專利名稱:一種高純度三氯氧磷液位差儲運供料裝置的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種劇毒危險品高純度三氯氧磷的儲運供料裝置。
背景技術:
高純度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生產制造光纖預制棒的主要原材料之一,也是集成電路、太陽能電池、電子元器件生產過程的擴散、摻雜工藝中的主要原料,被廣泛運用于光伏、IC產業。但其屬于強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應的無色透明化學品。目前對高純度三氯氧磷的儲運供料一種是使用高純石英容器(0. 4 1. 5L)盛裝,進出高純氮氣管采用PFA閥門密封、連接,作為運輸和使用容器,其缺點是玻璃容器易碎、換瓶頻繁、操作危險、泄漏風險高、人力成本高、物流成本高;另一種是使用19L不銹鋼 SS316L儲罐,其缺點是操作煩瑣、裝置結構復雜、工作壓力高、裝置自身成本高、維護成本高 (需專業維護人員),且不能徹底杜絕金屬雜質對物料的污染。
發明內容本實用新型的目的是提供一種結構簡單、安全可靠、無泄漏、無污染、使用方便,運行成本低的高純度三氯氧磷液位差儲運供料裝置。本實用新型的目的是這樣實現的高純三氯氧磷容器上有氮氣入口閥、進料口閥門和出料口閥門,高純三氯氧磷容器通過出料口閥門和鼓泡器進料閥連接帶超聲波液位控制器的石英鼓泡器,石英鼓泡器連接擴散爐。石英鼓泡器上有高純氮氣鼓泡閥。高純三氯氧磷容器上的氮氣入口閥通過單向閥連接氮氣減壓閥。由于本實用新型采用了上述結構,減少了操作的勞動強度,節約人力成本;增加了操作的安全性,同時減少了物料污染的幾率;增強了操作系統的連續性,簡化了操作的難易度;極大地減少了顧客的購置和維護成本;全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質溶出風險;極大地減少了生產和物流成本,因此,受到三氯氧磷使用廠家的廣泛歡迎。
圖1為本實用新型第一實施例的結構圖。圖中1高純三氯氧磷容器、2進料口閥門、3氮氣入口閥、4單向閥、5氮氣減壓閥、 6出料口閥門、7鼓泡器進料閥、8超聲波液位控制器、9擴散爐、10高純氮氣鼓泡閥、11石英鼓泡器。
具體實施方式
實施例高純三氯氧磷容器1上有氮氣入口閥3、進料口閥門2和出料口閥門6,高純三氯氧磷容器1通過出料口閥門6和鼓泡器進料閥7連接帶超聲波液位控制器8的石英鼓泡器11,石英鼓泡器11連接擴散爐9,石英鼓泡器11上有高純氮氣鼓泡閥10,高純三氯氧磷容器1上的氮氣入口 3閥通過單向閥4連接氮氣減壓閥5。 高純三氯氧磷容器1材質為進口高純PFA,容積為20L-200L,在生產廠家完成灌裝并安全運送到使用廠家,高純氮氣通過氮氣減壓閥5連接單向閥4,單向閥4通過氮氣入口閥3連接高純三氯氧磷容器1,高純三氯氧磷容器1上的出料口閥門6連接鼓泡器進料閥 7,鼓泡器進料閥7連接石英鼓泡器11石英鼓泡器11連接擴散爐9。石英鼓泡器11上有高純氮氣鼓泡閥10、超聲波液位控制器8。高純三氯氧磷容器1上有進料口閥門2、氮氣入口閥3。 該裝置的所有管件、閥門均由高純PFA制成。該裝置由由高液位的高純三氯氧磷容器1通過液位差提供輸送動力,物料由出料口閥門6經石英鼓泡器進料閥7安全地流入石英鼓泡器中11,石英鼓泡器11上的超聲波液位控制器8,控制液體物料的高低液位,當物料到達設定高度時,對應的超聲波液位控制器8自動鳴叫報警。使用時,調節氮氣減壓閥5 合適壓力,依次打開氮氣入口閥3、出料口閥門6、鼓泡器進料閥7,物料緩慢進入石英鼓泡器,當物料達到設定液位高度時,超聲波液位控制器8發出鳴叫,依次關閉鼓泡器進料閥7、 出料口閥門6、氮氣入口閥3,打開高純氮氣鼓泡閥10高純氮氣鼓泡將物料帶入擴散爐9,完成加料過程。
權利要求1.一種高純度三氯氧磷液位差儲運供料裝置,其特征是高純三氯氧磷容器上有氮氣入口閥、進料口閥門和出料口閥門,高純三氯氧磷容器通過出料口閥門和鼓泡器進料閥連接帶超聲波液位控制器的石英鼓泡器,石英鼓泡器連接擴散爐。
2.根據權利要求1所述的一種高純度三氯氧磷液位差儲運供料裝置,其特征是石英鼓泡器上有高純氮氣鼓泡閥。
3.根據權利要求1所述的一種高純度三氯氧磷液位差儲運供料裝置,其特征是高純三氯氧磷容器上的氮氣入口閥通過單向閥連接氮氣減壓閥。
專利摘要一種高純度三氯氧磷液位差儲運供料裝置,高純三氯氧磷容器上有氮氣入口閥、進料口閥門和出料口閥門,高純三氯氧磷容器通過出料口閥門和鼓泡器進料閥連接帶超聲波液位控制器的石英鼓泡器,石英鼓泡器連接擴散爐,石英鼓泡器上有高純氮氣鼓泡閥,高純三氯氧磷容器上的氮氣入口閥通過單向閥連接氮氣減壓閥。由于本實用新型采用了上述結構,減少了操作的勞動強度,節約人力成本;增加了操作的安全性,同時減少了物料污染的幾率;增強了操作系統的連續性,簡化了操作的難易度;極大地減少了顧客的購置和維護成本;全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質溶出風險;極大地減少了生產和物流成本,因此,受到三氯氧磷使用廠家的廣泛歡迎。
文檔編號C30B31/16GK201952526SQ20102069919
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月31日 優先權日2010年12月31日
發明者向東, 姜盛君, 舒驍驥 申請人:向東