以下結構的粘貼裝置配置有多個轉印機構，該轉印機構是將供給卷筒、把膠帶部件按壓到基板上并將導電膠帶粘貼在基板上的相當于上述壓接頭的轉印頭以及卷繞卷筒作為一個單元來構成，通過同時對基板進行導電膠帶的粘貼動作而使得生產率提高(例如專利文獻1)。再有，通過盡量減少供給卷筒以及卷繞卷筒兩個卷筒的更換次數，從而也可以實現生產率的提高。為此，使膠帶部件的膠帶長度增大(例如增大為3倍左右)是比較有效的方法。還有，也公知以下技術通過在下支撐部安裝對設于基板下表面的基板定位用的基板標記進行拍攝的照相機，從而簡化了構成。現有技術文獻專利文獻專利文獻1 日本特許第3821623號公報

發明內容
然而，若使膠帶部件的膠帶長度增大，則供給卷筒以及卷繞卷筒二者的直徑也會變大，因此不僅會導致裝置整體大型化，引起成本上升，還存在以下問題點卷筒的更換作業本身難以進行，作業的中斷時間變長，相應地還可能會引起生產率降低。這種問題點即使在僅具備1個壓接頭的裝置中也會產生，如上所述在具備多個壓接頭的裝置中會比較明顯，有時不能很好地發揮可同時粘貼多個導電膠帶的長處。為此，本發明的目的在于提供一種在不會使得裝置整體大型化的前提下既可以增大膠帶長度、又可以實現作業效率的提高的膠帶粘貼裝置。另外，也對本發明的其他目的進行說明。以往，因為下支撐部構成為與粘貼單元一體地移動，所以若使照相機對設于基板
4下表面的基板標記進行拍攝，則不僅下支撐部，就連具有重量的粘貼單元也會移動。因此， 不能迅速地使照相機移動，存在可能會導致基板定位所需的時間變長、作業效率下降的問題點。為此，本發明的另一目的在于提供一種可以縮短基板定位所需的時間，實現作業效率的提高的膠帶粘貼裝置以及膠帶粘貼方法。為了達成上述目的，本發明構成如下。根據本發明的第一方式，提供一種膠帶粘貼裝置，其包括基板保持臺，其保持基板；粘貼單元，其將層疊在膠帶部件上的各向異性導電膠帶粘貼到基板的側緣部的膠帶粘貼位置上；和粘貼單元移動裝置，其使粘貼單元相對于由基板保持臺保持著的基板相對地移動，粘貼單元具備供給卷筒，其供給在各向異性導電膠帶上層疊隔離物而成的膠帶部件；壓接頭，其將由供給卷筒供給的膠帶部件按壓在由基板保持臺所保持的基板的側緣部的膠帶粘貼位置，將各向異性導電膠帶粘貼到所述膠帶粘貼位置；和卷繞卷筒，其對由壓接頭在基板上粘貼了各向異性導電膠帶之后的膠帶部件進行卷繞，在粘貼單元中，供給卷筒與卷繞卷筒被安裝在同一軸上。根據本發明的第二方式提供一種第一方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置具備多個粘貼單元，每個粘貼單元具備臺架，其安裝有壓接頭，并且以能夠相對于由基板保持臺保持著的基板相對地移動的方式被安裝在粘貼單元移動裝置上；和底座，其以同軸的方式安裝供給卷筒與卷繞卷筒，并且以能夠裝卸的方式被安裝在臺架上。根據本發明的第三方式，提供一種第一方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，粘貼單元還包括卷繞卷筒驅動裝置，其具有被配置在供給卷筒及卷繞卷筒的所述同一軸上并且與卷繞卷筒連接的第一旋轉軸、和對第一旋轉軸進行旋轉驅動的卷繞卷筒用驅動電動機；和供給卷筒驅動裝置，其具有在第一旋轉軸的外周側與第一旋轉軸配置在同一軸上并且與供給卷筒連接的中空狀的第二旋轉軸、和對第二旋轉軸進行旋轉驅動的供給卷筒用驅動電動機。根據本發明的第四方式，提供一種第二方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，每個粘貼單元還包括卷繞卷筒驅動裝置，其具有被配置在供給卷筒及卷繞卷筒的所述同一軸上并且與卷繞卷筒連接的第一旋轉軸、和對第一旋轉軸進行旋轉驅動的卷繞卷筒用驅動電動機；和供給卷筒驅動裝置，其具有在第一旋轉軸的外周側與第一旋轉軸配置在同一軸上并且與供給卷筒連接的中空狀的第二旋轉軸、和對第二旋轉軸進行旋轉驅動的供給卷筒用驅動電動機。根據本發明的第五方式，提供一種第四方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，供給卷筒用驅動電動機及卷繞卷筒用驅動電動機被安裝在臺架上，在底座上安裝于同一軸上的供給卷筒及卷繞卷筒中，將供給卷筒安裝得比卷繞卷筒更靠近臺架側。根據本發明的第六方式，提供一種第一方式 第五方式中任一方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置還包括輥部件，其與通過壓接頭將各向異性導電膠帶粘貼到基板上而僅剩隔離物的膠帶部件接觸，以除去隔離物上殘存的粘接劑的渣滓。根據本發明的第七方式，提供一種第二方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，
該膠帶粘貼裝置還包括多個下支撐部，其設置為能夠相對于基板保持臺而在水平面內移動，支撐由基板保持臺所保持著的基板的側緣部的膠帶粘貼位置的下表面；多個照相機，其被設于每個下支撐部上，從基板保持臺所保持著的基板的下方對基板所具有的基板定位用的基板標記進行拍攝；位置識別裝置，其基于通過每個照相機的拍攝而得到的基板標記的圖像，進行基板的位置識別；和定位裝置，其基于位置識別裝置對基板的位置識別結果，使基板保持臺動作，進行基板向作業位置的定位，粘貼單元移動裝置使每個粘貼單元能夠與每個下支撐部獨立地在水平面內方向上移動，被定位在各作業位置上的狀態下的每個粘貼單元從膠帶粘貼位置的上方，對被定位在各作業位置且由每個下支撐部支撐著膠帶粘貼位置的下表面的狀態下的基板，按壓并粘貼各向異性導電膠帶。根據本發明的第八方式，提供一種第七方式所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置還包括粘貼狀態檢查裝置，其被設置于每個粘貼單元，進行各向異性導電膠帶向基板的粘貼狀態的檢查。(發明的效果)在本發明中，因為將供給卷筒與卷繞卷筒安裝在同一軸上并配置為緊湊型，所以即使兩卷筒的直徑變大，裝置整體也不會大型化。由此，可以增大膠帶部件的膠帶長度，減少卷筒的更換次數，并實現作業效率的提高。另外，在將供給卷筒與卷繞卷筒設置在底座上且被單元化的構成中，該底座能夠自由地安裝到臺架上或自臺架上拆卸，可以容易地進行兩卷筒的更換，可以縮短卷筒的更換所需的時間，可以實現進一步的作業效率的提高。


本發明的上述這些方式和特征，根據隨附的附圖以及與其相關的下面記載的優選實施方式會變得更加明確。圖1是本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置的立體圖。圖2是本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置的主視圖。
圖3是本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置的側視圖。圖4是本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置的俯視圖。圖5是本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置所具備的粘貼單元的主視圖。圖6是本發明的一個實施方式的粘貼單元的立體圖。圖7是本發明的一個實施方式的粘貼單元的部分分解立體圖。圖8是本發明的一個實施方式的粘貼單元的部分剖面俯視圖。圖9是本發明的一個實施方式的粘貼單元的部分側視圖。圖10(a) (b) (C)是本發明的一個實施方式的粘貼單元的部分放大主視圖。圖11是本發明的一個實施方式的粘貼單元的部分放大主視圖。圖12是表示本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置的動作順序的一例的流程圖。圖13是本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置的部分剖面俯視圖。圖14是本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置的主視圖。圖15是本發明的一個實施方式的膠帶粘貼裝置的主視圖。
具體實施例方式在繼續本發明的描述之前，在附圖中針對相同的部件賦予相同的參照標記。以下參照附圖對本發明的實施方式進行說明。在圖1 圖4中，膠帶粘貼裝置1 在基座2上具有門型的框架3，框架3具有從操作人員OP方向看沿著基座2的橫向延伸的水平部3a和支撐該水平部3a的兩端的一對垂直部北。在以下的說明中為了方便，將框架 3的水平部3a延伸的水平面內的方向(基座2的橫向)作為X軸方向，將與X軸方向正交的水平面內的方向(基座2的前后方向)作為Y軸方向。另外，將該水平面的垂直方向作為Z軸方向，將繞Z軸旋轉的旋轉方向作為θ方向。進而，在該膠帶粘貼裝置中，將Y軸方向的操作人員的主要站立位置側、即操作人員OP側作為前面側(以下稱為前面側)，將Y軸方向的與操作人員OP側相反的一側作為后方側(背面側)(以下稱為后方側或背面側)。在圖1 圖4中，在基座2的上表面的框架3的Y軸方向的后方側區域，設有用于進行基板PB的保持以及移動(向作業位置的定位)的基板保持移動臺4。在圖3及圖4 中，基板保持移動臺4具備使保持基板PB的基板保持部4d在沿著X軸方向移動的在基座 2上沿著X軸方向延伸的X臺軸如；配置于X臺軸如上并使基板保持部4d在Y軸方向上移動的Y臺軸4b ；以及配置于Y臺軸4b上且使基板保持部4d在Z軸方向上上下移動以及使基板保持部4d沿θ方向旋轉的θ臺軸如。基板保持移動臺4使由載置在基板保持部 4d的上表面且未圖示的基板吸附機構吸附保持著的基板PB在水平面內方向(X軸方向、Y 軸方向、Z軸方向以及θ方向)移動，進行基板PB向作業位置的定位。由基板保持移動臺 4進行的基板PB向作業位置定位的控制是由該膠帶粘貼裝置1所具備的控制器8(圖2)來進行的。 在圖4中，基板PB例如為形成為長方形形狀的液晶面板的基板，在該基板PB的側緣部的長邊與短邊上分別設有隔著導電膠帶ACF而接合未圖示的部件的多個電極DT。其中，各個電極DT都位于應該粘貼導電膠帶ACF的位置、即膠帶粘貼位置處。
在圖1及圖2中，在框架3的前面側(操作人員OP —側)，分別具備壓接頭21的2個粘貼單元5被設置為能夠沿著框架3的水平部3a而在X軸方向上自由移動，其中壓接頭21將從供給卷筒32提供的膠帶部件T的導電膠帶ACF粘貼到基板PB的側緣部。這2個粘貼單元5構成為能夠相對于基板保持移動臺4所保持著的基板PB分別獨立地在沿著基板PB的側緣部的方向、即X軸方向上移動。另外，在框架3的水平部3a上，具備使2個粘貼單元5分別獨立地在X軸方向上移動的移動裝置(未圖示)。在本實施方式中，該移動裝置為粘貼單元移動裝置的一例，例如可以利用球形螺桿機構或者線性驅動機構來構成。再有，粘貼單元移動裝置只要具有相對于由基板保持移動臺4保持著的基板PB而言使2個粘貼單元5 “相對”獨立地沿著X軸方向分別移動的功能即可，并非僅限于粘貼單元5自身移動的情況。在圖5、圖6及圖7中，各粘貼單元5具備驅動單元部6、和以能夠裝卸的方式被裝備于驅動單元部6中的膠帶供給單元部7。驅動單元部6具備安裝有將導電膠帶ACF粘貼到基板PB的側緣部的壓接頭21，且在框架3的水平部3a上能沿著X軸方向移動的臺架 (holder) 11。膠帶供給單元部7構成為將供給卷筒32和卷繞卷筒33分別安裝在底座31 的同一軸上，該供給卷筒32供給在導電膠帶ACF上層疊被成為隔離物SP的保護膠帶而構成的膠帶部件T (圖5中的部分放大圖)，該卷繞卷筒33對由壓接頭21將從供給卷筒32供給的膠帶部件T的導電膠帶ACF按壓到基板PB上且進行粘貼之后的膠帶部件(隔離物SP 單體)進行卷繞。膠帶供給單元部7收納膠帶部件，進而膠帶供給單元部7的底座31以能夠裝卸的方式而被安裝在驅動單元部6的臺架11上。在圖6、圖7及圖8中，驅動單元部6是在臺架11上安裝供給卷筒驅動電動機12、 卷繞卷筒驅動電動機13、驅動齒輪14、從動齒輪15、中空旋轉軸(shaft) 16、第一原點傳感器17、第二原點傳感器18、膠帶輸送輥驅動電動機19、膠帶切割器20、壓接頭21、剝離輥單元22以及膠帶攝像照相機23而構成的，該臺架11是由被設置為在框架3的水平部3a上能沿著X軸方向、即橫向自由移動(因此，相對于由基板保持移動臺4保持著的基板PB能夠自由移動)的板狀部件構成的。在圖1中，通過由控制器8對設于框架3的水平部3a內且未圖示的球形螺桿機構進行動作控制，從而可以使各臺架11 (這里為兩個)在框架3的水平部3a上各自獨立地在沿著基板PB的側緣部的方向、即X軸方向上移動(圖1中示出的箭頭Al)。在圖6及圖7中，膠帶供給單元7構成為在以能裝卸的方式安裝于驅動單元部 6的臺架11上且由板狀部件構成的底座31的前面，除了供給卷筒32與卷繞卷筒33以外， 還安裝有用于將膠帶部件向卷繞卷筒33引導的膠帶輸送輥34、第一階差輥35、第二階差輥 36、清洗輥37以及多個引導輥(第一 第七引導輥41、42、…、47)等膠帶輸送路徑裝置， 該卷繞卷筒33對由壓接頭21將從供給卷筒32供給的膠帶部件T的導電膠帶ACF按壓到基板PB上并進行粘貼之后的膠帶部件(隔離物SP單體)進行卷繞。再有，在構成膠帶供給單元部7的底座31的中央處設有從Z軸方向的下方向上方延伸的切口部31a，在切口部31a的上方的區域內，供給卷筒32與卷繞卷筒33均在Y軸方向上繞著Yl軸安裝在同一軸上。卷繞卷筒33的直徑要比供給卷筒32的直徑小，并且設置為對于操作人員OP而言比供給卷筒32更靠近眼前側(前面側)。S卩，如圖6所示，按照供給卷筒32配置得比卷繞卷筒33更靠近臺架11的方式，以同軸的方式將供給卷筒32與卷繞卷筒33安裝在底座31上。
在圖6及圖8(a)、(b)中，從操作人員OP側(Y軸方向的前面側)觀察，供給卷筒驅動電動機12與卷繞卷筒驅動電動機13并列地設置在臺架11的背面。供給卷筒驅動電動機12的驅動軸1 在Y軸方向上貫通臺架11并延伸到臺架11的前面側，且與作為外齒齒輪的驅動齒輪14連接。中空旋轉軸16 (中空狀的第二旋轉軸的一例)以繞著Yl軸可自由旋轉地方式設置在臺架的前面側，以外齒齒輪與驅動齒輪嚙合的從動齒輪15被固定在中空旋轉軸16的外周面。卷繞卷筒驅動電動機13的驅動軸13a(第一旋轉軸的一例)在 Y軸方向上貫通臺架11并向臺架11的前面側突出，進而在Y軸方向上貫通中空旋轉軸16 的內部并延伸。即，中空旋轉軸16與驅動軸13a被配置在同一軸上。在圖8(a)、(b)中，在將膠帶供給單元部7的底座31安裝到驅動單元部6的臺架 11的前面側時，中空旋轉軸16在Y軸方向上貫通設于底座31上的貫通孔31b，并與設于供給卷筒32背面的旋轉軸安裝孔3 嵌合，從而中空旋轉軸16與供給卷筒32被連接在一起。再有，卷繞卷筒驅動電動機13的驅動軸13a與設于卷繞卷筒33背面的驅動軸安裝孔 33a嵌合，從而卷繞卷筒驅動電動機13的驅動軸13a和卷繞卷筒33被連接在一起。另外， 由供給卷筒驅動電動機12、驅動軸12a、驅動齒輪14、從動齒輪15以及中空旋轉軸16構成供給卷筒驅動裝置，由卷繞卷筒驅動電動機13以及驅動軸13a構成卷繞卷筒驅動裝置。根據該構成，若在將膠帶供給單元部7安裝到驅動單元部6的狀態下驅動供給卷筒驅動電動機12的驅動軸12a，則其驅動力從驅動齒輪14、從動齒輪15、中空旋轉軸16而被傳遞到供給卷筒32，供給卷筒32繞著Yl軸旋轉。再有，若卷繞卷筒驅動電動機13的驅動軸13a被驅動，則其驅動力被傳遞到卷繞卷筒33，使得與供給卷筒32配置在同一軸上的卷繞卷筒33繞著Yl軸旋轉。此外，由控制器8進行供給卷筒驅動電動機12的驅動軸12a 的旋轉動作控制以及卷繞卷筒驅動電動機13的驅動軸13a的旋轉動作控制。另外，在本實施方式中，雖然以利用齒輪傳遞機構來構成供給卷筒驅動裝置的情況為例進行了說明，但也可以取代這種情況，作為供給卷筒驅動裝置或卷繞卷筒驅動裝置，例如采用計時皮帶傳遞機構來構成。在圖5及圖7中，第一引導輥41被設置在從前面側所看到的底座31的切口部31a 的圖示左方的區域內，第二引導輥42被設置在第一引導輥41的下方。第三引導輥43被設置在第二引導輥42的圖示右下方，第一階差輥35被設置為在第三引導輥43的上方沿著由沿上下方向延伸的LM導向器構成的第一階差輥導向器3 而在上下方向上自由移動。第一階差輥35由未圖示彈簧部件始終向上方被施加彈性力，在向下方的拉拽荷重不起作用時， 位于第一價差輥導向器35a的最上側的位置處、即原點位置。再有，在第一階差輥導向器35a的圖示右方設有在Y軸方向上貫通底座31的貫通孔31c，設于驅動單元部6的臺架11前面的第一原點傳感器17的前端(傳感器部)自該貫通孔31c突出。第一原點傳感器17沿著水平方向向位于原點位置的第一階差輥35投射檢查光，在第一階差輥35位于原點位置時，因為接收由第一階差輥35反射的檢查光，所以輸出受光信號，而在第一價差輥35并未位于原點位置時(位于原點位置的下方時)因為未接收由第一階差輥35反射的檢查光，所以不輸出受光信號。控制器8基于來自這種第一原點傳感器35的受光信號的輸出狀態，以檢測第一階差輥35是否位于原點位置。在圖5及圖7中，剝離輥單元22構成為包括以沿著橫向(X軸方向)自由移動的方式設置在臺架11的圖示右下方的區域內的移動底座22a ；設置于移動底座22a的前面的一對輥(第一剝離輥22b及第二剝離輥22c)。第一剝離輥22b在X軸方向上夾持著臺架 11的切口部31a而位于第三引導輥43的圖示右側，第二剝離輥22c位于第一剝離輥22b的圖示右上方。從前面側看，第四引導輥44被設置在膠帶供給單元部7的底座31的切口部31a 的圖示右方的區域的中央部下方，第五引導輥45被設置于第四引導輥44的上方。第六引導輥46被設置在第五引導輥45的圖示左上方，第七引導輥47被設置在第六引導輥46的圖示左方。第二階差輥36被設置為能在第六引導輥46與第七引導輥47之間的區域的下方，在第二階差輥導向器36a上沿著上下方向自由移動，該第二階差輥導向器36a由沿著上下方向延伸的LM導向器構成。第二階差輥36由未圖示的彈簧部件始終向下方被賦予彈性力，在向上方的拉拽荷重不起作用時位于比規定的原點位置(第二階差輥導向器36a的基本中間位置)更靠下方的位置處。再有，在第二階差輥導向器36a的圖示左方，設置在Y軸方向上貫通底座31的貫通孔31d，設置在驅動單元部6的臺架11的前面的第二原點傳感器18的前端(傳感器部) 自該貫通孔31d突出。第二原點傳感器18沿著水平方向向位于原點位置的第二階差輥36 投射檢查光，在第二階差輥36位于原點位置時因為接收由第二階差輥36反射的檢查光，所以輸出受光信號，而在第二價差輥36并未位于原點位置時(位于原點位置的下方時)因為未接收由第二階差輥36反射的檢查光，所以不輸出受光信號。控制器8基于來自這種第二原點傳感器36的受光信號的輸出的有無，以檢測第二階差輥36是否位于原點位置。膠帶輸送輥34由被設置為相對地壓合外周面的驅動輥3 及夾送輥(pinch roller) 34b構成，且被安裝在第五引導輥45的圖示右方。膠帶輸送輥驅動電動機19設置在臺架11的背面，其驅動軸19a在Y軸方向上貫通臺架11。在將膠帶供給單元部7的底座 31安裝在驅動單元部6的臺架11的前面時，膠帶輸送輥驅動電動機19的驅動軸19a的向臺架11的前面側延伸的部分與設于驅動輥3 的背面的未圖示的驅動軸安裝孔嵌合，從而安裝在臺架11上的膠帶輸送輥驅動電動機19的驅動軸19a和安裝在膠帶供給單元部7的底座31上的驅動輥3 連接在一起。因此，若在膠帶供給單元部7被安裝到驅動單元部6的狀態下驅動膠帶輸送輥驅動電動機19的驅動軸19a，則其驅動力被傳遞到驅動輥34a，驅動輥3 繞Y軸旋轉，夾送輥34b向與驅動輥；Ma相反的方向旋轉，由驅動輥3 與夾送輥34b夾持膠帶部件(隔離物SP單體)T，同時向被卷繞卷筒33回收的方向輸送膠帶部件(隔離物SP單體)T。其中， 膠帶輸送輥驅動電動機19的驅動軸19a的旋轉動作控制由控制器8進行。在圖5及圖7中，清洗輥37具備被設置為相對地壓合外周面的第一清洗輥37a及第二清洗輥37b。相對于膠帶部件(隔離物SP單體)T的輸送方向而言，與膠帶輸送輥34 相比在跟前側配置清洗輥37，該清洗輥37被安裝在第四引導輥44與第五引導輥45之間的上下中間部，其中膠帶輸送輥34利用驅動輥3 與夾送輥34b夾持膠帶部件(隔離物SP 單體)，同時輸送膠帶部件(隔離物SP單體)T。第一清洗輥37a由外周面具有粘接性的彈性材料(例如氨基甲酸乙酯(urethan))形成，第二清洗輥37b由外周面具有比第一清洗輥 37a的側面更弱的粘接性的材料(例如特氟隆(注冊商標))形成。膠帶切割器20被設置在臺架11前面的第三引導輥43的右側區域內。該膠帶切割器20由在上下方向并列設置的上刃20a與下刃20b構成，通過這上下兩刃20a、20b進行
10相互接近及相互分開的開閉動作(切斷動作)，從而切斷在水平方向上通過上下兩刃20a、 20b之間的膠帶部件T的導電膠帶ACF(對導電膠帶ACF開設切痕)。另外，在由該膠帶切割器20進行的膠帶部件T的切斷動作中，僅切斷膠帶部件T中的層疊于隔離物SP上的導電膠帶ACF，而不切斷隔離物SP。壓接頭21位于設置在底座31上的切口部31a內，并被設置于臺架11上。壓接頭 21包括沿著上下方向(Z軸方向)延伸且使桿(rod) 21a向下方突沒的汽缸21b ；以及設于桿21a的下端的按壓體21c。按壓體21c具備熱源21d。再有，為了檢查基板PB上的導電膠帶ACF的粘貼狀態，而從基板PB的上方對粘貼在基板PB上的導電膠帶ACF進行拍攝的膠帶攝像照相機23，在沿著基板PB的側緣部的方向、即X軸方向上，能夠相對于基板保持移動臺4移動(即相對于基板保持移動臺4所保持的基板PB移動)，且被安裝在支撐設有電極DT的基板PB的側緣部的下表面的支撐臺51 (下支撐部)獨立地移動的粘貼單元5的臺架11上，設于膠帶供給單元部7的底座31前面的第四引導輥44的圖示右方(參照圖3及圖幻。膠帶攝像照相機23使攝像視野朝向下方， 從上方側對被粘貼在基板PB上的膠帶粘貼位置處(應該粘貼導電膠帶ACF的位置，即設有電極DT的位置處)的導電膠帶ACF進行拍攝。膠帶攝像照相機23的拍攝動作由控制器8來控制，由膠帶攝像照相機23所拍攝的圖像信息被輸入到控制器8中。而且，控制器8基于通過膠帶攝像照相機23的拍攝而得到的導電膠帶ACF的圖像，進行向基板PB粘貼導電膠帶ACF的狀態(基板PB上有無導電膠帶ACF以及粘貼狀態是否良好)的判斷。其中，在該檢查中，只要可以檢查基板PB上的導電膠帶ACF的粘貼狀態即可，還可以取代攝像照相機而采用光學式的傳感器等。在圖1 圖4中，在配置于基座2的上表面的框架3的Y軸方向的前方區域、即2 個粘貼單元5的下方區域，沿著基座2的橫向(X軸方向)延伸設置支撐臺導向器50，在該支撐臺導向器50的上表面，2個支撐臺51被設置為互相地且與2個粘貼單元5 (因此與2 個壓接頭21)獨立地在沿著基板PB的側緣部的方向、即X軸方向上自由移動。各支撐臺51 通過由控制器8對設于支撐臺導向器50內的未圖示的球形螺桿機構或者線性電動機機構等進行動作控制，從而能沿著支撐臺導向器50而在X軸方向、即橫向上移動(圖1中示出的箭頭A2)。各支撐臺51是上表面為平坦面52 (參照圖3及圖4)的柱狀部件，各支撐臺51的平坦面52向X軸方向移動的移動軌道和兩粘貼單元5所具備的壓接頭21的按壓體21c在 X軸方向上的移動軌道L(參照圖4)在上下方向上對置。因此，各支撐臺51可以在與位于沿著框架3的水平部3a的任意位置上的壓接頭21在上下方向上對置的位置處相對地進行 X軸方向的移動。在Y軸方向上的與操作人員OP側相反一側的各支撐臺51的背面，設有向后方側突出的照相機支撐部53，在該照相機支撐部53上設有使攝像視野朝向上方的基板標記攝像照相機M。即，該膠帶粘貼裝置1所具備的2個基板標記攝像照相機M可以相對于2個粘貼單元5沿著X軸方向相互獨立移動。這兩個基板標記攝像照相機M是自玻璃等透明材質的基板PB的側緣部的下表面側分別對設于側緣部兩端側的基板PB的定位用的2個基板標記M(參照圖4)進行拍攝的部件，該攝像動作是由控制器8進行控制的，由這兩個基板標記攝像照相機M所拍攝的基板標記M的圖像信息被輸入到控制器8中。而且，控制器8基于通過基板標記攝像照相機M的拍攝而得到的基板標記M的圖像進行基板PB的位置識另IJ，利用基板保持移動臺4使基板PB移動，進行基板PB向作業位置的定位。即，在本實施方式中，作為控制器的功能，控制器8具有作為基于通過基板標記攝像照相機M的拍攝而得到的基板標記M的圖像進行基板PB的位置識別的位置識別單元的功能；作為基于位置識別單元對基板PB的位置識別結果而使基板保持移動臺4工作，以進行基板PB向作業位置的定位的基板定位單元的功能。在圖5中，從供給卷筒32拉出的膠帶部件T按照以下順序被搭在作為膠帶輸送路徑單元的第一引導輥41、第二引導輥42、第一階差輥35、第三引導輥43、構成剝離輥單元22 的第一剝離輥22b及第二剝離輥22c、第四引導輥44、清洗輥37、第五引導輥45、膠帶輸送輥34、第六引導輥46、第二階差輥36以及第七引導輥47上，并與卷繞卷筒33連接。另外， 雖然設為膠帶輸送路徑單元中包含清洗輥37，但在根據膠帶部件T自身情況，位于膠帶輸送方向(箭頭B(參照圖幻)下游的膠帶輸送輥34用的膠帶部件T不需要清洗時，膠帶輸送路徑單元中也可以不包含清洗輥37。在此，如圖9所示，第一引導輥41及第二引導輥42在包含供給卷筒32的膠帶部件T的卷曲面在內的垂直面Sl內輸送膠帶部件T，如圖5及圖7所示，第一階差輥35、第三引導輥43、剝離輥單元22 (第一剝離輥22b及第二剝離輥22c)、第四引導輥44、清洗輥37、 第五引導輥45、膠帶輸送輥34、第六引導輥46、第二階差輥36以及第七引導輥47在包含卷繞卷筒33的膠帶部件的卷曲面在內的垂直面S2內輸送膠帶部件T。因此，膠帶部件T在從第二引導輥42到第一階差輥35之間向Y軸方向的前面側偏移了包含供給卷筒32的膠帶部件T的卷曲面在內的垂直面Sl與包含卷繞卷筒33的膠帶部件T的卷曲面在內的垂直面S2在Y軸方向的差(階差)Δ量，但是由此在被配置在Y軸方向的同一軸上且在Y軸方向上偏移了該階差Δ量的供給卷筒32與卷繞卷筒33之間，能進行膠帶部件T的供給及卷繞。另外，膠帶部件T在從第二引導輥42到第一階差輥35之間向Y軸方向的前面側偏移了包含供給卷筒32的膠帶部件T的卷曲面在內的垂直面Sl與包含卷繞卷筒33的膠帶部件T的卷曲面在內的垂直面S2在Y軸方向的差(階差)△量，但也可以是在從第六引導輥46到第二階差輥36之間向Y軸方向的前面側偏移供給卷筒32的膠帶部件T的卷曲面與卷繞卷筒33的膠帶部件T的卷曲面在Y軸方向的差(階差)Δ量，被配置在Y軸方向的同一軸上，且在Y軸方向上偏移了該階差Δ量的供給卷筒32與卷繞卷筒33之間進行膠帶部件T的供給及卷繞。然而，為了構成為在利用壓接頭21將從后述的供給卷筒32拉出的膠帶部件T的導電膠帶ACF的面粘貼到基板PB之前，導電膠帶ACF的面不與膠帶輸送路徑單元的輥01、 42,35,43)的面接觸，希望膠帶部件T采取以下構成在從第二引導輥42到第一階差輥35 之間向Y軸方向的前面側偏移包含供給卷筒32的膠帶部件T的卷曲面在內的垂直面Sl與包含卷繞卷筒33的膠帶部件T的卷曲面在內的垂直面S2在Y軸方向的差(階差)Δ量， 被配置在Y軸方向的同一軸上，且在Y軸方向上偏移了該階差Δ量的供給卷筒32與卷繞卷筒33之間進行膠帶部件T的供給及卷繞。在圖2及圖5中，在第三引導輥43與第一剝離輥22b之間，沿著水平方向傳送膠帶部件T。這是為了 在此之間(第三引導輥43與第一剝離輥22b之間)的膠帶部件T被設置于由基板保持移動臺4保持的基板PB的側緣部，膠帶部件T的導電膠帶ACF與粘貼的電極DT的表面平行。另外，如圖6所示，在該膠帶粘貼裝置1的粘貼單元5中，膠帶部件T 按照設置有導電膠帶ACF —側成為供給卷筒32的軸心方向的內側的方式被供給卷筒32卷繞，在從供給卷筒32拉出之后的隔離物SP上層疊了導電膠帶ACF的膠帶部件T成為與設有導電膠帶ACF的一側相反側的隔離物SP和第一引導輥41、第二引導輥42、第一階差輥 35以及第三引導輥43的外周面接觸。在第三引導輥43與第四引導輥44之間的膠帶部件 T被沿著水平方向輸送的區域內，導電膠帶ACF成為膠帶部件T的下表面。由此，因為從供給卷筒32拉出的膠帶部件T的導電膠帶ACF的面在由壓接頭21 粘貼到基板PB的側緣部的電極DT之前不會與膠帶輸送路徑單元的輥(41、42、35、4；3)的面接觸，所以可以防止膠帶輸送路徑單元的輥01、42、35、43)的面的污染等引起的導電膠帶 ACF的品質降低或粘接性的導電膠帶ACF附著到膠帶輸送路徑單元的輥01、42、35、43)的面上而產生的膠帶部件T的輸送故障。在圖5中，膠帶部件T以被第一清洗輥37a與第二清洗輥37b夾持的狀態通過清洗輥37。再有，膠帶部件T以被驅動輥3 與夾送輥34b夾持的狀態通過膠帶輸送輥34。在將膠帶供給單元部7安裝到驅動單元部6之前的初始狀態下，如上所述，在相對于驅動單元部6能拆裝的膠帶供給單元部7中，在同一軸上安裝膠帶部件T的供給卷筒32 與卷繞卷筒33，并且將膠帶部件T搭在多個引導輥(第一 第七引導輥41、42、…、47)、膠帶輸送輥34、第一階差輥35、第二階差輥36、剝離輥單元22以及清洗輥37等用于向卷繞卷筒33引導膠帶部件T的膠帶輸送路徑單元上，按照第一階差輥35及第二階差輥36分別成為能夠進行位置調整為位于各自的原點位置的狀態的方式，調節從供給卷筒32到卷繞卷筒33之間的膠帶部件T的長度，其中該卷繞卷筒33對由壓接頭21將從供給卷筒32供給的膠帶部件T的導電膠帶ACF按壓到基板PB上并進行粘貼之后的膠帶部件(隔離物SP 單體)進行卷繞。而且，將該初始狀態下的膠帶供給單元部7安裝到驅動單元部6，控制器 8驅動膠帶輸送輥驅動電動機19的驅動軸19a，若使膠帶輸送輥34的驅動輥3 沿著圖5 中示出的箭頭Rl的方向旋轉，則伴隨與此，夾送輥34b會沿著箭頭R2的方向旋轉，被驅動輥3 與夾送輥34b夾持著的膠帶部件T在圖5所示的箭頭B的方向上前進。此外，因為膠帶部件T被驅動輥3 與夾送輥34b夾持著，所以即使在初始狀態 (即未安裝到驅動單元部6的狀態)下的膠帶供給單元部7的驅動輥3 與膠帶輸送輥驅動電動機19的驅動軸19a分離的狀態下，膠帶部件T的輸送位置也不會大幅度偏移。若膠帶部件T在箭頭B的方向上前進，首先，供給卷筒32 (以及卷繞卷筒3 處于停止狀態，所以供給卷筒32與膠帶輸送輥34之間的膠帶部件T的長度縮短，第一階差輥35 抵抗安裝在第一階差輥導向器35a的彈簧(未圖示)的彈性力，被從原點位置向下方拉拽。 控制器8基于來自位于原點位置的第一原點傳感器17的輸出而檢測出第一階差輥35從原點位置向下方的移動時，驅動供給卷筒驅動電動機12的驅動軸12a，使供給卷筒32沿著圖 5所示的箭頭R3的方向旋轉。由此，從供給卷筒32供給(調出)膠帶部件T。若從供給卷筒32供給膠帶部件T，則供給卷筒32與膠帶輸送輥34之間的膠帶部件T的長度變長，因此第一階差輥35因為安裝在第一階差輥導向器35a的彈簧(未圖示) 的彈性力而上升。控制器8在基于來自第一原點傳感器17的輸出而檢測出第一階差輥35 返回到原點位置時，停止供給卷筒32的驅動。然后，通過停止該供給卷筒32的驅動，從而在再次檢測到第一階差輥35從原點位置向下方移動時，控制器8重新開始供給卷筒32的驅動。由此，可以將供給卷筒32與膠帶輸送輥34之間的膠帶部件T的長度基本保持恒定。另一方面，若由膠帶輸送輥34向卷繞卷筒33側輸送膠帶部件T，則膠帶輸送輥34 與卷繞卷筒33之間的膠帶部件T會變長，因此第二階差輥36借助安裝在第二階差輥導向器36a的彈簧(未圖示)的彈性力而從原點位置向下方移動。控制器8若基于來自位于原點位置的第二原點傳感器36的輸出而檢測出第二階差輥36從原點位置向下方移動，則驅動卷繞卷筒驅動電動機13，使卷繞卷筒33沿著圖5所示的箭頭R4的方向旋轉。由此，膠帶輸送輥34與卷繞卷筒33之間的膠帶部件T被卷繞卷筒33卷繞。若由卷繞卷筒33卷繞膠帶部件T，則膠帶輸送輥34與卷繞卷筒33之間的膠帶部件T的長度變短，因此第二階差輥36抵抗安裝在第二階差輥導向器36a的彈簧(未圖示) 的彈性力被上拉而上升。控制器8在基于來自第二原點傳感器18的輸出而檢測出第二階差輥36返回到原點位置后，停止卷繞卷筒33的驅動。然后，通過停止該卷繞卷筒33的驅動，從而在再次檢測到第二階差輥36從原點位置向下方移動時，控制器8重新開始卷繞卷筒33的驅動。由此，可以將膠帶輸送輥34與卷繞卷筒33之間的膠帶部件T的長度基本保持恒定。第三引導輥43與構成剝離輥單元22的第一剝離輥22b之間的膠帶部件T在水平方向上被輸送的區域的中間部分成為粘貼作業區域PR，在該粘貼作業區域PR內，進行通過設在驅動單元部6的臺架11上的壓接頭21而在由基板保持移動臺4所保持的基板PB上的膠帶粘貼位置處粘貼導電膠帶ACF的作業(圖5)。在此，膠帶部件T在到達粘貼作業區域ra之前通過膠帶切割器20的上刃20a與下刃20b之間，借助膠帶切割器20的切斷動作而將導電膠帶ACF切斷，留出切痕，被裁斷為所需要的長度。若將導電膠帶ACF作為下面側并在隔離物SP上層疊了導電膠帶ACF的膠帶部件T 輸送到粘貼單元5的壓接頭21的粘貼作業區域PR，則通過位于該粘貼單元5的壓接頭21 正下方(即粘貼作業區域I3R的正下方)的支撐臺51的平坦面52，支撐設置了電極DT的基板PB側緣部的下表面(圖10(a))，在此基礎上使在粘貼單元5的驅動單元部6的臺架11 上設置的壓接頭21的汽缸21b工作，使桿21a向下方突出，由此通過設于桿21a下端且被加熱器21d加熱的按壓體21c，將粘貼作業區域PR內的膠帶部件T按壓到支撐臺51支撐的基板PB側緣部上設置的電極DT上，從而將層疊在膠帶部件T上的導電膠帶ACF粘貼到基板PB的電極DT上(圖10(b))。通過壓接頭21將導電膠帶ACF粘貼到基板PB上后，使汽缸21b工作，向上方拉拽桿21a，從而使按壓體21c自膠帶部件T離開(圖10(c))。接著，使剝離輥單元22的移動底座22a向粘貼作業區域I3R側移動(圖10(c)。如圖中所示的箭頭A3 (X軸方向圖示左側))。由此，膠帶部件T被拽向上方，將隔離物SP強制性地與被粘貼在基板PB上的導電膠帶ACF分離。另外，導電膠帶ACF與隔離物SP之間的接合力和被粘貼到基板PB上的導電膠帶 ACF與基板PB之間的接合力相比較弱，因此通過將按壓體21c拽向上方后的膠帶部件T的張力，隔離物SP很自然地自導電膠帶ACF部分分離，但是通過采用上述的剝離輥單元22，從而可以迅速且可靠地進行隔離物SP自被粘貼在基板PB上的導電膠帶ACF的分離。在由壓接頭21進行了導電膠帶ACF的粘貼之后，如圖5及圖11所示，成為隔離物
14SP單體的膠帶部件T之后經由第四引導輥44、第五引導輥45而通過膠帶輸送輥34，但是成為在該隔離物SP單體的設有導電膠帶ACF—側的面上附著有(殘留有)粘接劑的渣滓的狀態。膠帶輸送輥34的驅動輥3 是在其外周面具有多個微小的突起34t(參照圖11)且可以準確地控制膠帶部件T的輸送量的部件，若在這種驅動輥34a的表面上附著(從隔離物SP轉移)粘接劑的渣滓K，則有可能無法準確地進行膠帶部件T的輸送量控制。再有，在若想除去附著并牢牢地粘在驅動輥3 表面上的粘接劑的渣滓K，則要直接用金屬刷等對驅動輥34a的表面進行清洗的情況下，驅動輥34a的外周面所具備的多個微小的突起34t會因為清洗而導致磨損，膠帶部件T的輸送量控制會變得不準確。還有，在粘接劑的渣滓K牢牢地粘在驅動輥3 的表面之前，即使直接清洗驅動輥3 的表面，驅動輥3 的表面上也會殘留渣滓K的粘接成分，驅動輥3 的表面會變得不穩定且發粘，膠帶部件T的輸送量控制會變得不準確。然而，在該膠帶粘貼裝置1的粘貼單元5中，成為隔離物SP單體的膠帶部件T在到達驅動輥3 之前，使第一清洗輥37a向一個方向(圖11中所示的箭頭肪)旋轉，同時使第二清洗輥37b向相反的方向(圖11中示出的箭頭R6)旋轉，以通過清洗輥37，從而膠帶部件T的殘留有粘接劑的渣滓K一側的面與由具有粘接性的氨基甲酸乙酯等彈性材料構成的第一清洗輥37a接觸，從而粘接劑的渣滓K被除去，因此不再存在因為粘接劑的渣滓K 引起的驅動輥34a的輸送量控制變得不準確的擔憂。另外，第一清洗輥37a及第二清洗輥 37b優選相對于膠帶供給單元部7的底座31而言能夠自由裝卸，并且進行更換或清掃，可以始終將驅動輥3 的表面保持清潔(沒有粘接劑的渣滓的狀態)。接著，利用圖12的流程圖、圖13 圖15以及圖3，對利用這種構成的膠帶粘貼裝置1而在基板PB上的膠帶粘貼位置處粘貼導電膠帶ACF的順序進行說明。在基板PB上的膠帶粘貼位置處粘貼導電膠帶ACF的過程中，首先控制器8使未圖示的基板搬運裝置工作， 將基板PB搬入到膠帶粘貼裝置1內，將該基板PB載置在基板保持移動臺4的基板保持部 4d上并進行吸附保持(圖12的步驟STl)。然后，使基板保持移動臺4工作，使設于玻璃等透明材質的基板PB側緣部的兩端側的2個基板標記M,位于基板標記攝像照相機M的移動軌道Ll的大致正上方的位置處(參照圖13及圖3中以虛線表示的基板PB)，進行基板PB 的暫時定位(步驟SD)，其中基板標記攝像照相機M的移動軌道Ll是通過使支撐臺51在支撐臺導向器51上沿著X軸方向移動而形成的。控制器8進行了基板PB的暫時定位后，使2個支撐臺51分別沿X軸方向移動，這兩個支撐臺51各自具備的基板標記攝像照相機M位于X軸方向的基板標記M的拍攝位置、即各自的基板PB側緣部的兩端側的基板標記M的正下方(圖13及圖14)，之后通過這兩個基板標記攝像照相機M分別對基板標記M進行拍攝(步驟ST3)。其中，在此在通過基板標記攝像照相機M分別對基板標記M進行拍攝時，在進行了基板PB的暫時定位之后使2個支撐臺51移動到X軸方向的基板標記M的拍攝位置，但是也可以相對于基板標記M的拍攝位置，幾乎同時進行基板PB的暫時定位和支撐臺51向 X軸方向的移動。再有，也可以在基板PB的暫時定位之前，使2個支撐臺51沿X軸方向移動，再移動到基板標記M的拍攝位置。控制器8在使2個基板標記攝像照相機M對基板PB兩端側的2個基板標記M進行拍攝后，基于這兩個基板標記M的拍攝結果(圖像)進行圖像識別，進行用于計算基板PB的位置偏移(基板PB的θ方向的位置偏移)的基板PB的位置識別(步驟ST4)。控制器8在進行了基板PB的位置識別之后，基于該位置識別結果而使基板保持移動臺4工作，進行向在由基板保持移動臺4保持的基板PB側緣部的多個膠帶粘貼位置上粘貼導電膠帶ACF的作業的位置、即作業位置的定位(定位以及位置修正)(步驟ST5)。該基板PB向作業位置的定位具體是通過以下方式來進行的使基板保持移動臺4工作，基于在步驟ST4中求得的位置識別結果，例如按照在θ方向消除位置偏移的方式使基板PB整體在θ方向上旋轉，進而按照由基板保持移動臺4所保持的基板PB的膠帶粘貼位置位于 2個粘貼單元5各自具備的壓接頭21的(按壓體21c)的X軸方向的移動軌道L的正下方的方式，使基板保持移動臺4所保持的基板PB整體向Y軸方向的前方移動。在此，如圖14所示，控制器8在進行上述基板PB的位置識別的期間內(或者進行基板PB的位置識別之前)，使2個粘貼單元5分別移動到基板保持移動臺4所保持的基板 PB的膠帶粘貼位置的上方(步驟ST6)。然后，若步驟ST5的基板PB向作業位置的定位結束，則按照在上下方向之間夾持被定位在該作業位置上的基板PB的側緣部的膠帶粘貼位置的方式，使2個支撐臺51移動到與2個粘貼單元5的每一個在上下方向對置的位置，相對于2個支撐臺51，使由基板保持移動臺4的基板保持部4d所保持的基板PB在Z軸方向上相對移動，由2個支撐臺51來支撐基板PB的膠帶粘貼位置的下表面(步驟ST7)。由此，2個粘貼單元5與2個支撐臺51， 各自上下對置的部分彼此成為一組，成為被配置為在上下方向夾持基板PB的膠帶粘貼位置的狀態。此時，之后要粘貼的膠帶部件T的導電膠帶ACF成為位于各粘貼單元5的粘貼作業區域ra內的狀態(參照圖5)。另外，上述一組的1個粘貼單元5與1個支撐臺51構成為能夠相互獨立地沿著X軸方向移動。其中，2個支撐臺51對基板保持移動臺4的基板保持部4d所保持的基板PB的膠帶粘貼位置的下表面進行支撐的支撐動作，可以使保持著基板PB的基板保持部4d沿著Z 軸方向下降來進行。或者，也可以按照支撐基板PB的膠帶粘貼位置的下表面的方式，在支撐臺51上設置球形螺桿機構、線性電動機驅動機構或汽缸機構等上下移動單元(未圖示)， 使2個支撐臺51上升來進行。再有，在該膠帶粘貼裝置1中，2個支撐臺51與2個粘貼單元5可以互相分別獨立地在沿著基板PB的側緣部的方向、即X軸方向上自由移動，因此在利用2個基板標記攝像照相機M進行基板定位標記M的拍攝(即基板PB的位置識別)的期間(參照圖14)，可以使具有膠帶部件T的供給卷筒32或卷繞卷筒33或膠帶輸送路徑單元的2個粘貼單元5，各自以獨立的動作，與2個支撐臺51的X軸方向的移動獨立地先移動到壓接頭21的X軸方向的移動軌道L上的膠帶粘貼位置處，通過該粘貼單元5的壓接頭21可以將導電膠帶ACF 粘貼到基板PB的側緣部的電極DT上。由此，可以抑制伴隨與支撐臺51相比大尺寸的2個粘貼單元5的定位移動帶來的殘留振動的影響，在完成基板PB向X軸方向的移動軌道L的位置的定位以及完成2個支撐臺51夾持基板PB上的膠帶粘貼位置而向與壓接頭21在上下方向對置的位置的定位之后，馬上進行由壓接頭21粘貼導電膠帶ACF的粘貼動作(參照圖4)。還有，在此如圖14所示，因為高精度地進行基板PB的定位修正，所以希望所拍攝的基板標記M盡可能地位于基板PB的兩側。利用在X軸方向上能移動的支撐臺51所具備的基板標記攝像照相機M對位于基板PB兩端側的基板標記M進行了拍攝并進行了位置識別之后，按照2個支撐臺51夾持基板PB上的膠帶粘貼位置且成為與2個粘貼單元5各自的壓接頭21在上下方向對置的位置的方式，使2個支撐臺51與2個粘貼單元5分別獨立地移動。在該移動之際，因為粘貼單元5在Y軸方向的同軸上并設配置供給卷筒32與卷繞卷筒33，所以在X軸方向上排列了 2個粘貼單元5的狀態下，難以在基板PB的相鄰的2個膠帶粘貼位置上同時粘貼導電膠帶ACF，其中該粘貼單元具有供給卷筒32或卷繞卷筒33中直徑較大的一方的卷筒的直徑以上的寬度尺寸。因此，從基板PB的兩端側向基板PB的側緣部的X軸方向中央，并不是使2個粘貼單元5向互相接近的方向移動且在側緣部的膠帶粘貼位置粘貼導電膠帶ACF，而是針對導電膠帶ACF順次地進行以下動作例如使圖示X軸方向左側的粘貼單元5按照在位于基板 PB的X軸方向左側的端部的膠帶粘貼位置上粘貼導電膠帶ACF的方式移動，使圖示X軸方向右側的粘貼單元5按照在比基板PB的側緣部的X軸方向中央側更靠右側的膠帶粘貼位置上粘貼導電膠帶ACF的方式移動。而且，優選按照2個粘貼單元不互相干涉的方式使2 個粘貼單元5向X軸方向右側移動，在多個膠帶粘貼位置上同時粘貼導電膠帶ACF的粘貼方法。另外，在上述粘貼方法中，雖然使2個粘貼單元5中、圖示X軸方向左側的粘貼單元5位于基板PB的X軸方向左側的端部，使圖示X軸方向右側的粘貼單元5比基板PB的側緣部的X軸方向的中央側更靠近右側，順次向X軸方向右側移動，以便在多個膠帶粘貼位置同時粘貼導電ACF，但是也可以是相反的位置及方向。在將導電膠帶ACF同時粘貼到多個膠帶粘貼位置上時，只要2個粘貼單元5不互相干涉即可。控制器8在使2個支撐臺51分別移動到與基板PB上的膠帶粘貼位置對應的X軸方向的移動軌道L的位置上時，如圖15所示，使基板保持移動臺4的保持著基板PB的基板保持部4d下降，按照由支撐臺51的平坦面支撐設有電極DT的基板PB的側緣部的下表面的方式進行工作。與此同時，控制器8使各粘貼單元5的壓接頭21工作，由被加熱器21d 加熱的壓接頭21的按壓體21c將膠帶部件T按壓到由支撐臺51支撐著基板PB的側緣部下表面的基板PB側緣部的電極DT之上的膠帶粘貼位置，并將導電膠帶ACF粘貼到基板PB 的電極DT上(步驟ST8)。控制器8在由粘貼單元5的壓接頭21將膠帶部件T的導電膠帶ACF粘貼到基板 PB上的膠帶粘貼位置之后，使壓接頭21的按壓體21c上升，從已經被粘貼到膠帶粘貼位置上的導電膠帶ACF剝離膠帶部件(隔離物SP單體)T，使粘貼單元5自基板PB離開。然后， 控制器8通過使2個粘貼單元5與支撐著設有電極DT的基板PB的側緣部下表面的支撐臺 51在X軸方向上的移動獨立地分別移動，從而可以使各粘貼單元5所具備的膠帶攝像照相機23移動到通過該粘貼單元5的壓接頭21已經粘貼到基板PB的側緣部上的導電膠帶ACF 的正上方。然后，由各膠帶攝像照相機23進行導電膠帶ACF的拍攝，進行該導電膠帶ACF 的粘貼狀態的檢查(步驟ST9)。再有，控制器8與該步驟ST8并行地進行接下來的導電膠帶ACF的粘貼準備，因此在各粘貼單元5中按照使膠帶部件T位于下一膠帶粘貼位置的方式向壓接頭21的粘貼作業區域I5R進行規定量輸送的動作(步驟ST10)。在步驟ST9中，控制器8在進行了由各粘貼單元5粘貼后的導電膠帶ACF的粘貼狀態的檢查后，接著進行導電膠帶ACF的粘貼狀態是否良好的判斷(步驟ST11)，結果在確
1認了導電膠帶ACF的掀開或破損等而判斷為導電膠帶ACF的粘貼狀態不良的情況下，向操作人員OP通知錯誤(步驟ST12)，并且使粘貼單元5的動作停止(步驟ST13)。另一方面， 在步驟STll中判斷為導電膠帶ACF的粘貼狀態良好時，判斷當前正在進行導電膠帶ACF的粘貼作業的基板PB中的全部膠帶粘貼位置上是否粘貼完導電膠帶ACF (步驟ST14)。在步驟ST14中，當并未在所有膠帶粘貼位置上粘貼完導電膠帶ACF的情況下返回步驟ST7，針對還未進行導電膠帶ACF的粘貼的膠帶粘貼位置，進行導電膠帶ACF的粘貼作業，因此進行使2個粘貼單元5以及2個支撐臺51分別向與新的膠帶粘貼位置對應的位置處移動的動作。例如，如圖4所示，作為膠帶粘貼位置的電極DT在基板PB的長邊上有6 處，在短邊上有4處，由2個粘貼單元5同時一個一個地粘貼導電膠帶ACF的動作重復進行 5次(針對長邊進行3次，針對短邊進行2次)，由此從步驟ST14返回到步驟ST7的循環重復進行5次。另外，通過使基板保持移動臺4的基板保持部4d旋轉90度來進行針對基板 PB長邊的導電膠帶的粘貼作業以及針對基板PB短邊的導電膠帶ACF的粘貼作業的切換時的基板PB的定位。另一方面，在步驟ST14中，控制器8在該基板PB中的所有膠帶粘貼位置上都粘貼完導電膠帶ACF的情況下，使上述的基板搬運裝置(未圖示)工作，將基板保持移動臺4上的基板PB搬出到膠帶粘貼裝置1的外部(步驟ST15)。在本實施方式的膠帶粘貼裝置1中，通過重復上述工序，從而在多個基板PB的多個膠帶粘貼位置上粘貼導電膠帶ACF，但是在從供給卷筒32供給膠帶部件T之后需要更換供給卷筒32及卷繞卷筒33時，操作人員OP從驅動單元部6的臺架11取下以可裝卸的方式與該臺架11并列安裝且被單元化的膠帶供給單元部7，將以脫機的方式對膠帶供給單元部7更換了供給卷筒32與卷繞卷筒33的新的膠帶供給單元部7安裝到驅動單元部6的臺架11上。如以上所說明的，本實施方式的膠帶粘貼裝置1包括基板保持移動臺4，其保持基板PB ；臺架11，其能相對于由基板保持移動臺4所保持的基板PB相對地移動；底座31，其以能裝卸的方式安裝在臺架11上；供給卷筒32，其被安裝在底座31，供給在導電膠帶ACF 上層疊了隔離物SP而成的膠帶部件T ；壓接頭21，其被安裝在臺架11，將由供給卷筒32供給的膠帶部件T按壓在由基板保持移動臺4保持著的基板PB上，粘貼導電膠帶ACF ；以及卷繞卷筒33，其與供給卷筒32同軸地安裝在底座31上，對由壓接頭21將導電膠帶ACF粘貼到基板PB之后的膠帶部件T進行卷繞。再有，該膠帶粘貼裝置1還包括粘貼單元5，其向在基板PB的側緣部的膠帶粘貼位置粘貼被層疊在膠帶部件T上的導電膠帶ACF，粘貼單元5具備供給卷筒32，其供給在導電膠帶ACF上層疊有隔離物SP而成的膠帶部件T ；壓接頭21，其將由供給卷筒32供給的膠帶部件T按壓在由作為支撐基板PB的側緣部的下表面的下支撐部的支撐臺51支撐的側緣部的膠帶粘貼位置上，以在基板PB上粘貼導電膠帶ACF ；以及卷繞卷筒33，其對由壓接頭 21將導電膠帶ACF粘貼到基板PB之后的膠帶部件T進行卷繞，膠帶部件T的供給卷筒32 與卷繞卷筒33以同軸的方式安裝在粘貼單元5上。在本實施方式的膠帶粘貼裝置1中，因為在膠帶粘貼裝置1的粘貼單元5，以在同軸上并列的方式安裝供給卷筒32與卷繞卷筒33并緊湊地進行配置，所以通過增長膠帶部件T的所卷繞的膠帶長度，從而即使兩卷筒32、33的直徑變大，與在實質的平面上并列配置供給卷筒32與卷繞卷筒33的情況相比，裝置整體也不會大型化。由此，通過使膠帶部件T 的膠帶長度增大，增長卷筒32、33的更換間隔，減少更換次數，從而可以實現作業效率的提高。再有，如本實施方式那樣，即使在采用了在橫向(X軸方向)上排列多個由供給卷筒32 與卷繞卷筒33組成的套組(相當于粘貼單元幻的布局的情況下，也可以抑制膠帶粘貼裝置1整體的X軸方向的尺寸增大(尤其是抑制設備線長)。進而，因為供給卷筒32與卷繞卷筒33被設置在相對于驅動單元部6臺架11能夠裝卸的底座31上，且被單元化并作為膠帶供給單元部7，所以可以以預先脫機或者更換時脫機的方式，容易地進行自膠帶粘貼裝置1內(聯機)的驅動單元部6的臺架11取下的膠帶供給單元部7的兩卷筒32、33的更換。再有，因為僅通過使在底座31上安裝了更換后的膠帶部件T的供給卷筒32與卷繞卷筒33的膠帶供給單元部7相對于驅動單元部6的臺架 11進行安裝拆卸，可以使更換作業簡化，且可以大幅度縮短用于進行更換的生產中斷時間， 可以進一步提高作業效率。還有，在驅動單元部6的臺架11上設置有驅動供給卷筒32的供給卷筒驅動電動機12 (供給卷筒驅動單元)；和驅動卷繞卷筒33的卷繞卷筒驅動電動機13 (卷繞卷筒驅動單元)。因此，在用于更換兩卷筒32、33的、具備兩卷筒32、33的膠帶供給單元部7的更換過程中，因為只要更換除了該驅動單元(供給卷筒驅動單元12以及卷繞卷筒驅動單元13) 以外的部分即可，所以可以使得針對驅動單元部6進行更換的卡匣(cassette)結構的膠帶供給單元更加輕便。再有，在本實施方式的膠帶粘貼裝置1中，因為具備作為輥部件的第一清洗輥 37a，所以可以始終準確地控制膠帶部件T的輸送量，其中該第一清洗輥37a與由壓接頭21 將導電膠帶ACF粘貼到基板PB之后僅剩下隔離物SP的膠帶部件T接觸，以除去殘存于隔離物SP上的粘接劑的渣滓K。還有，本實施方式的膠帶粘貼裝置1包括基板保持移動臺4，其保持基板PB并使基板PB在水平面內移動；作為下支撐部的支撐臺51，其被設置為相對于基板保持移動臺4 能夠在水平面內移動，支撐由基板保持移動臺4保持的基板PB的側緣部的膠帶粘貼位置的下表面；基板標記攝像照相機M，其設于支撐臺51上，且從由基板保持移動臺4保持著的基板PB的下方對基板PB所具備的基板定位用的基板標記M進行拍攝；位置識別單元(控制器8)，其基于通過基板標記攝像照相機M的拍攝而得到的基板標記M的圖像，進行基板 PB的位置識別；基板定位單元(控制器8)，其基于位置識別單元對基板PB的位置識別結果，使基板保持移動臺4工作，進行基板PB向作業位置的定位；和粘貼單元5，其被設為能與支撐臺51獨立地在水平面內方向上移動并被定位在作業位置上，且從由支撐臺51支撐著膠帶粘貼位置的下表面的基板PB的膠帶粘貼位置的上方將各向異性導電膠帶ACF按壓在基板PB上，并進行粘貼。其中，在本實施方式中設置有多個0個)具備基板標記攝像照相機討的支撐臺51。另外，本實施方式的膠帶粘貼方法，是具備以下部件的膠帶粘貼裝置1的膠帶粘貼方法基板保持移動臺4，其保持基板PB并使基板PB在水平面內移動；2個作為下支撐部的支撐臺51，被設置為相對于基板保持移動臺4能夠在水平面內移動，分別支撐由基板保持移動臺4保持著的基板PB的側緣部的多個膠帶粘貼位置的下表面；2個基板標記攝像照相機M，分別設于2個支撐臺51上，且在位于由基板保持移動臺4保持著的基板PB所具備
19的基板定位用的2個基板標記M的下方的狀態下，從基板PB的下方進行2個基板標記M的拍攝；2個粘貼單元5，被設為能與2個支撐臺51獨立地在水平面內方向上移動，根據基于通過2個基板標記攝像照相機M的拍攝而得到的2個基板標記M的圖像進行基板PB的位置識別的結果，被定位到在由基板保持移動臺4所保持著的即便PB的側緣部的多個膠帶粘貼位置上粘貼導電膠帶ACF的作業的位置、即作業位置，且將導電膠帶ACF按壓在由2個支撐臺51分別支撐著膠帶粘貼位置的下表面的基板PB的膠帶粘貼位置上，并進行粘貼。而且，在該膠帶粘貼方法中，包括使2個支撐臺51分別相對于由基板保持移動臺 4保持著的基板PB移動，由2個基板標記攝像照相機M從基板PB的下方對設于基板PB上的2個基板標記M進行拍攝，基于所獲得的圖像進行基板PB的位置識別的工序(步驟ST3 及步驟ST4)；基于基板PB的位置識別結果使基板保持移動臺4工作，進行基板PB向作業位置的定位的工序(步驟SI^)；在進行基板PB的位置識別的期間(或者進行基板PB的位置識別之前)內，使2個粘貼單元5分別向在作業位置粘貼導電膠帶ACF的、由基板保持移動臺4保持著的基板PB的膠帶粘貼位置的上方移動的工序(步驟ST6)；按照成為與2個粘貼單元5在上下方向夾持被定位到作業位置的基板PB的側緣部的2個膠帶粘貼位置的位置的方式使2個支撐臺51移動，由2個支撐臺51支撐基板PB的膠帶粘貼位置的下表面的工序(步驟ST7)；由2個膠帶粘貼單元5將導電膠帶ACF粘貼到由2個支撐臺51支撐著膠帶粘貼位置的下表面的基板PB的2個粘貼位置上的工序(ST8)。而且，在本實施方式中，在步驟ST8之后，還執行由2個粘貼單元5各自所具備的膠帶攝像照相機23 (粘貼狀態檢查單元)進行導電膠帶ACF向基板PB的粘貼狀態的檢查的工序(步驟ST9)。在本實施方式的膠帶粘貼裝置1中，因為對設于基板PB上的基板標記M進行拍攝的基板標記攝像照相機M被安裝在設為能與粘貼單元5相互獨立地移動的支撐臺51上， 所以對基板標記M進行拍攝之際的基板標記攝像照相機M的移動僅為并未伴隨與作為下支撐部的支撐臺51相比尺寸較大的粘貼單元5的移動的、支撐臺51的移動。粘貼單元5不僅具有比支撐臺51大的尺寸，還因為保持膠帶部件T，所以不優選比較高速地移動。根據這個觀點，也可以使支撐臺51及基板標記攝像照相機M比粘貼單元5更高速地移動。因此， 在進行基板PB的位置識別之前或者進行基板PB的位置識別的期間內，可以使2個粘貼單元5分別向在作業位置粘貼導電膠帶ACF的由基板保持移動臺4保持著的基板PB的膠帶粘貼位置的上方移動，在進行了基板PB的位置識別之后，可以迅速地進行對基板標記M進行拍攝的基板標記攝像照相機M的移動，可以縮短基板PB的定位所需的時間，可以提高作業效率。尤其是在本實施方式的膠帶粘貼裝置1中，因為設有多個0個)具備基板標記攝像照相機M的支撐臺51，所以可以同時對設于基板PB兩端的2個基板標記M進行拍攝，可以在極短的時間內進行基板PB的定位。到此為止雖然對本發明的實施方式進行了說明，但是本發明并未限于上述實施方式所示出的內容。例如，在上述實施方式中，粘貼單元5為2個，但是粘貼單元5并未限于2 個，既可以是1個，也可以是3個以上。再有，粘貼單元5中的膠帶部件T的架設方法只是一例而已，并未限于上述內容。膠帶粘貼裝置1例如在采取僅具備1個粘貼單元5的裝置構成的情況下，考慮使多臺這種構成的膠帶粘貼裝置1相鄰配置且同時對多張基板進行導電膠帶的粘貼作業的情形。即使在這種裝置構成中，也不會使得每個裝置大型化，使膠帶長度增大且謀求作業效率的提高的事實是不會改變的。另外，通過適當地組合上述各種實施方式中的任意實施方式，從而可以達到各自所具有的效果。本發明雖然參照附圖對優選的實施方式進行了充分的記載，但對于熟悉該技術的技術人員而言，各種變形或修正是清楚的。應該理解為這種變形或修正只要未超出基于所付的權利要求書記載的本發明的范圍，便包含于其中。將2009年7月3日提出申請的日本特許申請No. 2009-158706號的說明書、附圖及權利要求書的公開內容以及2009年7月3日提出申請的日本特許申請No. 2009-158707 號的說明書、附圖及權利要求書的公開內容作為整體來參考并納入到本說明書中。工業上的可利用性提供一種不會使裝置整體大型化且可以使膠帶長度增大并實現作業的效率化的膠帶粘貼裝置。另外，提供一種可以縮短基板的定位所需的時間且實現作業效率的提高的膠帶粘貼裝置及膠帶粘貼方法。
權利要求
1.一種膠帶粘貼裝置，其包括 基板保持臺，其保持基板；粘貼單元，其將層疊在膠帶部件上的各向異性導電膠帶粘貼到基板的側緣部的膠帶粘貼位置上；和粘貼單元移動裝置，其使粘貼單元相對于由基板保持臺保持著的基板相對地移動， 粘貼單元具備供給卷筒，其供給在各向異性導電膠帶上層疊隔離物而成的膠帶部件； 壓接頭，其將由供給卷筒供給的膠帶部件按壓在由基板保持臺所保持的基板的側緣部的膠帶粘貼位置，將各向異性導電膠帶粘貼到所述膠帶粘貼位置；和卷繞卷筒，其對由壓接頭在基板上粘貼了各向異性導電膠帶之后的膠帶部件進行卷繞，在粘貼單元中，供給卷筒與卷繞卷筒被安裝在同一軸上。
2.根據權利要求1所述的膠帶粘貼裝置，其中， 該膠帶粘貼裝置具備多個粘貼單元，每個粘貼單元具備臺架，其安裝有壓接頭，并且以能夠相對于由基板保持臺保持著的基板相對地移動的方式被安裝在粘貼單元移動裝置上；和底座，其以同軸的方式安裝供給卷筒與卷繞卷筒，并且以能夠裝卸的方式被安裝在臺1 ο
3.根據權利要求1所述的膠帶粘貼裝置，其中， 粘貼單元還包括卷繞卷筒驅動裝置，其具有被配置在供給卷筒及卷繞卷筒的所述同一軸上并且與卷繞卷筒連接的第一旋轉軸、和對第一旋轉軸進行旋轉驅動的卷繞卷筒用驅動電動機；和供給卷筒驅動裝置，其具有在第一旋轉軸的外周側與第一旋轉軸配置在同一軸上并且與供給卷筒連接的中空狀的第二旋轉軸、和對第二旋轉軸進行旋轉驅動的供給卷筒用驅動電動機。
4.根據權利要求2所述的膠帶粘貼裝置，其中， 每個粘貼單元還包括卷繞卷筒驅動裝置，其具有被配置在供給卷筒及卷繞卷筒的所述同一軸上并且與卷繞卷筒連接的第一旋轉軸、和對第一旋轉軸進行旋轉驅動的卷繞卷筒用驅動電動機；和供給卷筒驅動裝置，其具有在第一旋轉軸的外周側與第一旋轉軸配置在同一軸上并且與供給卷筒連接的中空狀的第二旋轉軸、和對第二旋轉軸進行旋轉驅動的供給卷筒用驅動電動機。
5.根據權利要求4所述的膠帶粘貼裝置，其中，供給卷筒用驅動電動機及卷繞卷筒用驅動電動機被安裝在臺架上， 在底座上安裝于同一軸上的供給卷筒及卷繞卷筒中，將供給卷筒安裝得比卷繞卷筒更靠近臺架側。
6.根據權利要求1 5中任一項所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置還包括輥部件，其與通過壓接頭將各向異性導電膠帶粘貼到基板上而僅剩隔離物的膠帶部件接觸，以除去隔離物上殘存的粘接劑的渣滓。
7.根據權利要求2所述的膠帶粘貼裝置，其中， 該膠帶粘貼裝置還包括多個下支撐部，其設置為能夠相對于基板保持臺而在水平面內移動，支撐由基板保持臺所保持著的基板的側緣部的膠帶粘貼位置的下表面；多個照相機，其被設于每個下支撐部上，從基板保持臺所保持著的基板的下方對基板所具有的基板定位用的基板標記進行拍攝；位置識別裝置，其基于通過每個照相機的拍攝而得到的基板標記的圖像，進行基板的位置識別；和定位裝置，其基于位置識別裝置對基板的位置識別結果，使基板保持臺動作，進行基板向作業位置的定位，粘貼單元移動裝置使每個粘貼單元能夠與每個下支撐部獨立地在水平面內方向上移動，被定位在各作業位置上的狀態下的每個粘貼單元從膠帶粘貼位置的上方，對被定位在各作業位置且由每個下支撐部支撐著膠帶粘貼位置的下表面的狀態下的基板，按壓并粘貼各向異性導電膠帶。
8.根據權利要求7所述的膠帶粘貼裝置，其中，該膠帶粘貼裝置還包括粘貼狀態檢查裝置，其被設置于每個粘貼單元，進行各向異性導電膠帶向基板的粘貼狀態的檢查。
全文摘要
本發明提供一種膠帶粘貼裝置，其中在被安裝于框架中的臺架上，以能夠拆卸的方式安裝底座，在底座上設有供給卷筒，其供給各向異性導電膠帶與隔離物層疊而成的膠帶部件；和卷繞卷筒，其與供給卷筒安裝在同一軸上，對由被安裝在臺架上的壓接頭將各向異性導電膠帶壓接到基板上之后的膠帶部件進行卷繞。
文檔編號H05K3/32GK102473654SQ201080028230
公開日2012年5月23日 申請日期2010年7月2日 優先權日2009年7月3日
發明者小田原廣造, 藤原啟二 申請人:松下電器產業株式會社