專利名稱：Icp光源輸出功率調節電路的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種輸出功率調節電路，特別涉及一種ICP光源的輸出功率調節電路。
背景技術：
ICP光源(即電感耦合等離子體電源)作為原子發射光譜儀的激發光源，其是原子 發射光譜儀的重要部件之一。所謂電感耦合等離子體，就是在輸出線圈中施加交變的高頻 電壓，從而在線圈中產生交變的高頻電磁場，該電磁場使得線圈內石英炬管中的工作氣體 中的電子和離子加速運動形成渦流，在電子和離子高速運動的過程中，會與工作氣體分子 發生碰撞，使得溫度急劇升高，升高的溫度又會使更多的工作氣體的分子電離而產生更多 的電子和離子，使溫度進一步升高，進而形成可以自持的等離子體焰炬。等離子體焰炬是靠 電感線圈耦合的能量來維持，電感線圈相當于變壓器的初級，等離子體焰炬中的渦流相當 于變壓器的次級，這就是電感耦合等離子體的名稱來源。由于等離子體焰炬的溫度非常高 ( 一般高于6000K)，可以使大多數元素得到激發，使從基態獲得能量躍遷到激發態，在向回 躍遷的時候，發出該元素的特征譜線。因此電感耦合等離子體是一種非常優秀的激發光源， 廣泛應用作為原子發射光譜儀的激發光源。該光源作為原子發射光譜儀的激發光源，具有 激發能力強、檢出限低、靈敏度高、線性范圍寬、基體效應小等特點。 現有的ICP光源一般包括高頻信號源、推動放大級電路、功率放大級電路，推動放 大級電路、功率放大級電路對信號源的射頻信號進行放大，經過輸出匹配單元輸出到電感 耦合等離子體的負載線圈用以產生等離子體。目前國內的ICP光源所使用的射頻等離子體 發生器，多數采用手動調節光源輸出功率的方法，調節緩慢，自動化程度低，調節精度差，故
障率高。
發明內容
針對上述現有技術的不足，本發明要解決的技術問題是提供一種由數模轉換器和 場效應管組成的調節電路，該電路可采用軟件控制數模轉換器的輸出值，從而達到控制功 率推動級的輸出信號幅度，并最終達到控制光源輸出功率的目的。
為解決上述技術問題，本發明采用如下技術方案 —種ICP光源輸出功率調節電路，其包括一數模轉換器和一場效應管，所述數模 轉換器的輸出端通過一負反饋放大電路與所述場效應管的柵極連接。 優選的，所述負反饋放大路包括一放大器，所述數模轉換器的輸出端與所述放大 器的反向輸入端連接，所述放大器的反向輸入端通過一電阻和一電容與所述放大器的輸出 端連接，所述電阻、電容并聯，所述放大器的正向輸入端接地，所述放大器的輸出端與一電 阻連接。 優選的，所述電阻為可調電阻。 上述技術方案具有如下有益效果在該方案中數模轉換器的輸入端可與計算機、單片機等裝置連接，將數字信號轉換為模擬輸出電壓，再經負反饋放大電路與場效應管的 柵極連接，由于場效應管導通電阻Ron的分壓作用，使其控制輸入功率推動級信號輸出的 幅度，進一步控制最后功率輸出的大小，這樣即可通過計算機的軟件來達到控制光源的輸 出功率的目的，提高了控制調節的精度以及自動化程度。 上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段， 并可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。 本發明的具體實施方式
由以下實施例及其附圖詳細給出。
圖1為本發明實施例的電路圖。
具體實施例方式
下面結合附圖，對本發明的實施例進行詳細的介紹。 如圖1所示，該ICP光源輸出功率調節電路包括一數模轉換器DAC和一場效應管 Q7，數模轉換器DAC的輸出端通過一負反饋放大電路與場效應管Q7的柵極連接，負反饋放 大路包括一放大器IC1數模轉換器DAC的輸出端與一放大器IC1的反向輸入端連接，放大 器IC1的反向輸入端通過一電阻R58和一電容Cl與放大器IC1的輸出端連接，電阻R58、 電容C1并聯，放大器IC1的正向輸入端接地，放大器IC1的輸出端與一電阻R56連接。電 阻R58為可調電阻，通過調節電阻R58可設定。放大器IC1的輸出端還連接有電容104和 一電阻R57，該電容104、電阻R57并聯接地。電阻R56和場效應管Q7之間還設有一接地電 容C46。 該電路在使用時，數模轉換器DAC的輸入端可與計算機、單片機等裝置連接，將數 字信號轉換為模擬輸出電壓，再經負反饋放大電路與場效應管Q7的柵極連接，由于場效應 管Q7導通電阻Ron的分壓作用，使其控制輸入功率推動級信號輸出的幅度，進一步控制最 后功率輸出的大小，這樣即可通過計算機的軟件來達到控制光源的輸出功率的目的，提高 了控制調節的精度以及自動化程度。 以上對本發明實施例所提供的一種ICP光源輸出功率調節電路進行了詳細介紹， 對于本領域的一般技術人員，依據本發明實施例的思想，在具體實施方式
及應用范圍上均 會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本發明的限制，凡依本發明設計思想 所做的任何改變都在本發明的保護范圍之內。
權利要求
一種ICP光源輸出功率調節電路，其特征在于，其包括一數模轉換器(DAC)和一場效應管(Q7)，所述數模轉換器(DAC)的輸出端通過一負反饋放大電路與所述場效應管(Q7)的柵極連接。
2. 根據權利要求1所述的ICP光源輸出功率調節電路，其特征在于所述負反饋放大 路包括一放大器(ICl)，所述數模轉換器(DAC)的輸出端與所述放大器(IC1)的反向輸入 端連接，所述放大器(IC1)的反向輸入端通過一電阻(R58)和一電容(CI)與所述放大器 (IC1)的輸出端連接，所述電阻(R58)、電容(CI)并聯，所述放大器(IC1)的正向輸入端接 地，所述放大器(IC1)的輸出端與一電阻(R56)連接。
3. 根據權利要求2所述的ICP光源輸出功率調節電路，其特征在于所述電阻(R58)為 可調電阻。
全文摘要
本發明公開了一種ICP光源輸出功率調節電路，其包括一數模轉換器和一場效應管，所述數模轉換器的輸出端通過一負反饋放大電路與所述場效應管的柵極連接。在該方案中數模轉換器將數字信號轉換為模擬輸出電壓，再經負反饋放大電路與場效應管的柵極連接，由于場效應管導通電阻Ron的分壓作用，使其控制輸入功率推動級信號輸出的幅度，進一步控制最后功率輸出的大小，這樣即可通過計算機的軟件來達到控制光源的輸出功率的目的，提高了控制調節的精度以及自動化程度。
文檔編號H05B41/38GK101707849SQ200910232138
公開日2010年5月12日 申請日期2009年12月2日 優先權日2009年12月2日
發明者張樹龍, 胡曉斌 申請人:江蘇天瑞儀器股份有限公司