專利名稱：壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種壓電石英晶體頻率片腐蝕加工設備，具體地說，涉及了一種壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機。
背景技術：
腐蝕機是一種利用化學加工的方法改變晶片的厚度或頻率和表面光潔度的一種設備，它的組成有超聲波發生裝置、腐蝕液內槽、溫控裝置、自動升降裝置、吊掛裝置等組成；它的工作原理是打開超聲波設定到一定功率，打開溫控裝置，設定到工藝要求溫度，將晶片放在一個盛具內，吊掛在自動升降裝置上，打開自動升降裝置，使晶片在腐蝕液內上下運動，并通過超聲波使晶片均勻散開，在一定的時間內使晶片頻率達到指定頻率，腐蝕時間按工藝要求確定；在腐蝕的過程中，晶片始終在恒溫的腐蝕液中腐蝕，但在實際生產中，由于超聲波在工作時會產生熱量，使腐蝕液溫度升高，腐蝕出來的晶片頻率有差異，并且經常出現同樣的腐蝕時間，而頻率卻超出很多，而這些原因就是因為腐蝕液的溫度波動引起的。
為了克服以上問題，人們一直在尋找一種技術解決方案。
發明內容
本實用新型的目的在于克服現有技術的不足，從而提供一種設計科學、結構簡單、溫度恒定、安全可靠的壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是 一種壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機，包括超聲波水槽和設置在超聲波水槽內的腐蝕液內槽，所述超聲波水槽上設置有進水管道，所述超聲波水槽上部設置有上限溢流管道，所述進水管道上設置有電磁閥開關，所述超聲波水槽內設置有熱電偶，所述熱電偶電連接溫度控制儀，所述溫度控制儀的常開觸點一端連接中間繼電器的線圈一端，所述中間繼電器的常開觸點一端連接所述電磁閥開關的線圈一端，所述溫度控制儀的常開觸點另一端、所述中間繼電器的常開觸點另一端用于連接電源一端，所述中間繼電器的線圈另一端、所述電磁閥開關的線圈另一端用于連接電源另一端。
基于上述，所述進水管道上設置有閥門；所述上限溢流管道上設置有控制閥門。
本實用新型相對于現有技術具有實質性特點和進步，具體的說，該自動控溫腐蝕機設計科學，結構簡單，溫度恒定，操作安全可靠；該自動控溫腐蝕機有效解決了超聲波所產生熱量對腐蝕液溫度的影響，即在工作時，超聲波水槽內的水溫可自行調節，使得槽內水溫保持恒定，保證了腐蝕液內槽中腐蝕液溫度恒定，進一步確保了晶片加工的質量，提高了產品合格率，大大降低了企業生產成本。
圖1是本實用新型的結構示意圖；圖2是所述溫控電路的連接結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖給出本實用新型的具體實施方式
如圖1和圖2所示， 一種壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機，包括超聲波水槽1和設置在超聲波水槽1內的腐蝕液內槽2，所述超聲波水槽1上設置有進水管道4，所述超聲波水槽1上部設置有上限溢流管道3，所述進水管道4上設置有電磁閥開關5，所述超聲波水槽1內設置有熱電偶6，所述熱電偶6電連接溫度控制儀7;所述熱電偶6用于測量水的溫度；
如圖2所示，所述溫度控制儀7的常開觸點11 一端連接中間繼電器8的線圈一端，所述中間繼電器8的常開觸點12 —端連接所述電磁閥開關5的線圈一端，所述溫度控制儀7的常開觸點11另一端、所述中間繼電器8的常開觸點12另一端用于連接電源一端，所述中間繼電器8的線圈另一端、所述電磁閥開關5的線圈另一端用于連接電源另一端，以此構成本腐蝕機的溫控電路。
基于上述，所述進水管道4上設置有閥門10;所述上限溢流管道3上設置有控制閥門9;閥門IO和控制閥門9用于特殊情況下手動控制。
在工作過程中，超聲波發生裝置會產生熱量，使超聲波水箱內的水溫上升而無法有效控制，為此，在進水口處安裝一個單向的電磁閥開關，當溫度升高時，電磁閥開關打開注入涼水，當溫度下降并達到設定溫度時電磁閥開關關閉；實現這一功能還需要一個溫度控制儀， 一個中間繼電器，一個熱電偶，當熱電偶檢測到超聲波水槽內的水溫度升高，即溫度大于設定值時，溫度控制儀的常開觸點會閉合，給中間繼電器提供一個電壓，中間繼電器工作，然后電磁閥開關線圈得電，電磁閥開關打開，水進入超聲波水槽內，當水位超過上限溢流孔時，水溢流出來，從而達到降溫作用；而當溫度低于設定值時，溫度控制儀觸點斷開，則中間繼電器失電，繼而電磁閥開關線圈失電，則水關閉；以上動作會往復工作，使其槽內溫度在很小的范圍內變化，從而達到生產所需。
所述中間繼電器型號是JZ7-44，所述溫度控制儀型號是XMTD-2301，所述熱電偶型號是WRET-1800E，所述電磁閥型號是QX23D-22。
最后應當說明的是以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案而非對其限制；盡管參照較佳實施例對本實用新型進行了詳細的說明，所屬領域
的普通技術人員應當理解依然可以對本實用新型的具體實施方式
進行修改或者對部分技術特征進行等同替換；而不脫離本實用新型技術方案的精神，其均應涵蓋在本實用新型請求保護的技術方案范圍當中。
權利要求1、一種壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機，包括超聲波水槽和設置在超聲波水槽內的腐蝕液內槽，其特征在于所述超聲波水槽上設置有進水管道，所述超聲波水槽上部設置有上限溢流管道，所述進水管道上設置有電磁閥開關，所述超聲波水槽內設置有熱電偶，所述熱電偶電連接溫度控制儀，所述溫度控制儀的常開觸點一端連接中間繼電器的線圈一端，所述中間繼電器的常開觸點一端連接所述電磁閥開關的線圈一端，所述溫度控制儀的常開觸點另一端、所述中間繼電器的常開觸點另一端用于連接電源一端，所述中間繼電器的線圈另一端、所述電磁閥開關的線圈另一端用于連接電源另一端。
2、 根據權利要求l所述的壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機，其特 征在于所述進水管道上設置有閥門。
3、 根據權利要求l所述的壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機，其特 征在于所述上限溢流管道上設置有控制閥門。
專利摘要本實用新型提供一種壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機，它包括超聲波水槽和設置在超聲波水槽內的腐蝕液內槽，超聲波水槽上設置有進水管道，超聲波水槽上部設置有上限溢流管道，進水管道上設置有電磁閥開關，超聲波水槽內設置有熱電偶，熱電偶電連接溫度控制儀，溫度控制儀的常開觸點一端連接中間繼電器的線圈一端，中間繼電器的常開觸點一端連接所述電磁閥開關的線圈一端，溫度控制儀的常開觸點另一端、中間繼電器的常開觸點另一端用于連接電源一端，中間繼電器的線圈另一端、電磁閥開關的線圈另一端用于連接電源另一端。該壓電石英晶體頻率片自動控溫腐蝕機具有設計科學、結構簡單、溫度恒定、操作安全可靠的優點。
文檔編號C30B33/08GK201414114SQ20092009059
公開日2010年2月24日 申請日期2009年6月2日 優先權日2009年6月2日
發明者凱 黨, 姜瑞強, 王修新, 鄭許生 申請人:濟源石晶光電頻率技術有限公司