專利名稱：多晶硅還原爐用湍流場混合進料裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及化工行業用多晶硅還原爐的配件，具體涉及一種多晶硅還原爐用 湍流場混合進料裝置。
背景技術：
現有多晶硅生產中，進料由TCS汽化器出來的三氯氫硅與氫氣混合直接進入還原 爐。由于氫氣的密度與三氯氫硅密度相差很大(約6.2倍)，容易造成的混合不均勻，從而 使還原爐內硅棒粗細不均勻，甚至直徑相差一倍之多，造成很多浪費。
實用新型內容鑒于上述不足之處，本實用新型的目的在于提供一種結構簡單、能使氫氣與三氯 氫硅充分混合以湍流的形式進入還原爐，將氫氣與三氯氫硅密度差造成的不均勻降低到最 低限度，使硅棒生長均勻的多晶硅還原爐用湍流場混合進料裝置。為了達到上述木的，本實用新型的采用了一下技術方案一種多晶硅還原爐用湍 流場混合進料裝置，包括有數段導向圓筒，其中，導向圓筒分為正向導向圓筒和反向導向圓 筒，所述正向導向圓筒內周面設置有正螺旋導向板，所述反向導向圓筒內周面設置有反螺 旋導向板，正向導向圓筒通過法蘭連接反向導向圓筒，且正向導向圓筒與反向導向圓筒呈 交替連接方式(一正一反一正一反或一反一正一反一正)連接。在本實用新型中，法蘭同時起著連接導向圓筒和調角度的作用。本實用新型安裝在多晶硅還原爐進料口，本實用新型采用多級正反向相間螺旋， 通過法蘭調節每節螺旋旋向與角度，使氫氣與三氯氫硅充分混合。當三氯氫硅與氫氣進入 本實用新型中，先通過正向導向圓筒中的的正螺旋導向板(或反向導向圓筒中的反螺旋導 向板)混合后，正旋(或反旋)的混合物在進入到反向導向圓筒中的反螺旋導向板(或正向 導向圓筒中的的正螺旋導向板)進行反旋(或正旋)混合，以此一正一反(或一反一正)多 次正反湍流混合，使得氫氣與三氯氫硅得以最大限度的充分混合后再以湍流的形式進入還 原爐，將氫氣與三氯氫硅由于密度差造成的混合不均勻降低到最低限度，使硅棒生長均勻。
圖1本實用新型實施例結構示意圖。圖中1.法蘭；2.正向導向圓筒；3.反向導向圓筒；4.正螺旋導向板；5.反螺旋 導向板。
具體實施方式
下面我們將結合附圖對本實用新型作進一步的說明如圖1所示，一種多晶硅還原爐用湍流場混合進料裝置，包括有3段導向圓筒，其 中，內周面設置有正螺旋導向板4的正向導向圓筒2通過法蘭1連接內周面設置有反螺旋導向板5的反向導向圓筒3，反向導向圓筒3再通過法蘭1連接正向導向圓筒2，正向導向 圓筒2與反向導向圓筒3呈一正一反一正的交替連接方式連接。
權利要求一種多晶硅還原爐用湍流場混合進料裝置，包括有數段導向圓筒，其特征在于導向圓筒分為正向導向圓筒和反向導向圓筒，所述正向導向圓筒內周面設置有正螺旋導向板，所述反向導向圓筒內周面設置有反螺旋導向板，正向導向圓筒與反向導向圓筒間通過法蘭連接，且正向導向圓筒與反向導向圓筒呈交替連接方式連接。
專利摘要本實用新型公開了一種多晶硅還原爐用湍流場混合進料裝置，包括有數段導向圓筒，其特征在于導向圓筒分為正向導向圓筒和反向導向圓筒，所述正向導向圓筒內周面設置有正螺旋導向板，所述反向導向圓筒內周面設置有反螺旋導向板，正向導向圓筒與反向導向圓筒間通過法蘭連接，且正向導向圓筒與反向導向圓筒呈交替連接方式連接。本實用新型結構簡單、能使氫氣與三氯氫硅充分混合以湍流的形式進入還原爐，將氫氣與三氯氫硅由于密度差造成的混合不均勻降低到最低限度，使硅棒生長均勻。
文檔編號C30B29/06GK201634436SQ20102011069
公開日2010年11月17日 申請日期2010年2月9日 優先權日2010年2月9日
發明者劉勝春, 姚偉, 李驥, 蔣玉梅, 趙振元, 趙杰 申請人:信息產業電子第十一設計研究院有限公司