專利名稱：多晶硅氫還原爐電極結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及多晶硅氫還原爐中的裝置，主要涉及多晶硅氫還 原爐電極結構。
背景技術：
在多晶硅生產技術中，氫還原爐是其主要設備，而氫還原爐中的 電極是多晶硅氫還原爐的極重要組成元件，電極頂部與石墨夾頭的連 接方式嚴重影響硅芯棒安裝的垂直度和導電性能。現有技術中，多晶 硅氫還原爐電極頂部多為光滑平整并帶有一定錐度，在與石墨夾頭連 接時，純粹靠石墨夾頭和硅芯棒的重力將兩者連接在一起， 一旦石墨 夾頭加工精度不夠，錐度不吻合，則可能導致無法保證硅芯垂直安裝， 易出現"倒爐"事故。同時也可能出現電極頭和石墨夾頭之間并非 錐面接觸，而只是線接觸，甚至有些地方點接觸。在大電流通過時， 由于接觸電阻過大，極易燒壞電極。而更換電極工作量非常大，需要 耗費大量的人力物力，而且會耽誤大量生產時間。 發明內容
本實用新型的目的在于克服上述技術缺陷，提供一種多晶硅氫還 原爐電極結構。本實用新型有效解決了電極與石墨夾頭的接觸問題， 延長了電極的使用壽命，降低了成本。
為實現上述發明目的，本實用新型采用的技術方案是 多晶硅氫還原爐電極結構，包括安裝在氫還原爐爐盤上的電極，與電極一一對應安裝的硅芯棒，電極與硅芯棒之間通過石墨夾頭連接， 其特征在于電極的電極頭外側與石墨夾頭底部的外側設有螺紋，電 極的電極頭與石墨夾頭底部之間通過螺母連接。
所述電極的電極頭為正螺紋結構，所述石墨夾頭底部為與電極頭 正螺紋結構對應的反螺紋結構，電極頭與石墨夾頭底部之間通過帶有 正反內螺紋的螺母連接。
所述電極的電極頭為反螺紋結構，所述石墨夾頭底部為與電極頭 反螺紋結構對應的正螺紋結構，電極頭與石墨夾頭底部之間通過帶有 正反內螺紋的螺母連接。
本實用新型的優點在于
1、 本實用新型將氫還原爐電極頭改為螺紋結構，電極頭與石墨 夾頭底部分別為正反螺紋，采用配套的帶有正反螺紋的螺母將兩者緊 密連接。不但解決了電極頂部與石墨夾頭接觸的問題，延長了電極的 使用壽命，降低了成本，更為硅芯棒垂直安裝創造了條件。
2、 同時由于電極頭和石墨夾頭底部分別采用正反螺紋，當硅棒 長粗長牢后，也只需擰動螺母，便可將硅棒輕松卸下。不存在無法拆 卸硅棒的問題。
圖1為多晶硅氫還原爐結構示意圖。
圖2為本實用新型結構示意圖。
圖中標記l為外殼體，2為內殼體，3為硅芯棒，4為視鏡，5 為冷卻水進水環管，6為爐盤，7為電極，8為支架，9為導軌，10為噴口， ll為進、出氣裝置，12為石墨夾頭，13為螺母，W為正螺 紋，15為正螺紋。
具體實施方式
實施例1:
多晶硅氫還原爐電極結構，包括安裝在氫還原爐爐盤6上的電極 7，與電極7—一對應安裝的硅芯棒3，電極7與硅芯棒3之間通過 石墨夾頭12連接，電極7的電極頭外側與石墨夾頭12底部的外側設 有螺紋，電極7的電極頭與石墨夾頭12底部之間通過螺母13連接， 所述電極7的電極頭為正螺紋15結構，所述石墨夾頭12底部為與電 極頭正螺紋15結構對應的14反螺紋結構，電極頭與石墨夾頭底部之 間通過帶有與其對應的正、反內螺紋的螺母13連接。本實用新型將 氫還原爐電極頭改為螺紋結構，電極頭與石墨夾頭底部分別為正反螺 紋，采用配套的帶有正反螺紋的螺母將兩者緊密連接。不但解決了電 極頂部與石墨夾頭接觸的問題，延長了電極的使用壽命，降低了成本， 更為硅芯棒垂直安裝創造了條件。同時由于電極頭和石墨夾頭底部分 別采用正反螺紋，當硅棒長粗長牢后，也只需擰動螺母，便可將硅棒 輕松卸下。不存在無法拆卸硅棒的問題。 實施例2:
多晶硅氫還原爐電極結構，包括安裝在氫還原爐爐盤6上的電極 7，與電極7—一對應安裝的硅芯棒3，電極與硅芯棒3之間通過石 墨夾頭12連接，電極7的電極頭外側與石墨夾頭12底部的外側設有 螺紋，電極7的電極頭與石墨夾頭12底部之間通過螺母13連接。所述電極7的電極頭為反螺紋結構，所述石墨夾頭12底部為與電極頭 反螺紋結構對應的正螺紋結構，電極頭與石墨夾頭底部之間通過帶有 正反內螺紋的螺母13連接。
權利要求1、多晶硅氫還原爐電極結構，包括安裝在氫還原爐爐盤(6)上的電極(7)，與電極(7)一一對應安裝的硅芯棒(3)，電極(7)與硅芯棒(3)之間通過石墨夾頭(12)連接，其特征在于電極(7)的電極頭外側與石墨夾頭(12)底部的外側設有螺紋，電極(7)的電極頭與石墨夾頭(12)底部之間通過螺母(13)連接。
2、 根據權利要求l所述的多晶硅氫還原爐電極結構，其特征在 于所述電極(7)的電極頭為正螺紋結構，所述石墨夾頭(12)底 部為與電極頭正螺紋結構對應的反螺紋結構，電極頭與石墨夾頭底部 之間通過帶有正反內螺紋的螺母(13)連接。
3、 根據權利要求l所述的多晶硅氫還原爐電極結構，其特征在 于所述電極(7)的電極頭為反螺紋結構，所述石墨夾頭(12)底 部為與電極頭反螺紋結構對應的正螺紋結構，電極頭與石墨夾頭(12) 底部之間通過帶有正反內螺紋的螺母(13)連接。
專利摘要本實用新型提供了一種多晶硅氫還原爐電極結構，包括安裝在氫還原爐爐盤上的電極，與電極一一對應安裝的硅芯棒，電極與硅芯棒之間通過石墨夾頭連接，其特征在于電極的電極頭外側與石墨夾頭底部的外側設有螺紋，電極的電極頭與石墨夾頭底部之間通過螺母連接。本實用新型有效解決了電極與石墨夾頭的接觸問題，延長了電極的使用壽命，降低了成本。
文檔編號C30B29/06GK201305654SQ20082022284
公開日2009年9月9日 申請日期2008年11月24日 優先權日2008年11月24日
發明者強 張, 戴自忠 申請人:四川永祥多晶硅有限公司