專利名稱：太陽能電池硅片擴散爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池生產技術領域，尤其是一種太陽能電池硅片擴散爐。
背景技術：
目前使用的太陽能電池硅片擴散爐，如
圖1所示，通常都是采用擴散氣體進入爐 體1后垂直于硅片3表面流動的方式，這種擴散方式使得擴散氣體在受到硅片3表面的阻 擋后，難以在硅片3背面及硅片3的間隙內均勻分布，造成硅片3表面方塊電阻均勻性較 差，硅片3中部方阻偏大，而四周偏小，硅片3表面的方塊電阻極值差為10Ω / 口。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術中之不足，提供一種太陽能電池 硅片擴散爐，解決由于擴散氣體在硅片上分布不均而造成的硅片表面方塊電阻均勻性較差 的問題。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種太陽能電池硅片擴散爐， 包括爐體，爐體內設有石英舟，硅片放置于石英舟上，爐體上設有用于擴散氣體進入爐體內 的進氣管和擴散處理后排放尾氣的排放管，排放管位于石英舟下方，所述的進氣管內所流 向硅片的擴散氣體沿平行于硅片表面的方向流動。一種優選實施方式，所述的進氣管從爐體的側面伸入到爐體內部且位于石英舟上 方，放置在石英舟上的硅片表面垂直于爐體的水平中心線，進氣管上開設有供擴散氣體垂 直向下流出的出氣孔，排放管開設有垂直向上供尾氣流入的進氣孔。另一種優選實施方式，所述的進氣管設置在爐體側面并伸進爐體內，出氣端位于 硅片側向，放置在石英舟上的硅片表面平行于爐體的水平中心線，擴散處理后的尾氣從排 放管后端進入排放管排出爐體外。本實用新型的有益效果是本實用新型通過采用擴散氣體平行于硅片表面流動的 方式，使得擴散氣體不會因為硅片自身的阻擋而到達不了硅片的背面以及硅片與硅片之間 的空隙內，如此，擴散氣體能夠均勻地分布在硅片表面，進而有效的改善了硅片表面方塊電 阻的均勻性，經測定，硅片表面的方塊電阻極值差可以達到5 Ω / □以下。
以下結合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。圖1是現有太陽能電池硅片擴散爐的結構示意圖。圖2是本實用新型第一種實施方式的結構示意圖。圖3是本實用新型另一種實施方式的結構示意圖。圖中1.爐體2.石英舟3.硅片4.進氣管41.出氣孔5.排放管51.進氣孔具體實施方式
。現在結合附圖對本實用新型作進一步的說明。這些附圖均為簡化的示意圖僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。如圖2所示的是本實用新型的第一種實施方式的結構示意圖，一種太陽能電池硅 片擴散爐，包括爐體1，爐體1內設有石英舟2，硅片3放置于石英舟2上，爐體1上設有用 于擴散氣體進入爐體1內的進氣管4和擴散處理后排放尾氣的排放管5，排放管5位于石英 舟2下方，所述的進氣管4從爐體1的側面伸入到爐體1內部且位于石英舟2上方，放置在 石英舟2上的硅片3表面垂直于爐體1的水平中心線，即與現有技術中硅片3的放置方式 相同，而在進氣管4上開設有供擴散氣體垂直向下流出的出氣孔41，排放管5開設有垂直向 上供尾氣流入的進氣孔51，擴散氣體通過進氣管4進入爐體1，從進氣管4的出氣孔41流 出，沿平行于硅片3表面的方向流過硅片3進行擴散處理，再從排放管5上的進氣孔51進 入排放管而排出爐體1外，這種擴散氣體的流動方式，不會因為硅片3自身的阻擋使得擴散 氣體到達不了硅片3的背面以及硅片3與硅片3之間的空隙內，可使擴散氣體均勻地分布 在硅片3表面，從而有效地改善了硅片3表面方塊電阻的均勻性，經測定，硅片3表面的方 塊電阻極值差可以達到5 Ω / □以下。圖3所示的是本實用新型的第二種實施方式的結構示意圖，一種太陽能電池硅片 擴散爐，包括爐體1，爐體1內設有石英舟2，硅片3放置于石英舟2上，爐體1上設有用于 擴散氣體進入爐體1內的進氣管4和擴散處理后排放尾氣的排放管5，排放管5位于石英舟 2下方，所述的進氣管4設置在爐體1側面并伸進爐體1內，進氣管4的出氣端位于硅片3 側向，放置后的硅片3表面平行于爐體1的水平中心線，也就是說與現有技術相比，等于是 將原先硅片3在石英舟2的放置位置轉過90°，這樣，擴散氣體進入爐體1后，依然可以保 證沿平行于硅片3表面的方向流動，不會因為硅片3自身的阻擋而到達不了硅片3的背面 以及硅片3與硅片3之間的空隙內，使得擴散氣體能夠均勻地分布在硅片3表面，從而有效 地改善了硅片3表面方塊電阻的均勻性，擴散處理后的尾氣從排放管5后端進入排放管5 排出爐體1外。
權利要求一種太陽能電池硅片擴散爐，包括爐體(1)，爐體內設有石英舟(2)，硅片(3)放置于石英舟(2)上，爐體(1)上設有用于擴散氣體進入爐體(1)內的進氣管(4)和擴散處理后排放尾氣的排放管(5)，排放管(5)位于石英舟(2)下方，其特征是所述的進氣管(4)內所流向硅片(3)的擴散氣體沿平行于硅片(3)表面的方向流動。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片擴散爐，其特征是所述的進氣管(4)從爐 體(1)的側面伸入到爐體(1)內部且位于石英舟(2)上方，放置在石英舟(2)上的硅片(3) 表面垂直于爐體(1)的水平中心線，進氣管(4)上開設有供擴散氣體垂直向下流出的出氣 孔(41)，排放管(5)開設有垂直向上供尾氣流入的進氣孔(51)。
3.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片擴散爐，其特征是所述的進氣管(4)設置 在爐體(1)側面并伸進爐體(1)內，進氣管(4)出氣端位于硅片(3)側向，放置在石英舟 (2)上的硅片(3)表面平行于爐體(1)的水平中心線，擴散處理后的尾氣從排放管(5)后端 進入排放管(5)排出爐體⑴外。
專利摘要本實用新型公開了一種太陽能電池硅片擴散爐，包括爐體，爐體內設有石英舟，硅片放置于石英舟上，爐體上設有用于擴散氣體進入爐體內的進氣管和擴散處理后排放尾氣的排放管，排放管位于石英舟下方，所述的進氣管內所流向硅片的擴散氣體沿平行于硅片表面的方向流動。本實用新型解決了由于擴散氣體在硅片上分布不均而造成的硅片表面方塊電阻均勻性較差的問題。
文檔編號C30B31/16GK201713608SQ201020263438
公開日2011年1月19日 申請日期2010年7月16日 優先權日2010年7月16日
發明者蔡忠心 申請人:常州天合光能有限公司