專利名稱：多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置。
背景技術：
傳統的多晶硅鑄錠有三種方式直接澆鑄法、定向凝固法和熱交換法；而最常用的多晶硅鑄錠爐一般是采用直熔爐，爐子下部有很強的水冷系統，氬氣從爐子的上部通入。在使用直熔爐的現有技術當中，由于多晶硅鑄錠爐爐內溫度和壓力均較高，所以，對多晶硅鑄錠爐的保護始終是一個重要的環節；而傳統的送氣管進入爐內后往往是采用單一的噴氣嘴，而且還是集中在爐內的上方噴氣；這種技術方案既不符合氬氣的自上而下的分散原理，也不利于氬氣在鑄錠爐爐內均勻快速擴散，不利于對鑄錠爐的保護。
發明內容本實用新型的目的是為了克服上述現有技術的不足，提供了多點布局，接觸面廣，保護性強，有利于氬氣在爐內均勻快速擴散的一種多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置。[0004] 為實現上述技術目的，本實用新型采用的技術方案是 —種多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置，該爐內噴氬氣裝置由爐壁噴氣管和爐底噴氣管兩部分管路組成，所述爐壁噴氣管沿爐內壁設置，其頂端封閉，其管壁從上至下朝向爐中央的方向設置有噴氣口 ，所述爐底噴氣管沿爐底設置，其頂端封閉，其管壁兩側均設有噴氣口 ，爐壁噴氣管與爐底噴氣管在爐底處與進氣管連通，所述噴氣口橫向螺接有噴氣嘴。[0006] 優選地，所述爐壁噴氣管至少沿爐內壁設置有兩路。[0007] 通過上述技術方案，本實用新型的有益效果是 1、本實用新型的爐內噴氬氣裝置采用的多層布局，多點布局，有利于氬氣在爐內均勻快速擴散； 2、本實用新型的多點式自上而下的噴氬氣設置，而且，噴嘴是橫臥式設置，大大地減少了噴嘴堵塞的概率，有利于安全送氣。
圖1是本實用新型一種多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置的結構示意圖；[0011] 圖2是本實用新型安裝在多晶硅鑄錠爐爐內的結構示意圖； 圖中進氣管1，爐壁噴氣管2，爐底噴氣管3，所述噴氣口 4，爐底5，噴氣嘴6，視鏡7，冷卻水進水管8，爐內壁9，冷卻水出水管10 。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。 如圖l，圖2所示，一種多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置，該爐內噴氬氣裝置由爐壁噴氣管2和爐底噴氣管3兩部分管路組成，所述爐壁噴氣管2沿爐內壁9設置，其頂端封閉，其管壁從上至下朝向爐中央的方向設置有噴氣口 4，所述爐底噴氣管3沿爐底5設置，其頂端封閉，其管壁兩側均設有噴氣口 4，爐壁噴氣管2與爐底噴氣管3在爐底5處與進氣管1連通，所述噴氣口 4橫向螺接有噴氣嘴6。優選地，所述爐壁噴氣管2至少沿爐內壁9設置有兩路。 氣體是選用惰性氣體氬氣，這樣可以起到保護作用。當輸送的氬氣從進氣管1進入后，分兩路分別進入爐壁噴氣管2和爐底噴氣管3，爐壁噴氣管2內氣體會從噴嘴4中噴出，這樣，鑄錠爐內的四周壁部就會馬上快速地充滿氬氣；而爐底噴氣管3內的氬氣也會從噴嘴4中出來，噴向爐內中央，致使噴出的氬氣覆蓋整個真空鑄錠爐的爐內空間。[0017] 與此同時，真空鑄錠爐內的溫度也會逐漸升高，還需要不定期地使用視鏡7對爐內的溫度進行監測；而且還要打開冷卻水出水管8和進氣管l，冷卻水在冷卻系統內循環，最后讓冷卻水從出水管10中出來，以保證還原爐的正常工作環境。 本實用新型的多點式自上而下的噴氬氣設置，多層布局，多點布局，有利于氬氣在
爐內均勻快速擴散；而且，噴嘴是橫臥式設置，大大地減少了噴嘴堵塞的概率。 以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，本領域的技
術人員在本實用新型技術方案范圍內進行的通常變化和替換都應包含在本實用新型的保
護范圍內。
權利要求一種多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置，其特征在于該爐內噴氬氣裝置由爐壁噴氣管(2)和爐底噴氣管(3)兩部分管路組成，所述爐壁噴氣管(2)沿爐內壁(9)設置，其頂端封閉，其管壁從上至下朝向爐中央的方向設置有噴氣口(4)，所述爐底噴氣管(3)沿爐底(5)設置，其頂端封閉，其管壁兩側均設有噴氣口(4)，爐壁噴氣管(2)與爐底噴氣管(3)在爐底(5)處與進氣管(1)連通，所述噴氣口(4)橫向螺接有噴氣嘴(6)。
2. 根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置，其特征在于所述爐壁噴氣 管(2)至少沿爐內壁(9)設置有兩路。
專利摘要本實用新型公開一種多晶硅鑄錠爐爐內噴氬氣裝置，該爐內噴氬氣裝置由爐壁噴氣管(2)和爐底噴氣管(3)兩部分管路組成，爐壁噴氣管(2)沿爐內壁(9)設置，其頂端封閉，其管壁從上至下朝向爐中央的方向設置有噴氣口(4)，爐底噴氣管(3)沿爐底(5)設置，其頂端封閉，其管壁兩側均設有噴氣口(4)，爐壁噴氣管(2)與爐底噴氣管(3)在爐底(5)處與進氣管(1)連通，噴氣口(4)橫向螺接有噴氣嘴(6)。本實用新型的噴氬氣裝置多點布局，有利于氬氣的均勻、快速分布，有利于對鑄錠爐的全方位保護。
文檔編號C30B28/06GK201485281SQ200920029670
公開日2010年5月26日 申請日期2009年7月16日 優先權日2009年7月16日
發明者曹頂峰 申請人:濟寧凱倫光伏材料有限公司