專利名稱：用于籽晶傳動裝置的調節平臺的制作方法
技術領域：
本發明屬于真空設備技術領域，特別是涉及一種用于籽晶傳動裝置的調節平臺。 技術背景目前，公知的單晶爐設備在籽晶桿的精度調節功能上，在安裝時調整對中后，以后 基本不再調節，如若再調節既無法做到時時微調，也不能在工作狀態下作出調整，且操作也 不方便靈活。
發明內容針對上述存在的技術問題，解決籽晶軸的精度調節的問題，本發明提供一種用于 籽晶傳動裝置的調節平臺，它結構緊湊，操作方便。為了實現上述目的，本發明的技術方案如下本發明包括滑臺板、滑臺、滑臺座、固定支架、X軸調節機構、Y軸調節機構、第一滑 軌滑塊組件、第二滑軌滑塊組件及與滑臺連接的鎖緊機構，所述滑臺板、滑臺、滑臺座、固定 支架均帶有內孔，并依次套裝于籽晶軸上，滑臺座固定在固定支架上，在滑臺座和滑臺間、 滑臺和滑臺板間分別安裝有第一、第二滑軌滑塊組件，滑臺沿滑臺座、滑臺板沿滑臺分別相 對滑動，滑臺板與籽晶軸固定連接，在滑臺和滑臺板間的X軸方向上設有X軸調節機構，在 滑臺和滑臺座的Y軸方向上設有Y軸調節機構。所述的X軸調節機構包括第一微分頭和第一調節板，第一微分頭通過固定在滑臺 板上的第一調節板與滑臺端部連接。所述的Y軸調節機構包括第二微分頭和第二調節板， 第二微分頭通過固定在滑臺座上的第二調節板與滑臺端部連接。所述的鎖緊機構包括第 一、第二調節螺釘，第一調節螺釘通過滑臺座連接在滑臺上，第二調節螺釘通過滑臺板連接 在滑臺上。本發明的有益效果是本發明在籽晶軸的二維精度調節功能上，采用了雙導軌及滑塊，使其運動靈活，X 軸、Y軸調節機構采用微分頭調節，不但使其操作更加方便，且實現了微調、精調，使籽晶軸 的調節精度更佳。
圖1為本發明的結構示意圖。圖中1.籽晶軸，2.滑臺板，3.第一調節板，4.第一微分頭，5.滑臺，6.第一滑塊， 7.第一線性滑軌，8.滑臺座，9.固定支架，10.第一調節螺釘，11.第二調節板，12.第二滑 塊，13.第二調節螺釘，14.第二微分頭，15.第二線性滑軌。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細說明。[0012]實施例如圖1所示，本發明包括滑臺板2、滑臺5、滑臺座8、固定支架9、X軸調節 機構、Y軸調節機構、第一滑軌滑塊組件、第二滑軌滑塊組件及與滑臺5連接的鎖緊機構，所 述滑臺板2、滑臺5、滑臺座8、固定支架9均帶有內孔，并依次套裝于籽晶軸1上，滑臺座8 固定在固定支架9上，在滑臺座8和滑臺5間、滑臺5和滑臺板2間分別安裝有第一、第二 滑軌滑塊組件，即在滑臺座8和滑臺5同側分別安裝第一、第二線性滑軌7、15，與其相對 滑動的第一、第二滑塊6、12分別安裝在滑臺5和滑臺板2上，使滑臺5沿滑臺座8、滑臺板 2沿滑臺5分別相對滑動，滑臺板2與籽晶軸1固定連接，在滑臺5和滑臺板2間的X軸方 向上設有X軸調節機構，在滑臺5和滑臺座8的Y軸方向上設有Y軸調節機構。本例所述的X軸調節機構包括第一微分頭4和第一調節板3，第一微分頭4通過固 定在滑臺板2上的第一調節板3與滑臺5端部連接。所述的Y軸調節機構包括第二微分頭 14和第二調節板11，第二微分頭14通過固定在滑臺座8上的第二調節板11與滑臺5端部 連接。所述的鎖緊機構包括第一、第二調節螺釘10、13，第一調節螺釘10通過滑臺座8連接 在滑臺5上，第二調節螺釘13通過滑臺板2連接在滑臺5上。本發明的工作過程本發明通過調節第一調節板3處的第一微分頭4，可實現(本發明)機構X方向的 精度調節，通過調節第二調節板11處的第二微分頭14，可實現機構Y方向的精度調節；當 調節完成后，調節第一調節螺釘10和第二調節螺釘13鎖緊滑臺5，將滑臺5及滑臺板2鎖 死。
權利要求1.一種用于籽晶傳動裝置的調節平臺，其特征在于包括滑臺板、滑臺、滑臺座、固定 支架、X軸調節機構、Y軸調節機構、第一滑軌滑塊組件、第二滑軌滑塊組件及與滑臺連接的 鎖緊機構，所述滑臺板、滑臺、滑臺座、固定支架均帶有內孔，并依次套裝于籽晶軸上，滑臺 座固定在固定支架上，在滑臺座和滑臺間、滑臺和滑臺板間分別安裝有第一、第二滑軌滑塊 組件，滑臺沿滑臺座、滑臺板沿滑臺分別相對滑動，滑臺板與籽晶軸固定連接，在滑臺和滑 臺板間的X軸方向上設有X軸調節機構，在滑臺和滑臺座的Y軸方向上設有Y軸調節機構。
2.根據權利要求1所述的用于籽晶傳動裝置的調節平臺，其特征在于所述的X軸調 節機構包括第一微分頭和第一調節板，第一微分頭通過固定在滑臺板上的第一調節板與滑 臺端部連接。
3.根據權利要求1所述的用于籽晶傳動裝置的調節平臺，其特征在于所述的Y軸調 節機構包括第二微分頭和第二調節板，第二微分頭通過固定在滑臺座上的第二調節板與滑 臺端部連接。
4.根據權利要求1所述的用于籽晶傳動裝置的調節平臺，其特征在于所述的鎖緊機 構包括第一、第二調節螺釘，第一調節螺釘通過滑臺座連接在滑臺上，第二調節螺釘通過滑 臺板連接在滑臺上。
專利摘要一種用于籽晶傳動裝置的調節平臺，屬于真空設備技術領域。包括滑臺板、滑臺、滑臺座、固定支架、X軸調節機構、Y軸調節機構、第一滑軌滑塊組件、第二滑軌滑塊組件及與滑臺連接的鎖緊機構，所述滑臺板、滑臺、滑臺座、固定支架均帶有內孔，并依次套裝于籽晶軸上，滑臺座固定在固定支架上，在滑臺座和滑臺間、滑臺和滑臺板間分別安裝有第一、第二滑軌滑塊組件，滑臺沿滑臺座、滑臺板沿滑臺分別相對滑動，滑臺板與籽晶軸固定連接，在滑臺和滑臺板間的X軸方向上設有X軸調節機構，在滑臺和滑臺座的Y軸方向上設有Y軸調節機構。本實用新型采用雙導軌滑塊調節二維精度，使其運動靈活，X軸、Y軸調節機構采用微分頭調節，實現了微調、精調。
文檔編號C30B35/00GK201915172SQ20102062097
公開日2011年8月3日 申請日期2010年11月24日 優先權日2010年11月24日
發明者佟輝, 呂琪, 張國棟, 王宏宇, 王堯, 郭東民, 黃曉霞 申請人:中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司