專利名稱：槽蓋的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體清洗技術領域，特別涉及一種槽蓋。
背景技術：
在硅片清洗行業中，一般是通過強酸或強堿作為清洗液，在清洗過程中，不可避免的會產生一些有毒有害的氣體，為了防止這些氣體的外溢，清洗槽一般設有槽蓋，但現有技術中的槽蓋，在開啟和關閉過程中會占用較大的空間，造成空間的浪費。
實用新型內容(一)要解決的技術問題本實用新型要解決的技術問題是如何提供一種占用空間小的清洗槽蓋。( 二 )技術方案為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種槽蓋，安裝在槽體上，包括蓋板、連接框架、固定板和豎直活動裝置，所述連接框架設置在所述槽體外周，并與所述蓋板通過鉸鏈連接，所述固定板固定于所述槽體外，所述豎直活動裝置安裝在所述固定板上，與所述連接框架連接，能夠帶動所述連接框架在所述槽體側面沿豎直方向運動。其中，所述豎直活動裝置為帶有滑塊的無桿氣缸，所述無桿氣缸豎直安裝在所述固定板上，所述連接框架與所述滑塊連接。其中，所述豎置活動裝置還包括導向軸，所述導向軸安裝在所述固定板上。其中，所述無桿氣缸的上下兩側分別裝有調程螺桿。其中，所述調程螺桿設有液壓緩沖器。其中，還包括兩個帶有導向槽的導向塊和兩個軸支座，所述蓋板為一個，，所述兩個軸支座分別固定在所述槽體同一側面的上部邊緣，所述兩個導向塊分別通過轉軸安裝在所述兩個軸支座上，所述蓋板能夠滑動地插入所述兩個導向塊的導向槽中。其中，還包括兩個帶有導向槽的第一導向塊、兩個帶有導向槽的第二導向塊和四個軸支座，所述蓋板為兩個，所述四個軸支座兩兩分別固定在所述槽體相對的兩個側面的上部邊緣，所述兩個第一導向塊和兩個第二導向塊上分別通過轉軸安裝在所述四個軸支座上，第一蓋板能夠滑動地插入所述兩個第一導向塊的導向槽中，第二蓋板能夠滑動地插入所述兩個第二導向塊的導向槽中。其中，所述槽體還設有繞其外周設置的加強筋，所述軸支座均固定在所述加強筋上。(三)有益效果本實用新型通過連接框架與所述槽蓋通過鉸鏈連接，豎直活動裝置安裝在固定板上并與連接框架連接，在槽蓋開啟和關閉過程中占用空間較小，節約了一定空間。
圖1是依照本實用新型一種實施例的槽蓋的結構示意圖；[0017]圖2是圖1所示槽蓋中導向塊的放大示意圖；圖3是圖1所示槽蓋關閉時的結構示意圖；圖4是依照本實用新型另一種實施例的槽蓋的結構示意圖；圖5是圖3所示槽蓋關閉時的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。圖1是依照本實用新型一種實施方式的槽蓋的結構示意圖，槽蓋安裝在槽體9上， 所述槽蓋包括蓋板、連接框架5、固定板12和豎直活動裝置，連接框架5設置在槽體9外周，并與蓋板通過鉸鏈4連接，固定板12固定于槽體9外，豎直活動裝置安裝在固定板12 上，與連接框架5連接，能夠帶動連接框架5在槽體9側面沿豎直方向運動。所述豎置活動裝置，可以由電機、鏈輪、節鏈環和齒輪組成，優選地，所述豎直活動裝置為帶有滑塊13的無桿氣缸7，無桿氣缸7豎直安裝在固定板12上，可與電磁閥連接，通過電磁閥控制無桿氣缸7的運行方向及開關狀態，連接框架5與滑塊13連接。為使無桿氣缸7的運行更加穩定，優選地，所述豎置活動裝置還包括沿豎直方向延伸安裝在固定板12上的導向軸6，連接框架5與導向軸6活動式連接，使連接框架5可沿導向軸6移動。為使連接框架5可在合適的位置活動，優選地，無桿氣缸7的上下兩側分別裝有調程螺桿8。為使無桿氣缸7減小損壞，調程螺桿8上設有液壓緩沖器。優選地，槽體9還設有繞其外周設置的加強筋10，軸支座1均固定在加強筋10上。實施例1如圖1所示，所述槽蓋還包括兩個帶有導向槽16的導向塊2和兩個軸支座1，所述蓋板為一個，兩個軸支座1分別固定在槽體9同一側面的上部邊緣，兩個導向塊2分別通過轉軸安裝在兩個軸支座1上，蓋板3能夠滑動地插入兩個導向塊2的導向槽16中。上述槽蓋的工作原理為當需要關閉槽蓋時，所述豎直活動裝置帶動連接框架5 在槽體9側面沿豎直向上方向運動，連接框架5通過鉸鏈4推動蓋板3沿兩個導向塊2的導向槽16向上移動，由于重力的關系，蓋板3在上升到一定的高度時，兩個導向塊2會繞轉軸進行轉動，直至如圖3所示，蓋板3完全蓋住槽體9的上端。當需要打開槽蓋時，所示豎直活動裝置帶動連接框架5在槽體9側面沿豎直向下方向運動，連接框架5通過鉸鏈4拉動蓋板3，直至如圖1所示，蓋板3處于豎直狀態。實施例2如圖4所示，所述槽蓋還包括兩個帶有導向槽16的第一導向塊2-1、兩個帶有導向槽16的第二導向塊2-2和四個軸支座1，所述蓋板為兩個，四個軸支座1兩兩分別固定在槽體9相對的兩個側面的上部邊緣，兩個第一導向塊2-1和兩個第二導向塊2-2上分別通過轉軸安裝在四個軸支座1上，第一蓋板3-1能夠滑動地插入兩個第一導向塊2-1的導向槽16中，第二蓋板3-2能夠滑動地插入兩個第二導向塊2-2的導向槽16中，第一蓋板和第二蓋板完全相同。上述清洗槽的工作原理為當需要關閉槽蓋時，所述豎直活動裝置帶動連接框架 5在槽體9側面沿豎直向上方向運動，連接框架5通過鉸鏈4推動第一蓋板3-1和第二蓋板3-2沿兩個第一導向塊2-1和兩個第二導向塊2-2的導向槽16中向上移動，由于重力的關系，第一蓋板3-1和第二蓋板3-2在上升到一定的高度時，兩個第一導向塊2-1和兩個第二導向塊2-2會繞轉軸進行轉動，直至如圖5所示，第一蓋板3-1和第二蓋板3-2相配合完全蓋住槽體9的上端。當需要打開槽蓋時，所示豎直活動裝置帶動連接框架5在槽體9側面沿豎直向下方向運動，連接框架5通過鉸鏈4拉動第一蓋板3-1和第二蓋板3-2，直至如圖 3所示，第一蓋板3-1和第二蓋板3-2處于豎直狀態。 以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本實用新型的范疇，本實用新型的專利保護范圍應由權利要求限定。
權利要求1.一種槽蓋，安裝在槽體(9)上，其特征在于，包括蓋板、連接框架(5)、固定板(12) 和豎直活動裝置，所述連接框架( 設置在所述槽體(9)外周，并與所述蓋板通過鉸鏈(4) 連接，所述固定板(1 固定于所述槽體(9)外，所述豎直活動裝置安裝在所述固定板(12) 上，與所述連接框架( 連接，能夠帶動所述連接框架( 在所述槽體(9)側面沿豎直方向運動。
2.如權利要求1所述的槽蓋，其特征在于，所述豎直活動裝置為帶有滑塊(1 的無桿氣缸(7)，所述無桿氣缸(7)豎直安裝在所述固定板(1 上，所述連接框架( 與所述滑塊 (13)連接。
3.如權利要求2所述的槽蓋，其特征在于，所述豎置活動裝置還包括導向軸(6)，所述導向軸(6)沿豎直方向延伸安裝在所述固定板(1 上，所述連接框架( 能夠沿所述導向軸(6)在所述槽體(9)側面運動。
4.如權利要求2所述的槽蓋，其特征在于，所述無桿氣缸(7)的上下兩側分別裝有調程螺桿⑶。
5.如權利要求4所述的槽蓋，其特征在于，所述調程螺桿(8)上設有液壓緩沖器。
6.如權利要求1所述的槽蓋，其特征在于，還包括兩個帶有導向槽(16)的導向塊(2) 和兩個軸支座(1)，所述兩個軸支座(1)分別固定在所述槽體(9)同一側面的上部邊緣，所述兩個導向塊( 分別通過轉軸安裝在所述兩個軸支座(1)上，所述蓋板能夠滑動地插入所述兩個導向塊O)的導向槽(16)中。
7.如權利要求1所述的槽蓋，其特征在于，還包括兩個帶有導向槽(16)的第一導向塊0-1)、兩個帶有導向槽(16)的第二導向塊(2- 和四個軸支座(1)，所述蓋板為兩個， 所述四個軸支座(1)兩兩分別固定在所述槽體(9)相對的兩個側面的上部邊緣，所述兩個第一導向塊和兩個第二導向塊(2- 上分別通過轉軸安裝在所述四個軸支座(1) 上，第一蓋板(3-1)能夠滑動地插入所述兩個第一導向塊的導向槽(16)中，第二蓋板(3- 能夠滑動地插入所述兩個第二導向塊0-2)的導向槽(16)中。
8.如權利要求6或7所述的槽蓋，其特征在于，所述槽體(9)還設有繞其外周設置的加強筋(10)，所述軸支座(1)均固定在所述加強筋(10)上。
專利摘要本實用新型公開了一種槽蓋，包括蓋板、連接框架(5)、固定板(12)和豎直活動裝置，所述連接框架(5)設置在所述槽體(9)外周，并與所述槽蓋通過鉸鏈(4)連接，所述固定板(12)固定于所述槽體(9)外，所述豎直活動裝置安裝在所述固定板(12)上，與所述連接框架(5)連接，能夠帶動所述連接框架(5)在所述槽體(9)側面沿豎直方向運動。本實用新型的槽蓋在開啟和關閉過程中占用空間較小，節約了一定空間。
文檔編號C30B33/10GK201956325SQ20102063223
公開日2011年8月31日 申請日期2010年11月24日 優先權日2010年11月24日
發明者于皓潔, 王晨 申請人:北京七星華創電子股份有限公司