專利名稱：等離子處理設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種等離子處理設備，尤其是涉及等離子處理設備內的溫度控制 系統。
背景技術：
等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰 化和表面活化、改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行 涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。在現有的等離子 處理設備當中，其腔體內部的電極板溫度容易發生變化，導致處理均勻性差，處理效果不理
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實用新型內容本實用新型的目的在于針對現有技術的缺陷，提供一種處理均勻性好的等離子處
理設備。為解決上述技術問題，本實用新型采用了以下的技術方案設計一種等離子處理 設備，包括具有腔體的殼體、位于該腔體內部的電極板以及可供導熱流體在其內循環流動 的溫控系統，該溫控系統包括了固定于所述電極板的溫控管道、使所述導熱流體在所述溫 控管道內循環流動的流體泵以及使所述導熱流體保持在預設溫度的流體溫度調節器。與現有技術相比，本實用新型通過固定于電極板的溫控管道使電極板的溫度保持 在基本恒定的狀態，從而提高了等離子處理設備的處理均勻性，改善了處理效果。優選地，所述溫控管道緊貼固定于所述電極板的底面，導熱性能更好。優選地，所述溫控管道通過緊固件固定于所述電極板的底面，可防止溫控管道脫 落。所述緊固件可以為管座和將所述管座連接于形成在所述電極板上的連接孔的螺絲或銷 釘。，優選地，所述導熱流體可以為導熱油或導熱水。優選地，所述溫控管道采用鋁合金材質，不但具有良好的導熱性能，而且有很強的 抗拉強度(彡205Mpa)，并具有很強的耐腐蝕性。優選地，所述電極板包括了相互平行的多塊正極板和多塊負極板，其中所述正極 板和負極板相間分布。優選地，所述溫控管道呈蛇形分布。
圖1是本實用新型等離子處理設備的實施例一的立體圖。圖2是圖1所示等離子處理設備的前視圖。圖3是圖1所示等離子處理設備的電極板及其溫控系統部分的立體圖。圖4是圖3所示電極板及其溫控系統部分的前視圖。圖5是本實用新型等離子處理設備的實施例二的電極板及其溫控系統部分的立體圖。圖6是圖5的A局部放大圖。圖7是圖5所示電極板及其溫控系統部分的前視圖。圖8是圖5所示電極板及其溫控系統部分的右視圖。圖9是圖5所示電極板及其溫控系統部分的左視圖。
具體實施方式
實施例一如圖1至圖4所示，本實用新型的等離子處理設備10包括具有腔體12 的殼體11、位于該腔體12內部的相互平行的多塊電極板8以及可供導熱流體在其內循環流 動的溫控系統，所述電極板8包括了相間分布的正極板5和負極板6。所述溫控系統包括了油泵1、流體溫度調節器18、進油管3、溫控管道7、出油管4 和回油管9，溫控管道7通過粘接劑緊貼固定在每塊正極板5和負極板6的底面，這樣導熱 性能更好。每根溫控管道7均呈蛇形分布，其采用鋁合金材質，不但具有良好的導熱性能， 而且有很強的抗拉強度(》205Mpa)，并具有很強的耐腐蝕性。其中，油泵1、流體溫度調節 器18、進油管3、溫控管道7和出油管4依次首尾連接，溫控管道7的入口分別連接于進油 管3，溫控管道7的出口分別連接于出油管4，出油管4通過回油管9連接于油泵1，從而形 成循環系統，以供導熱油在其內循環流動。回油管9處設有溫度傳感器，以實時感測循環系 統內的導熱油的溫度。油泵1可使循環系統內的導熱油循環流動，流體溫度調節器18可使循環系統內的 導熱油加熱或冷卻到預設溫度并一直保持這種溫度。導熱油經過流體溫度調節器18加熱 或冷卻到預設溫度后，由進油管3的入口進入進油管3，然后分別流經各溫控管道7，再分別 匯入出油管4，最后在油泵1的作用下由回油管9流回油泵1和流體溫度調節器18，如此循 環。上述溫控系統可以通過單片機或PLC控制器等控制單元來進行控制當導熱油的實際 溫度超過設定溫度時，溫度傳感器會將信號傳給控制單元，控制單元會命令流體溫度調節 器18停止加熱，并實施冷卻。當實際溫度低于設定溫度時，溫度傳感器會將信號傳給控制 單元，控制單元會命令加熱器繼續加熱，直至達到設定溫度。實施例二參見圖5至圖9，本實施例當中的溫控系統同樣具有油泵1、進油管3、溫 控管道7、出油管4、回油管9，此外還包括了加熱器2、油箱13和連接于該油箱13的冷卻器 14，當循環系統內的導熱油有損耗時，可通過油箱13進行自動補給。所述回油管9上設有 溫度傳感器17，其作用是感測回油的溫度，如果超過預設溫度值的話，通過冷卻器14將其 冷卻，然后再由加熱器2加熱到預設溫度值。溫控管道7的入口分別連接于進油管3，溫控 管道7的出口分別連接于出油管4，出油管4的出口通過回油管9依次連接于油箱13、油泵 1、加熱器2以及進油管3的入口。所述溫控管道7通過管座15以及可將管座15連接于電 極板8連接孔的螺絲或銷釘16固定于電極板8的底面，以防止溫控管道7脫落。上述溫控 系統可以通過單片機或PLC控制器等控制單元來進行控制當導熱油的實際溫度超過設定 溫度時，溫度傳感器17會將信號傳給控制單元，控制單元會命令加熱器2停止加熱，并命令 冷卻器14實施冷卻。當實際溫度低于設定溫度時，溫度傳感器17會將信號傳給控制單元， 控制單元會命令加熱器2繼續加熱，直至達到設定溫度。需要說明的是，以上僅為本實用新型的優選實施方式，并不能理解為對本實用新型保護范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型 發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，例如上述導熱油可以用導熱水或其它導 熱流體來實現，所述溫控管道也不限于鋁合金材質，其分布形狀也不限于蛇形。以上這些變 形和改進均在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求等離子處理設備，包括具有腔體的殼體和位于該腔體內部的電極板，其特征在于該設備還包括了可供導熱流體在其內循環流動的溫控系統，該溫控系統包括了固定于所述電極板的溫控管道、使所述導熱流體在所述溫控管道內循環流動的流體泵以及使所述導熱流體保持在預設溫度的流體溫度調節器。
2.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于 述電極板的底面。
3.根據權利要求2所述的等離子處理設備，其特征在于 定于所述電極板的底面。
4.根據權利要求3所述的等離子處理設備，其特征在于 管座連接于形成在所述電極板上的連接孔的螺絲或銷釘。
5.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于 熱水。
6.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述溫控管道為鋁合金管道。
7.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述溫控管道呈蛇形分布。
8.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述電極板包括了相互平行 的多塊正極板和多塊負極板，其中所述正極板和負極板相間分布。
9.根據權利要求1至8任一項所述的等離子處理設備，其特征在于所述溫控系統還 包括了進油管、出油管和回油管，所述回油管上設有溫度傳感器；所述溫控管道的入口分別 連接于所述進油管，所述溫控管道的出口分別連接于所述出油管，所述出油管的出口通過 所述回油管依次連接于所述油泵、流體溫度調節器以及所述進油管的入口。
10.根據權利要求1至8任一項所述的等離子處理設備，其特征在于所述溫控系統還 包括了進油管、出油管、回油管和油箱，所述回油管上設有溫度傳感器，所述流體溫度調節 器包括了加熱器和冷卻器，該冷卻器連接于所述油箱；所述溫控管道的入口分別連接于所 述進油管，所述溫控管道的出口分別連接于所述出油管，所述出油管的出口通過所述回油 管依次連接于所述油箱、油泵、加熱器以及所述進油管的入口。所述溫控管道緊貼固定于所 所述溫控管道通過緊固件固 所述緊固件為管座和將所述 所述導熱流體為導熱油或導
專利摘要本實用新型提供了一種等離子處理設備，包括具有腔體的殼體、位于該腔體內部的電極板以及可供導熱流體在其內循環流動的溫控系統，該溫控系統包括了固定于所述電極板的溫控管道、使所述導熱流體在所述溫控管道內循環流動的流體泵以及使所述導熱流體保持在預設溫度的流體溫度調節器。與現有技術相比，本實用新型通過在電極板的底面設置溫控管道，使腔體內部電極板的溫度保持在基本恒定的狀態，從而提高了等離子處理設備的處理均勻性，改善了處理效果。
文檔編號H05H1/24GK201674719SQ20102017473
公開日2010年12月15日 申請日期2010年4月29日 優先權日2010年4月29日
發明者丁雪苗 申請人:珠海彼得氏等離子科技有限公司