專利名稱：高熱效單晶爐的制作方法
技術領域：
高熱效單晶爐技術領域[0001]本實用新型涉及半導體生長設備領域，尤其涉及一種單晶爐。
技術背景[0002]現有單晶爐包括爐殼、石英坩堝、石墨坩堝、加熱器、保溫層、導流管、坩堝 托盤，坩堝托盤上面設置石墨坩堝，石墨坩堝的里面設置石英坩堝，石英坩堝的里面放 置熔化物，石墨坩堝的外面設置加熱器，加熱器的外面設置保溫層，保溫層的外面設置 爐殼，單晶爐內設有加熱器，采用熱輻射的方式對坩堝進行加熱，但加熱器上、下沿處 無阻擋，熱量容易損失。[0003]中國專利公告號CN201411508Y，公告日2010年2月M日，公告了一種直拉 單晶爐，由晶體提升電機、坩堝轉動電機、爐殼、石英坩堝、石墨坩堝、加熱器、保溫 層、導流管、摻雜托盤、坩堝托盤組成，所述的坩堝轉動電機的上部設置坩堝托盤，坩 堝托盤上面設置石墨坩堝，石墨坩堝的里面設置石英坩堝，石英坩堝的里面放置熔化 物，石墨坩堝的外面設置加熱器，加熱器的外面設置保溫層，保溫層的外面設置爐殼， 爐殼的下端設置坩堝轉動電機，爐殼的上端設置晶體提升電機，坩堝轉動電機、晶體提 升電機均設置在爐殼的外部，晶體從熔化物中生長出后，由晶體提升電機緩慢向上提 升。該單晶爐內設有加熱器，采用熱輻射的方式對坩堝進行加熱，但加熱器上、下沿處 無阻擋，熱量容易損失。發明內容[0004]本實用新型的目的在于提供一種高熱效單晶爐，解決了現有單晶爐采用熱輻射 的方式對坩堝進行加熱，但加熱器上、下沿處無阻擋，熱量容易損失的問題。[0005]為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案[0006]一種高熱效單晶爐，包括爐殼、石英坩堝、石墨坩堝、加熱器和保溫桶，所述 加熱器上方設有上反射板，加熱器下方設有下反射板，上反射板和下反射板為圓環形。 加熱器上方設有上反射板，加熱器下方設有下反射板，反射加熱器上、下沿處熱輻射， 減少通過加熱器上、下沿處損失的熱量，加熱器為圓桶形，上反射板和下反射板為圓環 形，最大范圍的反射加熱器上、下沿處熱輻射，減少通過加熱器上、下沿處損失的熱 量。[0007]作為優選，所述上反射板圓環外側固定于保溫桶內側，下反射板圓環外側固定 于加熱器基座內側。上反射板圓環外側固定于保溫桶內側，下反射板圓環外側固定于加 熱器基座內側，便于上、下反射板有效安裝固定，安裝于指定位置。[0008]作為優選，所述上反射板與加熱器上沿垂直間隙為15mm-20mm，下反射板與加 熱器下沿垂直間隙為15mm-20mm。加熱器上、下沿垂直間隙為15mm-20mm處，熱輻 射較為集中，當上反射板與加熱器上沿垂直間隙為15mm-20mm，下反射板與加熱器下沿 垂直間隙為15mm-20mm時，上、下反射板對熱輻射反射效果好，熱量損失小，且留有間隙，不會與加熱器相碰。[0009]作為優選，所述上、下反射板的材質為碳/碳纖維。上、下反射板的材質為碳 /碳纖維，碳/碳纖維的反射板，表面非常光滑，對熱輻射的反射效果極好，最大程度的 反射熱輻射，減少熱量損失。[0010]本實用新型的有益效果是增加上、下反射板，反射加熱器上、下沿處熱輻 射，減少通過加熱器上、下沿處損失的熱量，加熱器為圓桶形，上、下反射板為圓環 形，最大范圍的反射加熱器上、下沿處熱輻射，減少通過加熱器上、下沿處損失的熱量。
[0011]圖1是本實用新型的結構示意圖；[0012]圖中1、爐殼，2、石墨坩堝，3、石英坩堝，4、坩堝托盤，5、加熱器，6、 坩堝轉動軸，7、上保溫桶，8、中保溫桶，9、下保溫桶，10、上反射板，11、下反射 板，12、籽晶夾頭，13、籽晶，14、保溫層，15、導流管。
具體實施方式
[0013]下面通過具體實施例，并結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步的具體 描述[0014]一種高熱效單晶爐(參見附圖1)，包括爐殼1、石墨坩堝2、石英坩堝3、加熱 器5、保溫層14、坩堝轉動軸6、導流管15、坩堝托盤4、保溫桶、，上反射板10和下反 射板11，保溫桶包括上保溫桶7、中保溫桶8、下保溫桶9，坩堝轉動軸6的上部設置坩 堝托盤4，坩堝托盤4上面設置石墨坩堝2，石墨坩堝2的里面設置石英坩堝3，石墨坩堝 2的外面設置加熱器5，加熱器5的外面設置保溫桶，保溫桶外設有保溫層14，保溫層14 的外面設置爐殼1，爐殼1的下端設置坩堝轉動軸6，爐殼1的上端設置籽晶夾頭12，籽 晶夾頭上夾有籽晶13，上、中保溫桶間內側設有上反射板10，中、下保溫桶間內側設有 下反射板11，上反射板10圓環外側固定于保溫桶內側，下反射板11圓環外側固定于加 熱器5基座內側，上、下反射板為圓環形，上、下反射板的材質為碳/碳纖維，上反射板 10與加熱器5上沿垂直間隙為18mm，下反射板11與加熱器5下沿垂直間隙也為18mm。 單晶爐使用時，坩堝轉動軸6帶動坩堝轉動，加熱器5通過熱輻射對坩堝進行加熱，上、 下反射板反射加熱器5上、下沿處熱輻射，減少通過加熱器5上、下沿處損失的熱量，使 熱量集中于坩堝處，實現高熱效的功能。[0015]以上所述的實施例只是本實用新型的一種較佳的方案，并非對本實用新型作任 何形式上的限制，在不超出權利要求所記載的技術方案的前提下還有其它的變體及改型。
權利要求1.一種高熱效單晶爐，包括爐殼(1)、石英坩堝(3)、石墨坩堝(2)、加熱器 (5)和保溫桶，其特征是，所述加熱器(5)上方設有上反射板(10)，加熱器(5)下方設有下反射板(11)，上反射板(10)和下反射板(11)為圓環形。
2.根據權利要求1所述高熱效單晶爐，其特征是，所述上反射板(10)圓環外側固 定于保溫桶內側，下反射板(11)圓環外側固定于加熱器(5)基座內側。
3.根據權利要求1或2所述高熱效單晶爐，其特征是，所述上反射板(10)與加熱 器(5)上沿垂直間隙為15mm-20mm，下反射板(11)與加熱器(5)下沿垂直間隙為 15mm-20mmo
4.根據權利要求1或2所述高熱效單晶爐，其特征是，所述上反射板(10)和下反 射板(11)的材質為碳/碳纖維。
5.根據權利要求3所述高熱效單晶爐，其特征是，所述上反射板(10)和下反射板 (11)的材質為碳/碳纖維。
專利摘要本實用新型公開了一種高熱效單晶爐，包括爐殼、石英坩堝、石墨坩堝、加熱器和保溫桶，所述加熱器上方設有上反射板，加熱器下方設有下反射板，上反射板和下反射板為圓環形，上反射板圓環外側固定于保溫桶內側，下反射板圓環外側固定于加熱器基座內側，上反射板與加熱器上沿垂直間隙為15mm-20mm，下反射板與加熱器下沿垂直間隙為15mm-20mm。解決了現有單晶爐采用熱輻射的方式對坩堝進行加熱，但加熱器上、下沿處無阻擋，熱量容易損失的問題。
文檔編號C30B15/00GK201801633SQ20102055802
公開日2011年4月20日 申請日期2010年10月13日 優先權日2010年10月13日
發明者鐘小平 申請人:浙江舒奇蒙能源科技有限公司